Вакуумметр

Союз Советских Социалистинеских РеспубликО П И С А Н И Е н 155 зютИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Дополнительное к авт. саид-ву - За явлено 22.12.75 (21) 2303487/10 1 . 21/24 н,г 1 с присоеди ем за осударстоенный номитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий) Опублик ) Дата оп ано 05.04.77. Бюллетень 1(72) Авторы изобрете Куйбышевский иа Трудового Красного Знамени авиационный институт им. С. П. Королева 1) Заявитель(54) ВАКУУММЕТР ехнике, ения в ет быть ения в мо я э симостьот даваог как при ающего- измернмым с моментом трения в подвесе.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является роторшцй вакуумметр с магнитным поднесом 2, которы цмсст ротор сферической формы, подвешенный магнитном поле соленоида внутри вакуумной камеры и разогнанный до опречеленной скорос 1 ц нрнненпя, По умсныненцю скорости свободного р;инснця определяс 1 ся давление н вакуумной ка и ре Изобретение относится к вакуумноипредназначено для точного измерения давФинтервале от 10 до 10 мм рт. ст. и моиспользовано для тарировки вакуумметротипов в качестве образцового.Известны вакуумметры с вращающимиментами, в которых используется завкоэффициента вязкости разреженного газпения 1,Использование вакуумметров такого тиничено наличием трения в подвесе, такуменьшении давления момент трения вращся тела о газ уменьшается и становится с где чо, об/сек - скорос.ь вращения в момент времени то;1 ч, об/сек - скорость вращмент времени т;К - коэффициент.зависящий от инерционных свойств ротора, а также от температуры ц молекулярного веса газа.Взаимодействие индуктивных токов, возникаю. щих при движении ротора в магнитном поле подвеса, с этим полем приводит к возникновению тормозящего момента, что ограничивает нижний предел измеряемого вакуумметром давления величиной-топорядка 10 мм рт.ст. и приводит к значитель. ным погрешностям измерения при механическцх ко. лебаниях вакуумметра, вызванных раэличноге рода вибрациями.Целью изобретения является повышес точности и расширение диапазона измерения в сторону низких давлеНий.Указанная цель достигается тем, что н роторном вакуумметрс, именчнем сферический ротор, цнлуктор электромагнитной раскрутки ц устройство цз. мерения углоой скорости ращения 1 юора, на внутреннюю сферическую цонерхнос ть корпуса, вы. полненного цз нроэра нкпо лигглектрцчс кгя о мате.553507 ставитель О. П в Корректор И. ГокснПодписное актор Н. Техред С, Бед Тираж 11011 НИИИ Государственногопо делам изо113035, Москва, Ж а ка00/3 та Совета Мини и открытий шская наб., д стров ССС ретений-35, Ра Финна"Патент", и. Уж ул. Проекта риала, нанесены токопроводящие электроды, снаб.жзнные герметичными токоподводами, подключен.ными к источнику постоянного напряжения,На чертеже изображен роторный вакууметр наэлектростатическом подвесе, общий вид.бВакуумметр имеет сферический ротор 1, заклю.ченный в стеклянный корпус 2 с металлическимфланцем 3, силовой 4 и боковые 5 электроды под.веса, герметичные токоподводы 6 и электромагнит.ный индуктор 7,19При работе вакуумметра сферический ротор 1подвешивается силами электростатического поля,наведенного подачей управляемого высокого по.тенциала через токоподводы 6, на электроды 4 и 5,нанесенные на внутреннюю поверхность стеклянногокорпуса 2, Силовой электрод 4 компенсирует вессферического ротора 1, а четыре боковых электро.да 5 обеспечивают боковую устойчивость ротора 1.Раскрутка ротора 1 производится вращающим.ся электромагнитным полем индуктора 7. Измерение скорости вращения ротора 1 производитсяоптическим устройством через прозрачный корпус 2,В силу того, что электростатические силы нор мальны к поверхности и не имеют касательных составляющих, трение электростатического пОдвеса на два порядка и более меньше, чем магнитного подвеса. Это значительно повышает точность измерений, расширяет предел измерения давления до 10 "ммрт.ст. Формула изобретения Вакуумметр, содержащий корпус, в котором свободно подвешен сферический ротор, индуктор электромагнитной раскрутки ротора и устройство измерения скорости вращения ротора, о т ли ч а. ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения в сторону низких давлений, в нем на внутреннюю сферическую по. верхность корпуса, вь 1 полненного из прозрачного диэлектрического материала, нанесены токопрово. дящие электроды, снабженнь 1 е герметичными токо. подводами, подключенными к источнику постоян. ного напряжения.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. С.Дэшман "Научные основы вакуумной техники", М. 1964, изц. "Мир", стр, 219 - 231.2. Журнал "Приборы для научных исследова. ний", т, 33, 9 2,1962, стр. 3-7 (прототип).