Устройство для измерения разности давлений

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(3 01 (. 13/02 2344767/18 с присоединением заявки рве(43) Опубликовано 05 д 2 Р 8.Бюллетень М 5 ейдаратвеннцй навнтвт авета Мннеатрав СССР нв неааа наайрвтеннйн атнрытнй) Дата опубликования описания 2401,7 2) Авторы1 Л.Д.Бурханов и П.Л.Короповаизобретении титут АН Узбекской С) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗИЕРЕНИЯ РАЗНОСТИ ДАВЛЕНИ о 5 На черт лено устро Датчик которой за разделяюща На мембран тензоплено лиэтилентетически ярещий вид.камеру 1, вупругая диава объема Чяется одиннапыленныхных подложк же схем ство о одержит реплена ее на закрдп3 и 4, рофтала дстав нутрифрагмаиЧконецна .по"ах 5. й) Заявитель Физико-техническ Изобретение относится к области п лупроводникового приборостроения и предназначено для использования в контрольно-измерительной технике и пневмоавтоматике.Известны устройства для измерения давления, содержащие мембрану и упругий элемент с расположенными на Нем тензорезисторами, пленочными полупроводниковыми элементами или пластинами полупроводниковых монокристаллов.Одна ко их тензочвствительность невелика (порядка 10 ) и требуемая точность и надежность в таких датчиках обеспечивается введением в электрическую схему измерений дополнительных усилительных устройств 1).Наиболее близким по технической сущности является устройство, в котором полупроводниковые пленочные элементы, включенные в мостовую схему, укрепляются на упругой мембране по диаметру в центральной части диафрагмы и по радиусу перпендикулярно к ней 2. Однако чувствительность этого устройства недостаточна при измере нии малых перепадов давления, когда величина деформации мембраны, а следо вательЪо, и изменения сопротивления тензоэлементов малы. 1 ель изобретения - повышение чувствительности устройства. Это достигается тем, что известное устройство, содержащее камеру, упругую диафрагму, разделяющую камеру на два отсека, и тензопреобразователи, выполненные в виде упругой подложки с нанесенным на нее полупроводниковым слоем, снабжено упором, жестко закрепленным в одном из отсеков камеры, а тензопреобразователи закреплены с предварительным прогибом между упором и упругой диафрагмой.Кроме того, для закрепления в одной камере разных по длине тензопреобразователей (например, при смене вышедших из строя тензопреобразователей) упор смонтирован с возможностью его переме" щения вдоль отсека. ттри этом для сохранения неизменным объема отсека упор выполнен в виде решетки.591732 Составитель И.ПетрашеньТехред И.климко Корректор А.Власенко Редактор О,Филиппова Заказ 588/41 Тираж 1112 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул, Проектная, 4 Второй их конец закреплен на металической решетке 6, которая может перемещаться благодаря наличию микрометрического. винта 7. Штуцера 8 и 9 служат для подведения измеряемых давленийТензопленки 3 и 4 включены в дваплеча мостовой схемы 10. В диагональмоста включен регистрирующий прибор 11,фиксирующий разбаланс моста.Устройство работает следующим образом,Под действием измеряемой разности давлений диафрагма 2 прогибается и изменяет сопротивление тензопленок 3 и 4, за счет прогиба связанных с ней подложек 5. Это изменение сопротивлений, пропорциональное разности давлений, измеряется мостовой схемой 10. Устройство обеспечивает измерение Ю разности давлений с высокой точностью вплоть до 0,1 мм вод.ст. и найдет применение в шелководстве и ряде других областей. Формула изобретения1. Устройство для измерения разнос-. ти давления, содержащее камеру, упругую диафрагму, разделяющую камеру на два отсека, и тенэопреобраэователи, выполненные в виде упругой подложки с найесенным на нее полупроводниковым слоем, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения чувствительности, устройство снабжено упором, жестко закрепленным в одном из отсеков камеры, а тенэопреобразователи закреплены с предварительным прогибом между упором и упругой диафрагмой.2. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что упор выполнен в виде решетки, закрепленной с возможностью ее перемещения вдоль отсека.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Лгейкин Д.И. и др. Датчики контроля и регулирования, М., Машиностроение, 1965, с. 605.2. Патент Японии 9 41-36909 кл.111 С 2 1966.