Полирующий состав

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(11) 5 б 1233 1осудврственный комитетСоветв Министров СССРпо делам изоаретеннйи открыТий(54) ПОЛИРУЮЩИЙ СОСТ Изобретение относится к составам, используемым при холодной обработке твердых и сверхтвер. дых материалов, в частности полупроводниковых кристаллов (пластин), диэлектрических подложек и стеклянных заготовок в процессе производства изделий электронной техники,Известны полирующие композиции для химико.механической полировки на основе кристалли. ческого порошка - аэросила, окислителя и водной среды,При использовании известных полирующих композиций при удельных давлениях на пластины больше 100 г/см и скорости вращения полироваль. ника выше 100 об/мин происходит сильный разогрев пластин и срыв, Это ограничивает скорость полирования и повышает процент брака, Процесс полирования нестабильный, например, обработка на нетканых полировальниках сопровождается появлением царапин на поверхности пластин.Цель изобретения - разработка состава для полирования полупроводниковых и диэлектрических материалов (пластин, кристаллов, деталей), который повьппает эффективность процесса полирования с сохранением качества поверхности, получаемой полированием известными полирующими композициями.Предложенный полирующий состав, не включа. ющий токсичных веществ, улучшает процесс полирования, повышает производительность труда и уменьшает процент брака. Полирующий состав включает в качестве основного полирующего вещества алюмосиликаты, наттример цеолит, и вещество для катионного обмена, Полирующий состав готовят на основе водного раствора, Для полирования кремниевых пластин используется полирующий состав, включающий компоненты (в вес,%):Цеолит ЙдА 5 - 80Азотнокислая медь 0,1 - 5Перекись водорода(3 ная) 0,01 - 1 Вода ОстальноеВ присутствии азотнокислой меди повышается скорость полирования эа счет способности кремния вытеснять медь иэ растворов ее солей и улучшается качество обработки, так как активными участками поверхности являются вершины микронеровностей. Цеолит выполняет функции сорбента ионов меди и инструмента для механического удаления с поверхности продуктов полировки и примесей.561233 Формула изобретения,10 ЦеолитАзотнокислая медь илиуглекислый аммонийПерекись водорода (30%)Воца 5 - 85 0,1 - 50,01 - 3Остальное 25 Составитель Ю. СлепневРедактор Т. Орловская Техред И. Андрейчук КоРРектоР Е. Палл Заказ 1584/155 Тираж Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Филиал П 11 П "11 акн", г Ужороа, ул. Проектная,4 Для полирования пластин германия, арсенидагаллия, арсенида индия и стеклянных заготовокиспользуется полирующий состав, состоящий изкомпонентов, взятых в следующих соотндЬениях(30 аш ная) 0,5 - 3Вода ОстальноеВведение в полирующий состав окислителя - перекиси водорода способствует образованию на поверхности окислов обрабатываемых материалов,введение в полирующий состав углекислого аммония, повышает щелочную реакцию, которая способствует растворению окислов, При полировке предложенными полирующими составами пластиныкремния, арсенида индия, германия, арсенида гал.лия и стеклянных заготовок была получена поверх.ность 13 класса,В процессе полирования предложенными соста.вами на основе цеолита, обладающего хорошейсорбционной способностью к органическим и неорганическим веществам, образующиеся продуктыполирования и примеси сорбируются на цеолите илегко удаляются с поверхности во время отмывки. Полирующие составы могут применяться для полупроводниковых и диэлектрических.материй. лов, имеющих различный класс предварительной, обработки, любой кристаллографической ориентации, геометрической формы и любой степени легирования. Полируннций состав для обработки, например,полупроводниковых материалов, содержащий крис 1таллический порошок, окислитель, например пс рекис 1 водородаиводу, отличающийся тем,что, с 1 л целью повышения эффективности процесса полирования, он дополнительно содержит вещество для ка.тионного обмена, например азотнокислую медь или углекислый аммоний, а в качестве кристаллического порошка взяты алюмосиликаты, например, цеолиты 20 при следующем соотношении компонентов в вес.%: