Способ изготовления фотошаблона для двухстороннего копирования

(и) 540248 Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 06,04.73 (21) 1912273/10с присоединением заявки Уев(23) ПриоритетОпубликовано 25,12,76. Бюллетень М 4Дата опубликования описания 11.02.77 Государственный комите Совета Министров СССР(53) У 1.382 (088.8) о делам изобретении и открытий Авторизобретен И. И. Ефимен 71) Заявител 4) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ фОТОШАБЛОН ДЛЯ ДВУСТОРОННЕГО КОПИРОВАНИЯ2 Изобретение относится к фотографическим методам изготовления негативов и диапозитивов, предназначено для изготовления фотошаблонов, фотомеханическим способом копирования при изготовлении плоских прецизионных деталей, выполняемых двусторонним травлением и может быть использовано в электронной промышленности при изготовлении, например, выводных рамок для интегральных схем, мелкоструктурных сеток, теневых масок для цвет ных кинескопов.Известен способ печати изображений на противоположных сторонах подложки 111, по которому две фотографические пластинки накладывают одну на другую, затем между ни ми вставляют непрозрачный экран. Пластинки одновременно экспонируют, после пластинки снимают и проявляют. Проявленные пластинки плотно накладывают одну на другую и производят повторную подгонку изображений. 20 Затем между пластинками вставляют подложку и осуществляют контактную печать.Известен способ изготовления фотошаблона для двусторонней печати при производстве двусторонних плат 2, 25Поэтому способу две фотопленки с полученными на них одинаковыми изображениями складывают вместе и пригоняют их одну к другой на просветном столе эмульсией к амульсии, так чтобы зеркально совместить 30 изображения. После точнои пригонки пленки скрепляют за один край. Совпадение изображений проверяют под микроскопом.Однако при реализации известных способов необходимо проводить сложную технологию совмещения, требующую специального прецизионного просмотрового оборудования, причем точность совмещения зависит от субъективной оценки оператора. Целью изобретения является упрощение технологии совмещения изображений.Это достигается тем, что до получения изображения на фотопленках их складывают вместе и скрепляют за один край, например, путем складывания одной фотопленки вдвое с фиксированием линии перегиба проглаживанием, На одной части фотопленки обесцвечивают протнвоорсольный слой и на сложенной вдвое фотопленке получают проекционной или контактной фотопечатью одновременно два изображения.Кроме того, предложенный способ отличается тем, что на одной части фотопленки, не обеспечивая на этой части противоореольный слой, получают контактной фотопечатью прямое изображение оригинала, а затем, после складывания, на другой части фотопленки контактной фотопечатью с этого изображения, используя метод проявления с обращением, 540248получают совмещенное с ним зеркальное изображение.Пример реализации предлагаемого способаследующий.Фототехническую пленку типа Кадалит, 5Фудзи-фильм, Кодаи, ФТ и так далее,не превышающую усадки 0,002 О/ разрезают напластины, размер которых превышаег размеррабочего фотошаблона в 2 раза, Для фогошаблона размером б 0)(40 см. Пленочную пластину на половину ее размера опускают в раствор, обеспечивающий противоориольныйслой, 3 - 5/,-ный раствор метабисульфита калия на 10 - 20 сек, промывают в проточной воде и сушат. Сушку производят в обеспыленном помещении,Обесцвеченную на половину пленочную пластину складывают пополам светочувствительным слоем вовнутрь и с помощью, например,гладилки проглаживают, фиксируя линию изгиба пластины.Все перечисленные операции производят принеактиничном свете, В случае проекционнойпечати сложенную вдвое пластинку закладывают в кассету обесцвеченным противоориольным слоем вверх и, обеспечивая плотный прижим пленки между собой вакуумом, производят проектирование изображения на сложенную пластину. Время экспонирования определяют опытным путем, 30В случае контактной печати сложеннуювдвое пластину помещают в копировальнуюраму так, что эмульсионный слой фотошаблона, с которого получают копию, плотно прилегает к обесцвеченному противоореольному 35слою, и создав контакт с помощью вакуума,копируют через фотошаблон, выбирая времяэкспонирования опытным путем.Проявление экспониров анной пленочнойпластины производят в стандартном, рекомендуемом для этого типа пленок, проявителе,при контактной печати через пленку. Прибольшой экспозиции получается небольшойореол, который удаляют поверхностным травлением в фермеровском ослабителе, например, состав: р - р красной кровяной соли игипосульфита натрия. Проверяют качествоизображения, при необходимости ретушируют.Для получения высокой точности размеровизображений используют проявление с обращением. Для этого одну половину пленочнойпластины помещают в светозащитный пакет,например, из темной бумаги, а на второй половине пластины известными контактным способом получают изображение, которое проявляют, фиксируют, промывают и сушат, Приэтом тщательно оберегают вторую половинунеэкспонированной пластины от попаданиярастворов, особенно фиксажа, путем вертикального погружения. 60Химическую обработку ведут при неактиничном свете, желтом или красном. Затем пластину складывают эмульсионным слоем вовнутрь, линию перегиба фиксируют проглаживанием гладилкой и на копировальном станке 65 производят экспонирование. Так, например, на японской безусадочной пленке типа РТ, время экспонирования составляет 2 сек, Проэкспонированную пленку раскрывают и подвергают первому проявлению в течение 7 мин, промывают в проточной воде в течение 10 - 15 сек и полученное изображение отбеливают в течение б мин, с последующим осветлением в течение 4 мин и промывают. А затем экспонируют в течение 4 сек и производят второе проявление обратного изображения в течение 4 мин, промывают и фиксируют это изображение. При обработке второй половины пластины оберегают прежнюю половину от попадания на нее растворов отбеливателя и осветлителя.Описываемый способ изготовления фото- шаблонов для двустороннего копирования позволяет уменьшить трудоемкость изготовления за счет устранения операций совмещения изображений и сваривания, склеивания по периметру фотошаблонов, а также исключить из пользования специальное дорогостоящее прецизионное просмотровое оборудование для совмещения фотошаблонов, улучшить культуру производства.Формула изобретения1, Способ изготовления фотошаблона для двустороннего копирования путем совмещения двух одинаковых изображений оригинала, полученных на безусадочной фотопленке, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения технологии совмещения изображений, неэкспонированные фотопленки складывают вместе и скрепляют за один край, например, путем перегиба вдвое одной фотопленки с жестким фиксированием линии перегиба и получают в процессе фотопечати на сложенных пленках изображения.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения высокой точности размеров изображений при использовании контактной фотопечати на обратимую фотопленку, на одной из сложенных фотопленок получают прямое изображение оригинала и с этого изображения на другой фотопленке печатают зеркально совмещенное с ним изображение.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что на одной из сложенных фотопленок обесцвечивают противоореольной слой и получают два изображения на фотопленке,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Патент США3531198, Класс 355 - 2 б, 6 ОЗВ от 1970 г.2. Справочник по печатным схемам перевод с английского, под редакцией Б. Н, Файзулаева и др. М Советско радио, 1972, стр.14 б в 1 (прототип).