Способ изготовления кремниевого электронного эмиттера
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 520060
Автор: Альфред
Текст
1 и 152 О 060 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК ПАТЕИТУ Союз Советских Социалистических Республнк(61) Зависимый от патентаН 011. 31/18Н 011. 21/324(33) СШАОпубликовано 30.06,76, Бюллетень24Дата опубликования описания 04.08.76 Государственный комитет Совета Мнннстров СССР по делам изобретений(72) Авторизобретени ностранецГерманн Соммер(71) Заявит Ино РК И(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛКРЕМНИЕВОГО ЭЛЕКТРОННОГ ТТЕ откачивают до 10 --вают с целью обезга элемента, протреваю чение нескольких се 5 тролем температуры ром, затем охлажда этой температуре це максимума фоточув го сенсибилизируют 10 точувствительности. с нагревом до более пример, до 1000 С).тех- ения Следует отметить, что чем ближе температу ра прогрева к температуре плавления кремния (1420 С), тем короче может быть время прогрева (до нескольких секунд). Это важно для нетермостойкого кремниевого эмиттера, содержащего р - а переход. При отсутствии 20 перехода допустимо нагревать и до болеенизких температур (например, до 1100 С), но при этом время прогрева необходимо увеличивать до нескольких десятков секунд (напри.мер, до 30 сек).25 Изобретение обеспечивает получение отрицательното электронного сродства (т. е. высокую эмиссионную способность) без ионной очистки и без продолжительного прогрева. иной способноэффективности а предложеноводить при по С в течение ующие прогретуре,щения эмисси повышенияости эмиттеркремния прои атуре 1100 в рой и послед изкой темпер С целью павысти вследствиеочистки поверхнпервый прогреввышенной темпер3 - 30 сек, а втовы - ,при более н фотоэле- обладаюродством, ных опе- миттером Изобретение относится к электроннои нике, в частности к способам изготовл электронных эмиттеров.Известны способы изготовления электронных эмиттеров с отрицательным электронным сродством на основе монокристаллического кремния, включающие мнотократное повторение циклов нагрева и сенсибилизации при одновременной очистке его поверхности ионной боибардировкой, Однако известные способы очистки поверхности кремниевого эмиттера не могут быть эффективно применены для ряда типов изделий, т. е. они не обеспечивают получения максимальной эмиссионной способности,В частности, процесс изготовления ментов с кремниевым фотокатодом, щим отрицательным электронным с может состоять из следующих осно раций: фотоэлемент с кремниевым э 10 -мм рт. ст., прогреживания весь объем фотот катод, например, в текунд при 1300 С с конего,поверхности пирометют катод до 100 С и при зируют его до достижения ствительности, после четакже до максимума фоЭтот цокл повторяют, но низкой температчры (наЗаказ 1797/20 Изд. Мо 1520 Тираж 963 Подписное ЦНИИГ 1 И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 Получаемые эмиттеры могут иопользоваться в качестве фотокатодов, автоэлектронных катодов и диодов. Способ изготовления кремниевого электронного эмиттера с отрицательным электронным сродством, включа 1 ощий неоднократное повторение циклов нагрева и сенсибилизации, отличающийся тем, что, с целью повышения эмиссионной способности, первый прогрев проводят при температуре 1100 в 14 С в течение 3 в ,30 сек, а повторные прогревы - при температуре ниже температуры первого прогрева.
СмотретьЗаявка
1925709, 01.06.1973
АЛЬФРЕД ГЕРМАНН СОММЕР
МПК / Метки
МПК: H01L 31/18
Метки: кремниевого, электронного, эмиттера
Опубликовано: 30.06.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-520060-sposob-izgotovleniya-kremnievogo-ehlektronnogo-ehmittera.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кремниевого электронного эмиттера</a>
Устройство для измерения потенциала поверхности в растровом электронном микроскопе
Номер патента: 1058006
Опубликовано: 30.11.1983
Авторы: Ракитин, Трубин, Циунелис
МПК: H01J 37/26
Метки: микроскопе, поверхности, потенциала, растровом, электронном
...тем,что устройство для измерения потенциала поверхности в РЭМ, содержащееэнергоанализатор,включающий вытяги-вающий и анализирующий электроды, исцинтилляционный преобразовательс фотоэлектронным умножителем, соединенным с одним из входов схемысравнения, выход которой соединенс входом задающего генератора, аляющая.с ФЗУ с определенным коэффициентом, определяемым делителем 13. Принеравенстве сигнала с выпрямителя 10и опорногЬ выходного сигнала схемасравнения регулирует уровень постоян 5 ной составляющей потенциала задержки .на электрод 5 таким образом, чтобывосстановилось равенство сравниваемыхсигналов,Перед началом работы устройство10 измерения настраивается следующимобразом. При разорванной обратнойсвязи и потенциале образца 3 и...
Устройство для измерения потенциала поверхности в растровом электронном микроскопе
Номер патента: 1274028
Опубликовано: 30.11.1986
Авторы: Денисюк, Добролеж, Клименко, Мен
МПК: H01J 37/26
Метки: микроскопе, поверхности, потенциала, растровом, электронном
...устройство работает врефлекторном режиме, т,е. с замкнутой цепью обратной связи. 25При изменении потенциала образца,например, в сторону отрицательныхзначений энергетический спектр вторичных электронов смещается в область более высоких энергий. При этом 30уменьшается глубина высокочастотноймодуляции потока электронов и, соответственно, уровень переменной составляющей сигнала на выходе энергоанализатора. Связанное с этим умень- З 5шение числового значения кода АЦП 11по сравнению с опорным ведет в результате работы цифрового процессора1.: к появлению на выходе ЦАП 13 управляющего сигнала обратной связи, 40который с помощью схемы 14 сравненияизменяет величину постоянной состав-ляющей напряжения задержки на анализирующем электроде 5, смещая...
Способ определения температуры эмиттера термоэмиссионного электрогенерирующего элемента
Номер патента: 1840073
Опубликовано: 10.07.2006
МПК: H01J 45/00
Метки: температуры, термоэмиссионного, электрогенерирующего, элемента, эмиттера
Способ определения температуры эмиттера термоэмиссионного электрогенерирующего элемента, включающий измерение теплового потока, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности определения, дополнительно измеряют время переконденсации топлива материала в сердечнике электрогенерирующего элемента, а температуру эмиттера определяют из следующего соотношения: где ТЕ - температура эмиттера, °С; к - время переконденсации топливного материала, час;T( =0) - температура поверхности...
Устройство для измерения температуры фазового превращения теплоносителя на гидрофильных поверхностях
Номер патента: 957078
Опубликовано: 07.09.1982
Автор: Фоменко
МПК: G01N 25/08
Метки: гидрофильных, поверхностях, превращения, температуры, теплоносителя, фазового
...каналы с одной стороны сообщаются между"собой поперечным некапиллярным ка=налом 4, который, в свою очередь,трубопроводом 5 соединен с емкостьюб для теплоносителя. Над пластиной 1на .координатнике 7 может быть установлен микроскоп 8, который черезоптический канал 9 соединен с кинокамерой 10.Работа устройства осущесюляетсяследующим образом.Емкость б заполняют теплоносителем, который по.трубопроводу 5 черезканал 4 поступает в капиллярные каналы пластины 1. При включении нагревателя 2 теплоноситель в каналахпластины 1 нагревается и начинает испаряться. За счет протекания процесса Фазового превращения теплоносителя образуется продольный градиентдавления, который обеспечивает поступление теплоносителя иэ емкостиб через трубопровод 5...
Устройство для измерения разности температур при конденсации паров растворителя на поверхность раствора
Номер патента: 1084625
Опубликовано: 07.04.1984
Авторы: Архипов, Бехли, Денисов, Марулиди, Энтелис
МПК: G01K 7/02
Метки: конденсации, паров, поверхность, разности, раствора, растворителя, температур
...т.е. ухудшением отношения сигнал/шум (Для малих сигналов) 4по сравнению с термодатчиками, неподключаемыми к внешнему источникупитания, например термопарами.Наиболее близким по техническойсущности и достигаемому результатук предлагаемому является устройстводля измерения тепловых эффектов конденсации паров растворителя на поверхность раствора, содержащее дифференциальный термодатчик (термобатарея) с герметизирующей оболочкой. Роль измерительных и сравнительных участков поверхности в известномустройстве выполняют поверхности канавок (углублений) в оболочке,имеющей Ш-образную Форму в разре- бОзе (2) .Недостаток известного устройства - низкая воспроизводимость величины выходного сигнала от опыта копыту, обусловленная неконтролиру- у...
Предыдущий патент: Индукционная печь
Следующий патент: Устройство для защиты электрической цепи от перегрузки
Случайный патент: Инструмент для поперечно-клиновой прокатки