Способ изготовления кремниевого электронного эмиттера

Номер патента: 520060

Автор: Альфред

ZIP архив

Текст

1 и 152 О 060 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК ПАТЕИТУ Союз Советских Социалистических Республнк(61) Зависимый от патентаН 011. 31/18Н 011. 21/324(33) СШАОпубликовано 30.06,76, Бюллетень24Дата опубликования описания 04.08.76 Государственный комитет Совета Мнннстров СССР по делам изобретений(72) Авторизобретени ностранецГерманн Соммер(71) Заявит Ино РК И(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛКРЕМНИЕВОГО ЭЛЕКТРОННОГ ТТЕ откачивают до 10 --вают с целью обезга элемента, протреваю чение нескольких се 5 тролем температуры ром, затем охлажда этой температуре це максимума фоточув го сенсибилизируют 10 точувствительности. с нагревом до более пример, до 1000 С).тех- ения Следует отметить, что чем ближе температу ра прогрева к температуре плавления кремния (1420 С), тем короче может быть время прогрева (до нескольких секунд). Это важно для нетермостойкого кремниевого эмиттера, содержащего р - а переход. При отсутствии 20 перехода допустимо нагревать и до болеенизких температур (например, до 1100 С), но при этом время прогрева необходимо увеличивать до нескольких десятков секунд (напри.мер, до 30 сек).25 Изобретение обеспечивает получение отрицательното электронного сродства (т. е. высокую эмиссионную способность) без ионной очистки и без продолжительного прогрева. иной способноэффективности а предложеноводить при по С в течение ующие прогретуре,щения эмисси повышенияости эмиттеркремния прои атуре 1100 в рой и послед изкой темпер С целью павысти вследствиеочистки поверхнпервый прогреввышенной темпер3 - 30 сек, а втовы - ,при более н фотоэле- обладаюродством, ных опе- миттером Изобретение относится к электроннои нике, в частности к способам изготовл электронных эмиттеров.Известны способы изготовления электронных эмиттеров с отрицательным электронным сродством на основе монокристаллического кремния, включающие мнотократное повторение циклов нагрева и сенсибилизации при одновременной очистке его поверхности ионной боибардировкой, Однако известные способы очистки поверхности кремниевого эмиттера не могут быть эффективно применены для ряда типов изделий, т. е. они не обеспечивают получения максимальной эмиссионной способности,В частности, процесс изготовления ментов с кремниевым фотокатодом, щим отрицательным электронным с может состоять из следующих осно раций: фотоэлемент с кремниевым э 10 -мм рт. ст., прогреживания весь объем фотот катод, например, в текунд при 1300 С с конего,поверхности пирометют катод до 100 С и при зируют его до достижения ствительности, после четакже до максимума фоЭтот цокл повторяют, но низкой температчры (наЗаказ 1797/20 Изд. Мо 1520 Тираж 963 Подписное ЦНИИГ 1 И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 Получаемые эмиттеры могут иопользоваться в качестве фотокатодов, автоэлектронных катодов и диодов. Способ изготовления кремниевого электронного эмиттера с отрицательным электронным сродством, включа 1 ощий неоднократное повторение циклов нагрева и сенсибилизации, отличающийся тем, что, с целью повышения эмиссионной способности, первый прогрев проводят при температуре 1100 в 14 С в течение 3 в ,30 сек, а повторные прогревы - при температуре ниже температуры первого прогрева.

Смотреть

Заявка

1925709, 01.06.1973

АЛЬФРЕД ГЕРМАНН СОММЕР

МПК / Метки

МПК: H01L 31/18

Метки: кремниевого, электронного, эмиттера

Опубликовано: 30.06.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-520060-sposob-izgotovleniya-kremnievogo-ehlektronnogo-ehmittera.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления кремниевого электронного эмиттера</a>

Похожие патенты