Интерферометр для контроля прогибов кваз плоских поверхностей деталей

Союз Советских Социалистических Реслубликаявлет исоединснием заявкиГосударственный комитет Совета Министров СССР 3) Приоритет(088,8) 3) Опубликовано 30.10,77. Бюллетень45) Дата опубликования описания 30.10.77 лам изобрети открытий 72) Авторы изобретени 71) ЗаявительМ. М. Бутусов и Н. В, Ермакова Ленинградский ордена Ленина политехнический инстит им. М. И. Калинина(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРОГИБО КВАЗИПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙеромстраБ Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для контроля прогибов (отклонений от плоскостности) квазиплоских (с глубиной прогиба до 200 мкм) поверхностей деталей,Известен интерферометр для контроля прогибов оптических поверхностей, содержащий осветитель, состоящий из последовательно расположенных источников света, коллиматора и зеркала для поворота световых лучей, регистрирующий узел и оптическую систему для передачи световых лучей, размещенную между зеркалом и регистрирующим узлом и включающую формирователь наклонного освещения детали, светоделитель и совместитель интерферирующих световых лучей, держатель детали.В известном интерферометре функции формирователя наклонного освещения детали, светоделителя и совместителя интерферирующих лучей выполняют плоские зеркала и полупрозрачные пластины.Недостатком известного интерфявляется сложность конструкции.Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что, с целью упрощения конструкции, оптическая система для передачи световых лучей выполнена в виде прямоугольной равнобедренной оптической призмы,установленной вершиной вниз и имеющей горизонтально расположенную грань, являющуюся держателем детали.На чертеже дана оптичсская принципиальная схема предлагаемого интсрферометра.Интерферомстр включают осветитель, состоящий из последовательно расположенных лазера 1, коллиматора 2 и зеркала 3 для поворота световых лучей, оптическую систему для передачи световых лучей в виде прямоугольной равнобедренной оптической призмы 4 и регистрирующий узел (нс показан). Прямоугольная равнобедренная оптическая призма выполняет функции формирователя наклонного освещения детали, свстоделителя, совместителя интерферирующих световых лучей и держателя детали.Предлагаемый интсрферомстр работает следующим образом.Деталь 5 располагается на гипотенузной грани призмы 4 контролируемой поверхностью вниз. Катетная грань призмы освещается плоской свстовой волной, причем угол падения О на эту грань выбирается с помощью зеркала 3 таким образом, что на гипотенузную грань призмы световая волна падает под углом, близким к углу полного внутреннего отражения. На гппотенузной грани призмы срормпруотся два световых луча: один отражается от границы раздела стскло-воздух вФормула изобретения 2 Составитель В, Лобзова Техред И, Михайлова Рсдактор Т. Морозова Корректор Л. Котова Заказ 2320/5 Изд. Ъ 861 Тираж 907 1.1 ПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, М(.35, Раугнская наб., д. 45Подписное Типография, пр, Сап нова, 2 направлении второй катетпой грани, другой - выходит из призмы, освещает контролируемую деталь под углом, близким к скользяцему и, отразившись от нее, возвращается обратно в призму. Отраженный от исследуемой поверхности световой поток, несущий информацию о форме поверхности, интерферируст с опорным, образованным при отражении на гипотенузной грани. Получаемая интерференционная картина дает информацию о форме поверхности. Глубина рельефа, соответствующая расстоянию между двумя соседними полосами, равназп 6 1 - 1/2 Я = -- и 81 п -- агс 81 п)и1 где 1. - длина волны света;и - показатель преломления материала,из которого сделана призма;О - угол падения света.Как видно из формулы, чувствительность интерферометра зависит от угла падения света на призму и может меняться в широких пределах. В каждом эксперименте рядом с контролируемой деталью на гипотенузной грани наклонно к ней располагается эталонный плоский образец 6, по которому можно определить чувствительность. Предлагаемый интерферометр позволяет контролировать поверхности с любой степенью шероховатости, так как при скользящем освещении коэффициент зеркального отражения сильно возрастает. Интерферометр для контроля прогибов 10 квазиплоских поверхностей деталей, содержащий осветитель, состоящий из последовательно расположенных лазера, коллиматора и зеркала для поворота световых лучей, регистрирующий узел и оптическую систему для 15 передачи световых лучей, размещенную между зеркалом и регистрирующим узлом, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, оптическая система для передачи световых лучей выполнена в виде пря моугольной равнобедренной оптической призмы, установленной вершиной вниз и имеющей горизонтально расположенную грань, являющу 1 ося держателем детали. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1, Авторское свидетельство СССР339772,кл. Ст 01 В 9/12, 1970.