Радиометрический манометр

О П И С А Н И Е 0,) 537276ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(51) М,Кл.з 6 011. 21/26 Государственный комитет Совета Министров СССР ло делам изобретенийи открытий(72) Авторы изобретения В, И. Бойцов, Б. В, Иванов, Ю. Э. Кононов и В. Г. Кульпин Московский институт химического машиностроения(54) РАДИОМЕТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумной метрологии и может быть использовано для измерения степени разрежения газа.Известны прямоотсчетные механические высоковакуумные манометры, не вносящие возмущения в исследуемую измеряемую среду, содержащие подвешенный на тонкой нерастяжимой нити диск с лопастями, размещенными между нагреваемыми пластинами,Сравнительная сложность конструкции и тщательность юстировки известного манометра создает значительные затруднения при его эксплуатации и ограничивает его область применения лабораторными и специальными измерениями.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является манометр, содержащий присоединяемый к откачиваемому объему корпус с азотной ловушкой и установленную в нем на игольчатой опоре вертушку с приводными лопастями, причем степени черноты сторон лопастей существенно различны, что приводит к возникновению движущего момента при подведении и вертушке потока лучистой энергии,При использовании известного манометра для измерения вакуума наблюдается невысокая чувствительность из-за применения в качестве движущихся лопастей тонкой слюды. Кроме того, невозможно создание высокой температуры на движущей поверхности лопасти путем облучения последней от источника лучистой энергии, что ограничивает диапазон 5 измерений давлений снизу.Цель изобретения - повышение чувствительности и расширение диапазона измерения.Это достигается тем, что радиометрическийманометр, содержащий корпус с азотной ло вушкой, внутри которого установлена вертушка с приводными лепестками, снабжен установленным в ловушке индуктором, связанным с генератором токов высокой частоты, а лепестки вертушки выполнены многослойными с 15 чередованием слоев металлизированной слюды, при этом одна из наружных поверхностей лепестков покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая - слоем нем агнитного материала, например меди.20 На фиг. 1 показан предлагаемый манометр,продольный разрез; на фиг. 2 изображена движущая лопасть.В стеклянном корпусе 1 манометра со штенгелем 2 и ловушкой 3 установлена игольчатая 25 опора 4, на острие которой расположен подпятник 5 с крепленной на нем четырехлепестковой вертушкой 6, а в азотной ловушке 3 находится индуктор 7, соединенный проводами 8 с генератором 9 токов высокой частоты. Ле песток вертушки 6 содержит слюдяной слой,2 иг Составитель О. Полее Техред М. Семенов Корректор Н. Аук Рыбалова ак Тираж 1029Совета Министровоткрытийкая наб., д. 4/5 Заказ 25"7/10 Изд. М 1792 Ц 11 ИИПИ Государсз венного комитета по делам изобретений и 113035, Москва, Ж, РаушПодписноСР я, пв. Сапунова,ип 10, поверхность которого покрыта напыленным слоем меди 11 со степенью черноты Е= =0,012 и металлический ферромагнитный слой 12.Манометр работает следующим образом.Корпус 1 через штенгель 2 соединяется с откачиваемым объемом и охлаждается жидким азотом, залить 1 м в ловушку 3; после включения генератора 9 высокой частоты ток по проводникам 8 поступает к индуктору 7 и электромагнитное поле индуктора 7 нагревает ферромагнитны 14 слой 12 вертушки 6, жестко закрепленной на подпятнике 5, опирающемся на игольчатую;"опору 4. При этом отдельные слои 10 лепестка из-за низкой теплопроводности создают градиент температур на наружных поверхностях.Вертушка 6 приводится во вращательное движение благодаря тому, что молекулы, соударяющиеся с нагретой поверхностью сходят с нее с большей тепловой скоростью, чем с ненагретой и передают суммарный импульсдвижения в сторону блестящей поверхности.По достижении установившегося движениянзм-ряется скорость вращения вертушки 6,5 которая зависит от степени вакуума. Формула изобретенияРадиометрический манометр, содержащийкорпус с азотной ловушкой, внутри которого 10 установлена вертушка с приводными лепестками, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений и увеличения чувствительности, он снабжен установленным в азотной ловушке индукто ром, связанным с генератором токов высокойчастоты, а лепестки вертушки выполнены многослойными с чередованием слоев металлизированной слюды, при этом одна из наружных поверхностей лепестков покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая - слоем немагнитного материала, например меди.