Устройство для ориентации

тт 1 49755 батса Советских еациалистических Республик(23) ПриоритетОпубликовано 30,12.75. Бюллетень48Дата опубликования описания 16.02,76 ЗЬ 7/12 05 К 3/00 Государственный комитет Сааата Министров СССР 53) УДК 621.396,6-181.5, А. Иванов, В. В. Сильченкова, А, А, Сазонов и Н, С. Будкин Московский институт электронной техники(71) Заявител ИСТВО ДЛЯ 4) У АЦИИ 2 т Изобретение относится к устройствам дляориентации, преимущественно элементов интегральных схем в технологических установках микроэлектроники, а также может найтиприменение в координатных измерительных 5устройствах, в оптико-механических инструментах и других устройствах.Известно устройство для ориентации, преимущественно элементов интегральных схем,содержащее платформу, координатный стол, 10биморфные пьезокерамические пластины, связанные с приводами по координатам Х, У ис приводом поворота координатного стола.Недостатками устройства являются недостаточная точность ориентации и сложность 15конструкции,Целью настоящего изобретения являетсяповышение точности ориентации и упрощениеконструкции устройства.Эта цель достигается тем, что биморфные 20пьезокерамические пластины, связанные сприводами по координатам Х и У, одним концом жестко закреплены на платформе, а другим через плоские пружины связаны с координатным столом, причем плоскость пружинки 25перпендикулярна плоскости пьезокерамических пластин, а на пьезокерамичеокой пластине привода поворота координатного столарасположен толкатель, взаимодействующий с винтовым кулачком, связанным с пла формой.На фиг. 1 показан общий вид устройства для ориентации, на фиг. 2 показано устройство для ориентации в разрезе по А - А на фиг. 1.Устройство для ориентации содержит координатньтй стол 1, приводы для его перемещения по координатам Х, У и привод поворота стола в плоскости Х, У. Привод для перемещения по координате Х содержит две биморфные пьезокерамические пластины 2, 3, жестко закрепленные одними концами в пазах платформы 4. На другие концы этих пьезокерамических пластин с помощью шарниров 5, 6 установлены плоские пружины 7, 8 перпендикулярно плоскости пластин 2, 3 соответственно. Противоположные концы плоских пружин жестко заделаны в пазах координатного стола 1. Привод для перемещения по координате У имеет аналогичную конструкцию, содержащую биморфные пьезокерамические пластины 9, 10, шарниры 11, 12 и плоские пружины 13, 14. Привод поворота координатного стола содержит биморфную пьезокерамическую пластину 15, жестко закрепленную в основании 16. В центре пластины укреплен толкатель 17 с двумя подшипниками 18. Толкатель 17 поджат пружиной 19 к двухзаход497551 ЮЯ, 10 аж 5 Изд.2105 аказ 371/10 одпнсно Типография, пр. Сапунова, 2 ному винтовому кулачку 20, скрепленному с платформой 4, Толкатель 17 и винтовой кулачок 20 представляют собою винтовую пару, К внешним и внутренним электродам пьезокерамических пластин 2, 3, 9, 10 припаяны провода для подачи управляющих напряжений (провода на фиг. 1 не показаны),Устройство работает следующим образом.При подаче управляющего напряжения на электроды пьезокерамических пластин 2 и 3 эти пластины согласно обратному пьезоэффекту изгибаются. При этом максимальная величина прогиба будет в месте крепления шарниров 5 и б. Перемещение верхних концов пластин 2 и 3 через шарниры 5, б и плоские пружины 7, 8, воспринимающие усилие ребром и потому не деформируемые, вызывает перемещение координатного стола 1 по координате Х. Плоские пружины 13, 14 свободно изгибаются вдоль оси Х, поскольку усилие, развиваемое пластинами 2, 3, направлено перпендикулярно их плоскости. Величина перемещения координатного стола пропорциональна амплитуде приложенного напряжения, а направление перемещения по координате Х определяется полярностью напряжения,При подаче управляющего напряжения на электроды пьезокерамических пластин 9, 10 устройство работает аналогично, обеспечивая перемещение координатного стола 1 по координате У.При подаче управляющих напряжений одновременно на пары пластин 2, 3 и 9, 10 стол 1 перемещается одновременно по двум координатам в плоскости Х, У.При подаче управляющего напряжения наэлектроды биморфной пьезокерамической 5 пластины 15 она прогибается, причем максимальный прогиб в ее центре. Усилие, развиваемое пластиной 15, через толкатель 17 и винтовой кулачок 20 вызывает поворот платформы 4, а вместе с ней и координатного сто ла 1. Предмет изобретения 15 Устройство для ориентации, преимущественно элементов интегральных схем, содержащее платформу, координатный стол, биморфные пьезокерамические пластины, связанные с приводами по координатам Х, У и с приво дом поворота координатного стола, от л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности ориентации и упрощения конструкции, биморфные пьезокерамические пластины, связанные с приводами по координатам Х и У, 25 одним концом жестко закреплены на платформе, а другим через плоские пружины связаны с координатным столом, причем плос кость пружин перпендикулярна плоскости пьезокерамических пластин, а на пьезокераЗ 0 мической пластине привода поворота координатного стола расположен толкатель, взаимодействующий с винтовым кулачком, связанным с платформой.