Компрессионная электропечь

Союз Советских Социалистических РеспубликОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЮТВЛЬСТВУ(22) Заявлено 25.10,76 (21) 2414672/22-02с присоединением заявки1) М. Кл С 21 П 9/00 Р 27 В 11/06 Государственный кавитеСоната Министраа СССРпо делам изобретенийи открытий(43) Опубл икова но 05,08.78.Б ютень М 45) Дата опубликования описания 22.06,7 вторы В. Н. Гончаров, В. И. Баталкин, Г. А. фоминзобретения В, М, Тимофеев, В. И, Иванов и И. А. Горело 71) Заявитель 54) КОМПРЕССИОННАЯ ЗЛЕКТРОПЕ Изобретение относится к электропечам, работающим под избыточным внутренним давлением.Известно устройство, включающее контейнер из нержавеющей стали в форме ци линдра, и которому с помощью шпилек крепится основание и крышка, .В контейнере установлена печь сопротивления, которая состоит из платиновой спирали, намотанной на трубе яз 25% окиси апюми ния, используется для нагрева кварцевого реактора закрытого с нижней стороны. В реактор помещается обрабатываемое иэделве и газ - реагент подаетсв в контейнер 1.15Наиболее близкой к изобретению является компрессионная электропечь, включающая корпус с крышкой в расположенную" в нем реакционную камеру, в пространстве между которыми размещены теплоиэо ляцвя и нагреватели. Обработка произво двтся в газовой среде общей для нагре еетеии и обребетмиеемого итиеиии 21.Недостатками этой печи являютсж реакционный объем сообщается с объемом 25 в котором расположен нагреватель и теплоизоляции, такая конструкция не обеспечивает в случае обработки полупроводниковых изделий необходимой чистоты; при использовании агрессивных газов, например кислорода, возникает необходимость использования для нагревателя и теплоизоляции материалов инертных по отношв нию к рабочему газу прв температурах кимикотермическот о процесса; свльное вликние эа счет конвективной составляющей резко возрастающей при повыщенвв давлв ния, на распределение температур в реак цвонной зоне,Целью изобретения является обеспечение высокой чистоты газа реагента путем разделения рабочей среды нагреватеая и рабочей среды реакционной камеры.Укаэанная цель достигается тем, что реакцвонная камера выполнена в ввае кп аксиально установленных колпаков, причем наружный колпак закреплен на корпусе, а внутреннвй на крыщке, при этом внутренний колпак снабжен дополнвтеаытымв . теплоизоляцией с нагревателем.618426 НИИПИ Заказ 4213/ ираж 716 Подписно филиал ППП Пате Ужгород, ул. Пр Фктная,На чертеже изображена предложенная компрессионная печь.Компрессионная печь состоит нз водоохлаждаемого корпуса 1 высокого давления, с размещенными в нем нагревателем 2 и теплоизоляцией 3. Реакционный объем ф отделяется от теплоизоляции и нагревателя кварцевым колпаком 4, уплотнение 5 которого размещено на водоохлаждаемой стенке корпуса. В кварцевый колпак 4 введен кварцевый колпак 6, заполнен ный теплоизоляцией 7. Колпак 6 уплотнен на водоохлаждаемой крышке 8 корпуса высокого давления уплотнением 9. Каналы подачи и сброса газа в колпак 4 и колпак 6 разделены. Канал подачи газа в Б колпак 6 и корпус высокого давления объединены коллектором, Корпус 1 высокого давления запирается крышкой 8 с помощью уплотнения 10, В колпаке 6, в торцовой части установлен дополннтель ный нагреватель 11.Компрессионная электропечь работает следующим образом.Разогревается до требуемой темпера. туры печь с помощью нагревателей 2 и .25 11. С помощью системы сброса и напуска газа, обеспечивающей подачу инертного газа в корпус высокого давления и газа реагента в реактор, с равным давлением и течении всего процесса напуска, произ водится наполнение компрессионной печи. Так как теплоемкость газа мала, то напуск нв сказывается на температурное поле печи. Конвекция, возникающая между холодной крышкой 8 и горячими стен м ками колпака 4, подавляется за счет малого зазора между колпаками 4 и 6. Поокончании процесса газ сбрасывается ватмосферу с помощью системы подачи исброса газа с поддержанием ровного давления в корпусе высокого давления и вреакторе. Результаты технологическихиспытаний дали предварительный экономя.ческий эффект от внедрения в существующую технологюб 250 млр, в год. Использование изобретения позволит освоить в промышленности принципиально новые направления в технологии производства интегральных схем. формула изобретения Компрессионная электропечь, содержащая корпус с крышкой и расположеннуюв нем реакционную камеру, в пространстве между которыми размещены теплоизоляция и нагреватели, о т л и ч а ю щ. а -я с я тем,. что, с целью обеспечения высокой чистоты газа реагента, реакционнаякамера выполнена в виде коаксиально установленных колпаков, наружный колпак закреплен на корпусе, а внутренний на крышке, н снабжен дополнительными .теплоизоляцией и нагревателем.,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Патент Англии Ж 1.203,211;кл, Р 4 В, 1970.2, Авторское свидетельство СССР