Способ контроля неоднородности сплавов

йввжеют иф 3. Союз Советеких Социалистичесаи Республик/181) М, Кл. С 01 Н 25/32 Гесударстееей еиитет 6 аветв Иисарае СМ ие аслам изабретеиий и еткрытий(45) Дата опубликования описани тенк14.08 УДК 53 (088.8)(2) Авторы изобретения А. Враташевский, В. М. Васидьков и Н. А. Дороше 71) Заявите краинской С ецкий физико-технический инстит 4 С тся к способам исболее конкретно обретение относ ме которые не обна аются дру пытаний материалов к способам измерен спдавов по составу. однородн обы контроляпутем измеия и относией силы 1.еспечнваютний. ни 25 Известны зондовые сноснеоднородности материаловрения удельного сопротивдетельной термоэдектродвижущОднако эти способы не обдостаточной точности измере Наибодее бдизким техническим решением является способ контроля неоднородности материалов с помощью измерений относительной термоэдс, возникающей в точке контакта нагретого зонда с поверхностью образца, например попупроводника, в котором градиент температуры в локальной обдасти образца создают с помощью зонда, представляющего собо спай термопары с микронагреватедем 2Термоэдс измеряется относительно опорного зонда в виде спая термопары без нагревателя, Способ позволяет выяв лять неоднородности распределения приКОНТРОЛЯ НЕОДНОРОДНОСТИ СПЛАВОВ гими способами.Однако этот способ не позволяет п лучить степень разрешения неоднородности в обдастях с микронными размерами, кроме того, имеет большие погрешности измерения термоэдс, а сдедоватедьно, и неоднородности, так как температура нагретой области образца измеряется термопарой, имеющей в точке контакта с ним неконтродируемые градиенты температуры через спай, зависящие от состояния тепдового контакта зонда с образцом.Целью изобретения является повышение разрешающей способности и сниже е погрешности измерений.Ддя этого по предлагаемому способу через зонд и образец пропускают эдектрический ток, измеряют термоэдектродвижушую сиду и затрачиваемую на ее создание мощность, а степень неоднородности определяют по отношению термоэдектродвижущей силы к этой мощности, При измерении относитедьной . термоэдс одной ветвью термопары служит зонд, а6208ссдругой - исследуемый обраавц. Непосредственнов измерение мощности, аатрачиваемой на создание градиента температуры, позволяет избежать погрешностейизмерения "горячей точки, присущих известному способу,5Пример реализации способа.Способ испытывался на обраацах антимонида индия и его твердых растворахс висмутом с содержанием висмута 0,05%до 2,5 %, а также на монокристалличес Оких образцах сплава висмута с сурьмойс содержанием висмута около 5%, 90%и 85%. Толщина обраацов от 2 до 10 мм.Измерения проводились на травленных поверхностях и на сколах. В качестве аон фда использовалась вольфрамовая игла срадиусом закругления острия 25 мкм.Установка аонда на образец производилась с помощью микротвердомера ПМТ с нагружением от 2 до 5 кг и шагоммежду точками локализации зонда 50 мкм.Результаты испытаний образцов с помощью предлагаемого способа сравнивались с результатами химяческого анелиаа, полученными на микрорентгенаналиэаторе РЭМП, а также с результатами,полученными на спектрсфотомегре ИК по зависимости края собственного поглощения от содержания висмута в антимониде индия, и дали хорошее совпадение,Твхнико-экономические преимуществаспособа контроля неоднородности сплавов следующие. 80 Способ позволяет повысить степеньраарешвния неоднородности и уменьшитьпогрешности измерений по сравнению сизвестным. Способ прост .в осуществлении и может быть использован для получения аксц-анализа беа применениядорогостоящего оборудования и высококвалифицированного персонала. Применениеспособа может дать экономию на предприятиях по производству полупроводниковых материалов и в научных исследованиях.формула изобретенияСпособ контроля неоднородности сплавов с помощью гермоэлвктродвижущей .силы, возникающей в локальной областиобразца, нагретой зондом, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с.целью повышенияразрешающей способности и сниженияпогрешности измерений, через зонд иобразец пропускают алекгрический ток,измеряют гермоэлектродвижущую силу и,затрачиваемую на ее создание мощность,а степень неоднородности определяют поотношению термоэлектродвижущей силы кэтой мощности.Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Ковтонюк Н. Ф., Концевой Ю. А.Измерения параметров полупроводниковыхматериалов. М., Металлургия, 1970,с. 66-98, 310,2. Журнал Заводская лаборатория1965 % 4, с, 461, Составитель С. Бвловодченко.Редактор Н, Хлудова Техред 3. фанта Корректор Е. ПаппЗаказ 4647/40 Тираж 1112 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4