Детектор электронов

.73 (21) 1935336,26-25 1 о) .1. Кл. 6 011 128 с присоединением заявки М ета Министров СССРделам изобретенийОпубликовано 15.08.75. Бюллетень МДата опубликования описания 20.10.75 и открытий(7 ) Заявител 1 4) ДЕТЕКТОР ЭЛЕКТРОНОВ использо 1 КРОЗОИДОГосУдарственнык комитет (23) ПриоритетС Изобретение иредцазиачецо длявания в растровых электронных м 1вых приборах.Известные детекторы электронов состоят из устройства сбора электронов, развязывающе го преобразователя (включающего сцицтиллятор с входным электродом и световод), фотоэлектронного умиожптеля (ФЭУ) с нагрузкой и источника питания.В известном детекторе устройством сбора 10 электронов часть электронов, вышедших из исследуемого образца, направляется в поле входного электрода сцинтиллятора и приобретает в нем оптимальную для возбуждения примененного сцинтиллятора энергию. Часть 15 возбужденных в сцинтилляторе фотонов направляется с помощью световода на фотокатод ФЭУ и возбуждает в нем вторичные электроны, поток которых, усиленный динодами ФЭУ, создает в нагрузке регистрируемый сиг нал. С целью уменьшения уровня собственных шумов и достижения максимальной чувствительности по входному сигналу в таких детекторах предъявляются жесткие требования к согласованию спектральных характеристик 25 сцинтилляторов, световода и ФЭУ, а также к конструкции световода и сцпнтиллятора.Недостатки известного детектора следующие: большой уровень собственных шумов детектора, возникающих в развязывающем 30 преобразователе и накладывающихся ия сшнял при его двойном энергетическом иреобр;1- зовяции (эле 1,троны - фотоны - электронь 1), что ограничивает чувствительность детектора и, как следствие. разрешающую способность прибора, в котором оц используется; технические трудности, возникающие при работе со слабыми сигналами и выражающиеся в необходимости очень тщательного изготовления световода и сциитилляторя и тщательном сопря)кении их сиектралы 1 ых характеристик и характеристики ФЭУ.Для повышения об)пего коэффициента усиления в предлагаемый детектор введен мало- шумящий электронный умножитель. устацов. ленный между устройством сбора электронов и развязывающим преобразователем таким образом, что коллектором усиленного поток;1 электронов с его выхода служит входной электрод сцинтилляторя в развязываюгцем преооразователе.На чертеже схематически показан предлагаемый детектор.В металлической трубке 1, являющейся электромагнитным экраном и корпусом детектора, со стороны торца, обращенного в сторону исследуемого объекта 2, ца изоляторах 3, последовательно друг за другом, размещены: устройство сбора электронов 4, выполненное в виде металлической сеточки или комби 4 810 8ИЯЦИИ ОТК.10 ИЯ 101 ЦИХ ПЛЯ(Т.1, 1, )ПГ 5 И,; :. яскт)Оииьп м:5 Но)кслт и я 1-:-);5., ) пзгото,)ениый б(з ко,лскторя ряззы,к .Пий ирсобрязоятсль , рясполоя"ииый входном торце раз:5 с;цепного за ип; С 3. ; изготовленный путем последовательного пяцсеипя иа торец ФЯУ слоя сцш)тиллягоря 8 тонкого проводящего окрытия (1, имею.цс:о коитяктпу)о пло)падку, и ФЭУ 7 с подкл)очспиой к не.сг 5 нс(грузкой 10, Ь; малличсск 1; сеточке 4, электронному умпожителю 5. ко)- тактной площадке проводящего г)окрытия 9, являющегося входным электродом разгязызя - к)щего преобразователя 6, и ФЭУ 7 подведс:1 напряжения от источника пита)ия 11. Оби5 шина которого соедшепа с исследуемым об 1, - ектом 2 металлической трубкойявляюп 1 сйся экраном детектора), вторым концом:)я грузки О, подкгиочеиной к Выход, ФЗУ, общим контуром заземле;шя.Поток электронов от исследусмо;о обяки С ИОМОщ)Ю рЕГуг)пр)сЕ:ОГО:10 тспцп(1)1;: ) СТ )Ойства сбора электронов сеточ:аь-и огклопяющих пластин) направляется пя )ый Под Мя;10)П) М 5 И(ЕГО ВЗУ и ИГ)1;С)дСПС ( Ч(г)1 - него дииодя и ускоря)оцс(. юле, (оздя,)яя( ВХодНЫМ ЭЛСКТродОМ г)яЗВНЗЬП)яюПРГО ПрсобРаЗОВсИЕ,Я, )ЮЛУЧаЕт ОнтИМЯЛЬПУ;О Д,и Б.3 бу 5 кдсИ 51 (1 ц Нт 1 лл 5 то)а:э 1 срГН 10 ( ")соб ) с зуется Б поток снегового излгчепия сшпии,л)1- тором 8. Поток светового излмс)е ия. Бозб) дая ФЭУ, создает па подклОчсПюй к Бь:.,од, ФЗУ нагрузке с)Гиаск иро; опцю)альп,)й Входном), токм дс)сктор;1.с 1 КС 3 1 1 :3:. ЛС Г)ОЧ . Т(КТ(ОНОВ;:,5и ( ч 1, с ис 1:) О . ий к (: ,(, и ( и г (,1 ., 1о;,( 51; мс кэ( Чицпс(О.1 М 1 Г( П 5 .3)С;(Ио О МЯГГ)Ц 1 5 ПЦСГ .:,СкРОИПОГО1 ИОЖ 1(.,151 (Иа)РИ.СР,;1 Л 5 БЗУ-с) 13 10" - -10 Раз и снизить УРовеиь шумов г:рактичсск:. до уровня собственных ШУМОИСТОс):1:,1 Я СИГ: ала, ИЛИ СОКРатцтЬ ВРСМ)1 ПССЛС,ОБс,НИ 5 ООЪСКТЯ, Так, ПРИ ТЕМН 0130 М О -.оке ЗЭУ-), менее 8 10 - " Л можно реч с)- ОИРОБатв ДСГ 5 Г.КИ ЭЛЕктПОНОВ В СЕКМНДГ. т.токи порядка О - " - 10 - " А, с)то не удается сделать с по:о:.ью известного ранее;,етсктора с развязыв)1:О.цис преобразователем ж) д11 р сд"; ст и,о бр ет еи ия20 етектор электронов, содержащий устрой, БО сбора э.ск рй;ОВ,;язВЯзыВающии иэсоб зоатель, Б(тооп;.огок с которого напг)а- ЛС 1 Ис ВХО; фТОЭЛСКТРОПИО 0 ММНОЖИЕЛЯ иодключсииой к; ему иягрузкои. Источ;шк и . Гс)ии 5Ислед (.мыи;3 с 1 землсииыи Обьек.О 1 Л И 1 с) 1 О Еп, И И (. и ТОМ, .О, С ЦСЛ 110 И 13: - щения обцего коэффициента усиления, о 1:ябжси эгск р 01:иым умиожитег 1 ем с малы:Я)Эф)пцп(.ПТО 1 Пума, рсСИО:ОЖСННЫл )ЕЖ;ГГ 50СТРОИСТБОМ СООРс) ЭЛЕКТРОНОБ И Раэ 51 ЗЫБЯО.:ци:5 рсооря:Багслсм, ходпой электрод коОр 01 О Быио,(няст функ 3 ию коллсктОра ПОтокя элсктроОБ элсктрОННОГО ми 05 к 1 тсл 51 с м.