Кассета для полупроводниковых кристаллов

нн 505057 Воюз советских Ьоциалистических Республик(51) М. Кл. Н О 1 аявкиГосударственнын комитет Совета Министров СССР бликовано 28,02,76. Бюллетень53) УДК 621,382(088.8 ло делам наобретени ткрыт а опубликования сания 28.04.7 72) Авторыизобретения А. М, Шанов, И. Г, Салахутдинов, Г. В. Назаров, А.А. Н, Царьков и Ю. А, Медведев колов,(71) Заявител ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫ(54) КАС ИСТАЛЛ Изобретение может применяться при производстве полупроводниковых приборов.Известны кассеты, содержащие магазин в виде шахты с внутренней поверхностью по форме дета,ти с поршнем, применяемые при загрузке и выдаче деталей.Однако такие кассеты сложны по конструкции и не пригодны для мелких деталей, например полупроводниковых кристаллов размером 0,7 К 0,7. Кроме того, в такой кассе- О те не предусмотрен визуальный контроль за качеством укладки и выдачи деталей. Особенно необходим контроль при переносе кассеты с операции на операцию и в случаях, когда кассета загружена неполностью, В опи санной конструкции кассеты при неполной загрузке перенос кассеты с операции на операцию возмокен только при дополнительной фиксации поршня или вместе с приводом. Применение привода ведет к ошибке при пе ремещении поршня с деталями из-за допусков механической передачи, что особенно сказывается на надежности работы кассеты при малых толщинах деталей, например 0,1 - 02 мм, 25Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение надежности в работе.Это достигается тем, что в предлагаемой кассете поршень и хотя бы одна из стенок магазина выполнены из ферромагнитного ма- ЗО териала и намагничены, а другая стенка кассеты выполнена из прозрачного материала.Магнитный поршень за счет магнитных сил притягивается к стенке кассеты. При загрузке кассеты поршень под воздействием детали, находящейся на устройстве укладки, перемещается точно на толщину детали. В такой кассете возможна неполная загрузка, так как поршень фиксируется в любом положении за счет магнитных сил притяжения,При поштучной выдаче деталей поршень также перемещается (например, под воздействием импульса сжатого газа) до упора, например до устройства поштучной выдачи, и при этом толщина детали не влияег на работу кассеты. Выполнение одной или нескольких стенок прозрачными позволяет визуально контролировать загрузку и выдачу деталей, а также состояние деталей при переносе кассеты с операции на операцию.На фиг. 1 схематически изображена предлагаемая кассета, общий вид; на фиг. 2 - разрез по А - Л на фиг, 1.Кассета состоит из магазинного накопителя 1 с внутренним отверстием 2 по форме детали, магнитного поршня 3, выполненного по форме внутреннего отверстия накопителя, устройства 4 для загрузки и поштучной выдачи деталей 5, представляющего собой, например, вакуумный пинцет, Магазин-накопительг Составитель Н. О вская ехред М, Семенов Корректор Т. Гревцо раулова ак Изд.1146ПИ Государственного комитета по делам изобретений и 113035, Москва, Ж.35, Рауш ПодписноСР Тираж 977Совета Министткрытийая наб д. 4/5 каз 907/14ЦНИ пографпя, пр. Сапунова, 2 состоит из прозрачных стенок 6 и стенок, выполненных из ферромагнитного материала 7.Кассета работает следующим образом.Устройство 4 с деталью 5 опускается на магазин-накопитель так, что деталь 5 совпадает с отверстием 3. При этом деталь 5, находящаяся на торце вакуумного пинцета, проталкивает столбик деталей 5, находящихся на поршне 3 на велич 11 ну, равную толщине самой детали 5. После загрузки кассеты необходимым количеством деталей 5 она переносится на операцию поштучной выдачи. При этом поршень 3 зафиксирован относительно ферромагнитных стенок кассеты за счет магнитных сил притяжения. При поштучной выдаче деталей 5 устройство 4 опускается на накопитель 1, поршень перемещается (например, под воздействием импульса сжатого газа) до тех пор, пока верхняя деталь 5 не коснется устройства 4, которое захватывает деталь и пе реносит в необходимое место, При этом давление газа снято, и поршень 3 удерживается за счет магнитных сил притяжения, сохраняя столбик деталей в положении, готовом к выдаче следующей детали. Формула изобретенияКассета для полупроводниковых кристал лов, содержащая магазин в виде шахты свнутренним отверстием по форме кристалла, поршень для фиксации деталей в заданном положении, устройство для загрузки и поштучной выдачи деталей из магазина-накопи теля, отличающаяся тем, что, с цельюупрощения конструкции и повышения надежности в работе, поршень кассеты и хотя бы одна из стенок магазина выполнены из ферромагнитного материала и намагничены.