Тепловой манометр
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
/10 кием заявкиприс Государственный комет Совета Мнннотроа ССС по делам нэооретеннйн открытий(43) Опубликовано Ю,ОЗ. Чз,Бюллетень 17 6 (53) У (45) Дата опубликования описания 31.05,76 ( 31,2 88,8(54 мм рт. ст. Это достигается тем, что в те пловом манометре в качестве термочувствительного элемента использован кварцевый пьезоэлемент У-среза. Данный срез обла,дает большим температурным коэффициентом частоты, позволяющим с высокой точностью фиксировать изменения температуры в зависимости от степени разрежения. В качестве нагревателя может быть использована тон: кая пленка, например, нз нихромв, непосредственно нанесенная по периферии пьезо элемента, что обеспечивает минимальное тепловое сопротивление между нагревателем и термочувствительным элементом.и На фиг. 1 представлен манометр, общий,вид; на фиг.2 - зависимость частоты (темпервтуры) пьезоэлемента от давления.Манометр содержит основание , пьезо-.элемент У= среза 2; тонкопленочные электро 0 ды 3, нагреватель тонкопленочный 4, корпус 5 и изолированные вводы 6-9. Последние служатодновременно квк детали крепления пьезоэлемента У срезв 2, Нв поверхность иьезоэлементв 2 вакуумным испвре 1 нием нанесены на плоскости металлические Изобретение относится к вакуумной манометрии в частности к тепловым манометрам, и может быть использовано на промы-шленных предприятиях и в лабораториях, занимающихся вопросами получения высокоговвкуумв в малых герметичных объемах, атакже вопросами газовыделения со стенокоткачиваемых приборов, находящихся в вакуумном объеме.Известны тепловые манометры, принципдействия которых основан на зависимостилеплопередачи через разреженный гаэ отавления. Известные пределы измерений таких манометров составляют 1 О - 10мм рт. ст. Обычно тепловые манометрысостоят из термочувствительного элемента,например термоивры, и нагревателя в видеспирали, помещаемых в корпус. Однако та,кие манометрь имеют большую погрешностьизмерения, составляющую для диапазона 2513283 фу / Составитель О, ПолевРедактор О. Филиппова Техред М, Ликович Корректор С. Бслдижар Заказ 981/60 Тираж 1029 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 1 13 О 35, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент",г, Ужгородул, Проектная,4 электроды 3, служащие для его возбужденияи пленочный нагреватель 4, Пьезоэлемент2, закрепленный на основании , помещенв корпус 5, имевший вакуумплотное соединение с основанием Т. Выводы 6 и 9 подключаются к стабилизированному источникупитания, а 7 и 8 - к генератору возбуждения кварцевого резонатора (пьезоэлемен-ту 2),Градуировку манометра осуществляютследуюшим образом.Манометр монтируется на гребенку высоковакуумного откачного поста совмесчнос одним из известных приборов для измерения вакуума. На выводы 6 и 9 манометра фиг. 1 подается напряжение от стабилиаированного источника питания, а ьыводы7 и 8 подключаются к кварцевому генератору, соединенному с измерителем частоты,например частотомером 43-12. Далее производят откачку и фиксируют изменениячастоты пьезоэлемента 2. в зависимостиот степени разряжения,На основании полученных даных строит ся градуировочная кривая,изображенная на фиг, 2. Определяется чувствительность манометра, составляюшая, например, при применении пьезоэлемента Усреза 2 частотой 5 мгц юеличину 10 мм рт, ст./кгц.Измерение вакуума в динамическом режиме производится анадегично приведенному описанию градуировки прибора. При этом следует учесть, что температура окружаю. шей среды манометра должна поддерживаться с точностью не хуже + 0,1 С. формула изобретения15о Тепловой манометр, содержаший корпуси расположенные в нем нагревательный и термочувствительный элементы,о т л и ч аю ш и.й с я тем, что, с целью повышения в то ности измерения давления в диапазоне10 м 10-5 мм рт.ст в качестве термочувствительного элемента использован кварцевый пьезоэлемент У-среза,
СмотретьЗаявка
2080831, 08.12.1974
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2132
ШАПИРО ВИКТОР АЛЕКСАНДРОВИЧ, КОГАН МАРК НАУМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 21/10
Опубликовано: 05.05.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-513283-teplovojj-manometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Тепловой манометр</a>
Предыдущий патент: Реле разности давлений
Следующий патент: Грузопоршневое устройство для поверки средств измерения давления
Случайный патент: Питатель для сыпучих материалов