Датчик давления с частотным выходом

Номер патента: 972280

Опубликовано: 07.11.1982

Авторы: Косичкин, Кузнецов, Лепорский, Парфенов, Худышев, Цывин

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, датчика, мембранного, чувствительный, элемент

...проводимости, а переход меж972280 Формула изобретения ВНИИПИ филиал П аказ 7669/29 Тира Патент, г. Ужгор Подписно Проектна ду ними зашунтирован введенными в устройство омическими контактами.На фиг. 1 изображен чувствительный элемент мембранного датчика давления; на фиг. 2 - увеличенное изображение контактных площадок.Чувствительный элемент мембранного датчика давления содержит центральные тензорезисторы 1, прилегающие к ним части контактных площадок 2, например из р-типа проводимости и крайние тензорезисторы 3 и прилегающие к ним части контактных площадок 2 и-типа проводимости, изготовленные из одного кристалла полупроводника, например, кремния, в форме вытянутой рамки, лежащей, например в плоскости изотропии, и омические контакты 4,...

Номер патента: 1775628

Опубликовано: 15.11.1992

Автор: Игнатьев

МПК: G01L 9/16

Метки: давления, датчик, магнитоупругий

...идентичными и установлены соосно, первое из них располокено мекду мембраной и дополнительной мембраной, а второе - между дном корпуса и дополнительной мембраной, причем упругая среда размещена в полости, образованной стенкой корпуса, мембраной, дополнительной мембраной и первым кольцом и в полости, образованной внутренней поверхностью второго кольца, дополнительной мембраной и дном корпуса.На чертеже изображен общий вид предлагаемого датчика.Датчик содержит корпус 1, на открытом торце которого закреплена мембрана 2 с кольцевой проточкой, измерительный преобразователь с магнитопроводами в виде первого кольца 3 с обмоткой 4 и второго кольца 5 с обмоткой б, дополнительную мембрану 7 с кольцевой проточкой. Дополнительная мембрана 7...

Номер патента: 1250858

Опубликовано: 15.08.1986

Авторы: Колешко, Мешков

МПК: G01L 11/00

Метки: акустических, волнах, давления, датчика, поверхностных, чувствительный, элемент

...частот генерации 11 и Ь генераторов на соответствующих ПАВ-структурах 4 и 5 в противоположных направлениях вследствие противоположного характера деформаций в центре и на периферии мембраны 3, В результате смещения частот в смесителе 8 получается разностная частота М=- Я, выделяемая ФНЧ 9. Частота Л 1 пропорциональная измеряемому давлению Р, причем температурный дрейф уменьшен вследствие включения ПАВ-структур 4 и 5 по дифференциальной схеме.Формирование мембранного УЭ проводят путем химического травления двухслойной структуры со стороны стекла 11 с большей скоростью растворения Ч 2 (фиг. 2 в). Процесс травления обычно ведут в смеси НГ и и Нй 04, причем Н 2504 служит для исклюО 5 20 25 30 .5 чения отложения на поверхности стекла...

Номер патента: 1398573

Опубликовано: 10.04.1996

Авторы: Зеленцов, Мокров, Наумов, Песков

МПК: G01L 1/22

Метки: давления, датчиков, металлопленочных, чувствительного, элемента

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МЕТАЛЛОПЛЕНОЧНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ, включающий операции нанесения на металлическую упругую подложку слоя изолирующего материала, нанесения слоя проводящего материала, вакуумного напыления пленки резистивного материала, формирования рисунка тензорезисторов, создания контактных площадок и рисунка коммутации, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности значений выходного напряжения чувствительного элемента, перед операцией нанесения слоя проводящего материала осуществляют операцию вакуумного напыления резистивного материала и выдержку в вакууме при температуре напыления в течение 4,5 5 ч, а после создания контактных площадок и рисунка коммутации выполняют операцию формирования рисунка...

Номер патента: 1605724

Опубликовано: 10.10.2006

Авторы: Крицын, Ладягин

МПК: G01L 7/00

Метки: давления, датчика, чувствительный, элемент

Чувствительный элемент датчика давления, содержащий прикрепленный к основанию упругий элемент, образующий с ним вакуумированную камеру, в которой размещен геттерный узел и гермовводы, закрепленные в основании, отличающийся тем, что, с целью обеспечения стабильности вакуума в условиях хранения и эксплуатации чувствительного элемента, в него введена капсула с химическим поглотителем воды, закрепленная в камере напротив геттерного узла, а геттерный узел выполнен в виде проволочной спирали из металлического хемосорбента, которая покрыта газонепроницаемым покрытием и закреплена на гермовводах.