Способ контроля физических характеристик пленочных материалов

(б 1) Зависимое от (22) Заявлено 29.1 т. свидетельств 51) М. Кл, 6 01 п 29/О 8767 2 рисоединением заявк Госуаарственныи комитет Совета Министров СССР оо делам изобретенийи открытий(32) Приоритет -Опубликовано 25.03.75. Бюллетень М 11Дата опубликования описанпня 16.09,75 620.179 (088.8 72) Авторы изобретени В, В, Малов, В, Н, Симонов н Ю, П. Якуни 1) Заявитель сковский ордена Трудового Красного Знамен инженерно-физический институт(54) СПОСОБ КОНТРОЛ РАКТЕРИСТИК ПЛЕНОЧ ФИЗИЧЕСКИХ1 Х МАТЕРИАЛОВ лах.Пленк мых усло менно в тора с об крытий. оится пл ри требуея одновреьезорезонасвойств поорые наноодной заго- зо а иссвияхед,иноеспечПьезонка,ледуемого состава и режимах наносит м процессе на два п ением идентичности резонаторы, на кот изготавливаются из Изобретение относится к акустической техничке контроля качества материалов и изделий.Известен способ контроля физических характеристик пленочных материалов, заключающийся в том, что наносят, пленку контро лируемого материала на пьезорезонатор н определяют изменение частоты колебаний пьезорезонатора. Однако этот способ характеризуется низкой точностью контроля релаксации механических напряжений из-за воздейст вия дестабилизирующих факторов.Описываемый способ отличается от известного тем, что пленку наносят одновременно на два,пьезорезонатора сдвигово-толщинных колебаний, обладающих противоположными знаками приращений частоты при сжатии равномерно распределенными по торцу усилиями, лежащими в плоскости пьезорезонатора, помещают их в общий термостат, измеряют разность частот колебаний пьезорезонаторов и по 2 о ее величине судят о ходе релаксаций, Это повышает точность контроля релаксации механических напряжений в пленочных материатовки, чем гарантируется идентичность свойств и характеристик материала пьезоэлементов. Пьезорезонаторы после нанесения пленки помещают в единый, замкнутый, герметизнрованный объем, чем существенно уменьшается влияние окружающей атмосферы и вариаций ее состава и затем производят термостатнрования для отделения даейфов частот резонаторов от температуры. Для обеспечения высокой разрушающей способности при измерениях релаксаций механических напряжений в пленках наиболее целесообразно использовать резонаторы, обладающие противоположными по знаку изменениями частоты при идентичных вариациях пространственно распределенных механических напряжений в области, покрытой релакснрующей пленкой. Одним из вариантов реализации способа может быть использование двух кварцевых резонаторов, один нз которых выполнен на пьезоэлементе среза АТ, а другой - на пьезоэлементе среза ВТ.При всестороннем равномерном торцовом сжатии силами, лежащими в плоскости пьезоэлемента, резонаторы АТ- среза в виде дисков (нластин либо линз) всегда обнаруживают положительные девиации частоты (при растяжении - отрицательные). В противоположность этому, резонаторы ВТ- среза в аналогичных условиях при сжатии обнаруживают отрицательные изменения частоты, а прн растя464812 Предмет изобретения Составитель Н. БражниковТехред 3. Тараненко Редактор Т. Шагова Корректор И. Снмкна"иаз 014,10 Т 5 Изд.611 Тираж 902 Подписное ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушскаи наб., д. 4/5Тип. Харьк. фил, пред. Патент женпи - положцтель.:ь 1 е. Для обоих резонаторов в рамках очисанной схемы характеристики - усилия - црцпац 1 енцс частоты .чп- НейНЫ С ВЫСОКОЙ СтОПЕЦЬЮ тОчНОСтн. ВСЛЕД- ствце этого напряжение пленки, лежащей на поверхностях резонатора с двух ес сторон, эквцвалентно по характеру напряжению, возникающему в пьезоэлементе при всестороннем торцовом нагружении, о 11 исанном выше. Регистрируя изменения разностнои частоты резонаторов АТ и ВТ-среза получают информаи:.по о процессах рслаксаццй механических напряжений в исследуемой п,чонке и по нсй судят о влиянии технологцц химико-физических параметров пленок на цх стабильность, старение и т. д. Рог:1 страцця изменений разности частот двух резонаторов в сочетании с нанесением пленки одновременно на два пьезоэлемента, помещением цх в сдцньц 1 ооъсм, герметизаццей и термостатированцем этого объема позволяет надежно наблюдать ход процессов релаксацией непосредственно в самой пленке при существенном снижении цеопределенности в результатах измерений, связанной с влиянием дсстаб;1 лцэирующцх воздействий на пьезоэлемент. Способ контроля фцзцческ 11 х ха 1 рактерцстикпленочных материалов, закчюча 1 ощцйся в том, 10 что наносят пленку контролируемого материала на цьезорезонатор 11 определяют цзменецие частоты колебаний пьезорезонатора, отличаюиийся тем, что, с целью повышения точности контроля релаксации механических напряже ний, пленку наносят одновременно на двапьезорезонатора сдвцгово-толщи нных колебаний, обладающих прот 11 воположным 11 знаками приращения частоты при сжатии равномерно распределенными по торцу усцл:1 ямц, лежа щими в плоскости пьезорезонатора, помещаютих в общий термостат, измеряют разность частот колебаний пьезорезонаторов ги го ее величине судят о ходе релаксаций.