Способ определения размеров области гомогенности распределения элементов в твердых телах

Йиг Соввтскик Соцнзснстннвскнк Ресвублнк(23) Приоритет 02.11 Опубликовано 15,07,7 Дата опубликования ета втннистров СССРделам изобретений 3) УДК 543,53(088,8) юллетень М 26 исания 10.08.77 и открытии 2) Автор изобретения зморский 1) Заявител 54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗМЕРОВ ОБЛАСТГОМОГЕННОСТИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВВ ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ ктронно-зондоализу твердых Изобретение относится к эвому рентгеноспектральному тел. Широко известны различные методы исследования распределения химических элементов 5 в твердых телах с помощью сканирующих электронно-зондовых микроанализаторов (11.Ближайшим к изобретению техническим решением является способ определения размеров области гомогенности распределения хи мических элементов в твердых телах, заключающийся в облучении шлифа исследуемого тела закономерно расфокусируемым электронным зондом рентгеноспектрального микроанализатора, регистрации интенсивности характе ристического излучения исследуемого элемента и определении размеров области гомогенности по зависимости интенсивности от диаметра зонда, при котором разбросы регистрируемой интенсивности излучения равны по грешности прибора 21.Недостатками известного способа являются сложность реализации и невысокая точность при малых концентрациях определяемых элементов в анализируемом веществе. 25Сложность реализации способа обусловлена необходимостью многократного определения разбросов регистрируемой интенсивности рентгеновского излучения в процессе измереНевысокая точность этого способа обусловлена возрастанием статистической погрешности измеряемой интенсивности при ее уменьшении, что приводит к увеличению степени наложения этой погрешности на колебания интенсивности, связанные с изменениями концентрации определяемого элемента в облучаемой зондом области шлифа. Это в свою очередь затрудняет расшифровку и обработку экспериментальных данных, и увеличивает экспериментальную погрешность,Целью изобретения является повышение точности при малых концентрациях исследуемого элемента.Это достигается тем, что по предлагаемому способу дополнительно регистрируют интенсивность характеристического излучения какого-либо другого элемента, содержащегося в исследуемом теле, изменяют зависимость отношения интенсивностей характеристических излучений исследуемого и другого элементов отдиаметраэлектронногозондаи по измеренной зависимости определяют размеры области гомогенности.Способ реализуют следующим образом, Шлиф исследуемого твердого тела облучают сканирующим электронным зондом рентгеноспектрального микроанализатора, который расфокусируют по заданному закону. Во время цикла облучения регистрируют интенсивность характеристических излучений исследуемого и какого-либо другого элементов, содержащихся в пробе, и измеряют отношение .этих интенсивностей. В процессе расфокусировки зонда отношение интенсивностей выходит на некоторый постоянный уровень. Минимальный диаметр зонда, которому соответствует постоянный уровень отношения, определяет размеры области гомогенности.Повышение точности в данном способе связано с тем, что флуктуации интенсивности электронного зонда вызывают равные относительные флуктуации в регистрируемых интенсивностях характеристических излучений исследуемого и другого элементовкоторые компенсируются в отношении этих величин.Формула изобретенияСпособ определения размеров области гомогенности распределения элементов в твер 565237дых телах, заключающийся в том, что шлиф исследуемого тела облучают закономерно расфокусируемым электронным зондом и регистрируют интенсивность характеристичес 5 кого излучения исследуемого элемента, о тличающийся тем, что, с целью повышения точности при малых концентрациях исследуемого элемента, дополнительно регистрируют интенсивность характеристическо го излучения какого-либо другого элемента,содержащегося в исследуемом теле, измеряют зависимость отношения интенсивностей характеристических излучений исследуемого и другого элементов от диаметра электрон ного зонда и по измеренной зависимости определяют размеры области гомогенности.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1, Блохин М. А. Методы рентгено-спек тральных исследований, ГИФМЛ, М., 1959,с, 217 - 220.2. Авторское свидетельство СССР Мв 441489,кл. Ст 01 И 23/20, 1972 (прототип).Редактор И, Шубина Корректор Л. Брахнина типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 1660/13 Изд. Мо 594 Тираж 1109 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5