Способ измерения давления газа

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик,76 (21)23736аявкиосударственный нонитет6 оавта Министров СССРпо делам ивобретеннйи открытий 3) Приори 43) Опубликован 05,10.77, Бюллет вания описания 22.11,77 Дата опубл 2) Авторы изобретени, Иваииков Ошехонов, В, В, Орешкин 71) Заявите язанский радиотехнический институт 54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ й НИЯ ГА я к области измереэлектровакуумныхиспользовано при изочных газов в вакумых контактах,Известны способы измерения давиеиия газа в двух эиектродных вакуумных приборах, основанные на использовании электродов прибора при эпектронной эмиссии с одного из О электродов И. Известен также способ измерения давления газа в двухэлектродном вакуумном приборе, основанный на приложен 1 ш высокого напряжения к электродам и измерении времени восстановления высокого напряжения к электродам и измерении времени Ьосстаповления автоэлектронного тока с ранее созданных микроскопических центров эмиссии до первоначальной величины после нарушения равновесного газового покрытия на электроде, Это время является мерой давления остаточного газа в обьеме, где находятся электродь 1 2, Однако этот способ практически, 2 б Изобретение относитс ния вакуума в готовых приборах и может быть мерении давления остат умных магнитоуправляе неприменим для измерения вакуума в магн 1- тоуправляемых контактах, Это обусловлено тем, что приложение достаточно ьысокого напряжения к подвижным электродам приводит к их сбпижению под действием эпектростатической сипы протяжения и воз 1 шкновению эпктрическ ого пробоя, иивОдящего к разрушению эмиссиониь 1 х центр оь и изменО иию автоэиектроииого тока независимо От давления Остаточного газа, Создание микроскО 11 Р 1 еских центров автоэлектронной эмиссии на поверхности эиект; Одов вакуумных магиитоуправияемых контактов приициииапьио недопустимо, так как это существенно нарушает работу магнитоуправляемых контактов..ель изобретен 1 ня - возможность измерения давления остаточных газов в отпаянных вакуумных магиитоуправляемых контактах, Это достигается тем, что электроды мат иитоуправляемого контакта, разомкнутые в исходном состоя 1 ши, замыкают с помощью магш 1 тиого поля и измеряют переходное сопротивление контактов В мОмент их замыкания являющееся параметром взаимодействия молекул остаточного газа с поверхностью элект575523 родов и, соответственно мерой давления.Давление Р определяют по формулеЯ= КЕР,где Рте - переходное сопротивление,На чертеже изображена усредненная зависимость переходного сопротивления от давления остточных газов для вакуумного мегнитоулравляемого контакта типа МКА52 Х 41.Переходное сопротивление при контактиро ованин контактдеталей магннтэуправляемогоконтакта измеряем помощью мосте Р с точностью 02%, Давление эстатэчнэгэ газа измеряли вакууммет ром БИТП с мадометрическими датчиками ПМТи ПМИ.Из графика видно, что повышение давления остаточных газов Р в интервапе1 10 к мм рт,ст. увеличивает переходное сопротивление Р ер й же зависимостьможет иметь вид 20 Яер = КЕдР,где К - коэффициент пропорциональности, зависящий от конструкции приборе и материала контактного покрытия контект-деталей. 2; Увеличение переходного сопротивления Р, связано с возрастанием толщины сорбированной пленки газов на контактпрук- ших плоскостях при увеличении давления Р. ЗО 10-4 1 ОРмм. ргл. сл,Яа 5 аепие остаточных гама Составитель О, Попе Гехред Н, Анпрейчу орректор 1, Неболе едактор О. илиппова 101 П одпнс неекомитета Совете Министров СССР обретений н открытийве, Ж, Раушская наб. д, 45 еказ 4023 Тираж 1 удерственного по делам из 113035, МоскИИПИ Г Филиал 1 ПП "1 атент, г, Уж ород, ул, 111 оекнн, 4 Ял Ом , Ю 2 О, О фс ООФ релли аемый способ позволяет измерять вакуум, т.е. оценивать качество приборов кек в процессе технолсц ического цикле изб отовления, так и в процессе длительного хранения; не требует разработки дополнительной аппаратуры и использует аппаратуру для контроля параметров контакта,Формула изобретения Способ измерения давлении газа в двухэлектродном электровекуумном приборе, эонованный на регистрации параметров процесса вземиодействия молекул остаточных газовс поверхностью электродов, о т л н ч е -ю щ и й с я тем, что, с целью возможности измерения давления в магнитоуправляемыхконтактах измеряют переходное сопротивлениеконтактов в момент их замыкания и по формулея=кр,где Рп- переходное. сопротивление;К - коэффициент пропорциональности;Р - давление газа,определяют давление газе,Источники информации принятые во внимание при экспертизе:1. Авторское свидегельство СССРМ 518663 кл. й 01 . 21/ЗО 19742, Патент ГДР ". 886 0, хп. С 0 . 21301972.