Акселерометр

Союз СоветскихСоциалистицескинРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51) М, 1 л,1 Р 15/О рисоединением за Гооударстоенный иомнтеСовота Министров СССРоо делам нэобретоннйн открытий 23) Приори 3) Опубликовано 05Ь) Дата опублнков 1.76 Дюллетень 4 ия описания 20.01,7 УДК 531768В.А.Бабинков, Л, В, Беликов, С, Ф, Коновалов, И.,И, Медведева и Э.,С. Мкртчян 72) Авторы изобретени осковское ордена Ленина и ордена Трудового Кр высшее техническое училище им, НЭ, Б ного Знаменмана(71) Заявитель 4) АКСЕЛЕРОМЕТ Изобретение относится к приборостроению, в частности к конструкциям миниатюр,ных акселерометров,Известны миниатюрные акселерометры,1 содержащие упругий элемент, выполненныйв виде белки с укрепленным на ее конце.грузом, и тензометрические датчики (теи 1 зорезисторы), размещенные на поверхно.сти белки 1, 21:Недостатками известного акселерометраявляются малая относительная длина упругой балки, ограниченная размерами груза(не превышающая 1/Э/4 размера пласти.вы), в связи с этим мало места дпя размещения;резисторов невозможно обеспечить ре-зервирование при одностороннем расположении тензорезисторотНецентральное распо-ложение площадки для крепления груза усложняет конструкцию корпуса акселероме 1 тоа в случае применения жидкостного демпФ 20(фера колебаний, .Необходимость применять двустороннеерасположение тензорезисторов на упругойбалке при кристаллической ориентации подложки по плоскости 110, что невыгодно технопогически, Если используется одностороннее расположение;то необходимо применять тензорезисторы с различной ориентацией оси, В этом случае будет неодинакова чувстви-, , тельность смежных плеч моста (при указан-ной выше ориентации подложки), неодинако;вы условия нагружения тензорезисторов,что скажется на линейности акселерометра и температурной стабильности его параметровния - исключение нелинейБель изобрете, ности прибора,Для этого в пластине предлагаемого атоселерометра выполнены две П-образные прорези, ориентированные встречно одна к дру-гой, между которыми попарно-симметричноразмешены тензорезисторы, причем оси всехтензорезисторов, расположены параллельноПредложенная конструкция допускает распо-.охожение смежных тензорезисторов и под 90; один к другому (ориентация тензорезйсторов по направлению 110 при ориентацииподложки по плоскости 100),На чертеже изображен предлагаемый ак-еелерометр с двумя П-образными прорезями,Заказ 5550/226 Тираж 1029 ПодписноеОНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по дедам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Рвушсквя нвбд, 4/5филиал ППП "Патент, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Акселеромстр содержит пластину 1, бвлки 2, тензорезисторы 3, груз 4 (или плвс-, ина для крепления груза), Длина балок в редлагвемой конструкции не ограничена размерами грузаПри наличии перегрузки 5 по оси чувствительности вкселерометрв в балках 2 возникают изгибные напряжения.Крутящими напряжениями в балке 2 можно пренебречь ввиду их незначительности.;Таким образом, тензореэисторы,распело- О женные на одних половинках балок будут испытывать напряжения растяжения, а на других половинках - равные по величине напояжения сжатия. В связи с этим отпадает необходимость двустороннего расположения тензореэисторов, Тенэореэисторы в .акселерометре находятся в идентичных условиях нагружения. Пластина для крепления грузе и демпфера имеет центральное распо- ложение, что облегчает конструирование и О изготовление корпуса акселерометрв.Таким образом, выполнение в пластине акселерометра дополнительной П-образной прорези, ориентированной встречно первоначальной, позволяет устранить недостатки конструкции известного акселерометра и,квк следствие, повысить точность и умень"шить его габариты, Параллельное и сил+метричное расположение сопротивлений смежных плеч моста нв балках вкселерометраобеспечивает идентичность параметров ензорезисторов, в результате исключаетсянелинейность иуменьшается температурнаяпогрешность прибора,Формула изобретенияАкселерометр, содержащий пластину стензорезисторами и груз, о т л и ч в ющ и й с я тем, что, с целью исключениянелинейности прибора, в пластине выполнены две П-образные, ориентированные встречно одна другой прорези, между которыми па-,раллельно один другому размещены попарносимметрично тензореэисторы,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:, 1. Патент США Хо 3304787, кл. 73517, 1969 г, - прототип.2, Агейкин Д. И. и др. Датчики контроля и регулирования, "Машиностроение",1965 г,