Способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента

Номер патента: 516002

Авторы: Банков, Бирюков, Гаврилов, Федотов

ZIP архив

Текст

) Приорит Гааударстванкый колите Оооата ГА 55 ннстров СССРпо лалом изобретений 53) УДК 621,372,54(088 8) Опубликовано 30.05.76, Бюллетень2 Дата опубликования описания 21.06.76 и открытии) Авторы изобретен Г. Гаврилов,анков,) Заявител Й ПЛИТУДЫ КОЛЕ ЕНТА очцост ЭЛЕМЕ 1 по предл ания пьез ацале эле кальцой п юй линзь ается тем, что фотографиров в вакуумном а в нижней фо электромагнит Это достигспособу дорасполагаютго микроскопоб ьективной агае мому оэле мент ктроннолоскости ц фоку 0 4) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИ ПЬЕЗОИзобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при разработке пьсзоэлектричсских устройств,Известны спосооы исследования картины колебаний пьезоэлементов с помощ 1 цо зондирования поверхности пьезоэлемента электронным лучом Г 1 - 3. При этом по характеру отражения от колеблющейся поверхности можно косвенно судить об амплитуде колебаний пьезоэлемента. Эти способы не позволяют непосредственно измерять амплитуду колебаний,Известен способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента, основанный ца фотографировании колеблющегося пьезоэлемента в проходящих лучах света и измерении на фотографии проекции смещений интересующих точек пьезоэлемента Г 4.Однако этот способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента обладает недостаточно высокой разрешающей способностью - малой точностью измерецц амплитуды колебаний.Цель изобретения - повышение т и измерения амплитуды колебаний пьезо 1- та.. Бирюков и И. М. Федото сируют электронный луч на ицтересу 1 ощцй участок пьезоэлемента, затем проектиру 1 ОТ ца 11)отопластинку теневое изображение этого участка с увеличением заданной кратности.Практическая реализация способа обусловлена возможностью получения теневого электронного рисунка непрозрачного тела, помещенного в вакуумный канал электронного микроскопа. Возбужденный пьезоэлемент, со верша колебания, дает на фотопластинке четкую тень от колеблюц 1 ихся границ, величина которой соответствует амплитуде колебаний данного участка пьезоэлемента с учетом увсличеци заданной кратности.15 Фотографирование в электронных л)чахэлектронного микроскоп 11 позвол 51 ст достц 1 ь больших кратностей увеличения. Точность намерения амплитуды колебаний та 1;цм способом ца несколько порядков превышает точ ность цзмерш 1 ц 51 В проход 51 щцх лучах свст 11.Современные электроцныс микроскопы позволяют располагать в вакуумном канале пьсзоэлсмецты сравцителыо больших размеров и осуществлять токос ьем с электродов пьезо элемента при помощи встроенных в вакуумный канал электрических контактов. Фор мула изооретсцця пособ измерения амплитуды колебаш 1 й оэлемецта, прп котором фотографируютредактор Е, Караулова Корректор Е. Хмелева Заказ 132418 Изд. ЛЪ 1374 Тираж 1029 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 13035, Москва, )К.35, Раушская наб д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 колеблющийся пьезоэлемент и измеряют на фотографии проекцию смещений интересующих точек пьезоэлемента, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения амплитуды колебаний, до фотографирования пьезоэлемент располагают в вакуумном канале электронного микроскопа в нижней фокальной плоскости объективной электромагнитной линзы и фокусируют электронный луч на интересующий участок пьезоэлемента, затем проектируют на фотопластинку теневое изображение этого участка с увеличением заданной кратности.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.5 1, Лвт. св.243937, Н 42 К 45/01, 1966.2, Лвт. сь.356753, Н ОЗН 3/02, 1970.3. Лвт, св.361510, Н ОЗН 3/04, 1970.4. Л. Г. Смагин, М. И. Ярославский. Пьезоэлектричество кварца и кварцевые резонато ры, М Энергия, 1970, стр. 288.

Смотреть

Заявка

1731954, 31.12.1971

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4149

ГАВРИЛОВ АЛЕКСЕЙ ГЕОРГИЕВИЧ, БАНКОВ ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ, БИРЮКОВ ВЯЧЕСЛАВ ИВАНОВИЧ, ФЕДОТОВ ИГОРЬ МИХАЙЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01R 29/22

Метки: амплитуды, колебаний, пьезоэлемента

Опубликовано: 30.05.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-516002-sposob-izmereniya-amplitudy-kolebanijj-pezoehlementa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента</a>

Похожие патенты