Способ определения вторично-электронного резонансного разряда

Союз Советских Социалистических РеслубликОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИяК АВТОРСКОМУ СВИДИИЛЬСТВУ(51) М, Кл. Я 31/2 явки осударстеенный намнтетСовета Инннстров СССРне делам нзабретеннйв етнрытнй 7,77 Бюллетень2(45) Дата опубликования описания 10.11,7 К. Росновский и Л.) Заявител 54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВТОРИЧНО-ЭЛЕКТРОННОГО РЕЗОНАНСНОГО РАЗРЯДА зев з обретения. Это дости повышение скор ется тем, что обИзобретение касается способа определения характеристик приборов М-типа.Возникновение вторично-электронного резонансного разряда (ВЭРР) в элементах СВЧ-приборов приводит к снижению эффек-. а тивности и надежности этих приборов, проявляющихся в уменьшении к.п.д, коэффнциен та усиления, снижения электрической прочности и появлении частотных или фазовых искажений. Для выбора динамического диа- и) назона, в котором приборы СВЧ работают эффективно, необходимО точно определить область существования ВЭРР по мощном. Известен способ определения ВЭРР и и замедляющих системах приборов М-типа, заключающийся в визуальном наблюдении температуры, изменения электрических характеристик и регистрации рентгеновскв)х лучей, Этот способ требует постановки 29 в корпус прибора дополнительного вакуумированного окна для наблюдения температуры, снятия и анализа вольт-амперных характеристик, применения датчиков рентгеновских излучений, использования измери телей температуры. Это усложняет контрольВЭРР 1,Известен способ определения областисуществования ВЭРР в СВЧ-приборах по характеру изменения величины потерь входноймощности. На вход испытуемого прибора пъ.дается изменяемая во времени мвеноагьот СВЧ-генератора. На выходе прибора измеряют величину проходящей через прибормощности. Величину потерь мощности определяют как разность между входной и проходящей мощностями. Область существования ВЭРР определяют по изменению угланаклона полученной зависимости потерь отвходной мощности, 12.Недостаток способа ваюаочается в необходимости использования двух калиброванных измерительных приборов дитя определения величины входной и проходящей мощностей, проведение расчета величины поглощения при каждом значении входной мощиУпомянутые факторы снижают скорость имере ния, 863пасть существования вторично- электронногэ резонансною разряда опрэделяют по постоян. ному току с анода на катод.Предлагаемый способ основан на том, что разгруппировка пространственного заряда между элементами замедляющей системы приводит к появлению ока между анодом и катодом приборов М-типа. Облако пространственного заряда может расширяться как в продольном, так и в поперечном направлениях. Расширение облака заряда в продольном направлении вызывает разброс электронов по времени прихода их на противоположный элемент системы. Это приводит к тому, что часть электронов приходит либо слишком рано, либэ слишком поздно, и условие синхронизма электронов с СВЧ-полем нарушается. Выа битые ими вторичные электроны не могут эффективно участвовать в разряде и попадают на катод. Расширение облака просчет ранстввнного заряда в поперечном направлении в результате электростатического расталкивания электронов приводит к тому, что часть электронов ие попадает на противоположный элемент системы, проходя мимо него на катод.Таким образом, величина тока, идущего с замедляющей системы на катод, определяется количеством несинфазных электр ронов, т.е, электронов, не участвующих аффективно во вторично-электронном разряд,. Количество таких несинфазных элект ронов, а, следовательно, и величина тока с анода на катод, пропорциональны интенсивности ВЭРР.На чертеже покезана схема установки, реализующей способ определения ВЭРР в приборах М-типа.Ко входу СВЧ-прибора М-типа 1 подключают генератор 2 СВЧ-мощности, вели .ина которой может из: меняться в пределах динамического диапазона рабочих мощностей испытуемого прибора. Катод прибора соединяют с осциллографом 3 и с датчиком 4 ЛСУТП или стрелочным прибором 5. Регулировку величины СВЧ-мощности, подаваемой на вход испытуемого прибора, осуществляют при помощи аттеюатора 6. Между аттеиюатором и входом испытуемого прибора подключают измерители 7входной мощности и ферритовый мост 8 для развязки задающего генератора и испытуемогоприбора, На испытуемый прибор не подаются постоянное анодное напряжение и магнитное поле, а также напряжение накала, что также упрощает процессизмерения. Если пспытывается усилитель М-типа, то на выход егоподсоединяется калоритетрическая нагрузка.Плавно изменяя величину входной мощности,реги .трируют ее значение и величину тока в пространстве анод-катод при каждомзначении мощности, Появление тока с ано да на катод свидетельствует о возникновении ВЭРР в замедляю 1 цей системе. Исчезновение тока с анода на катод свидетельствует о прекращении ВЭРР. Максимальноезначение тока анод-катод соответствует 20 максимальной интенсивности ВЭРР, Предлагаемый способ по сравнению с известныеми на порядок уменьшает время определения области существования ВЭРР; ВЭРРможет быть определен при помощи датчика 25 АСУТП, на который подается сигнал с катода, что дает возможность контролироватьэамедлаощив системы по области ВЭРР втехнологическом процессе.ф ормула и зобрвте ния30Способ определения вторично-электронного резонансного разряда заключающийсяв подаче на вход прибора изменяемых помощности СВЧ колебаний и регистрации 35 сигнала на выходе прибора, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышенияскорости измерений, область существования вторично-электронного резонансногоразряда определяют по постоянному току с 40 анода на катод.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе;1, 3.3 одъез, Ч. Чо 1 ирНол "ОЬьегчаОотсво 1 0111 рдсФог 1 н Мсюрие 1 гогсь, ЭЕЕЕ 45 Тгсъяас 11 онь 1968, Ч ЕЭУ, п.И,р 883 8952, О Н.Тге 1 М МоИ 1 рос 1 ог е 11 ес 1 ьвтаб сЪе 1 г ргечеъСчоы 1 т йуЬ роеегп 1 сгомоче 1 ое" ,ТЪе М 1 спомачеоцгмаб, осФ 1963, ч 6. и. 10,р. %Уал катодаЦНИИПИ Заказ 2427/32о Тираж 1101 Подписное 3 оФипиап ППП Г 1 втвнт",г, Ужгород, уп. Проектная, 4