Способ обработки материалов

сФатияг1 ц ч +.,",Вл ш 463172 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(51) М, Кл, Н 011 7/3 рисоединением заявкиосударственнын комит овета Министров ССС Г 1 риорите(54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ МАТЕРИА Известен спосония, заключающиобрабатываемоготучего окисла и ркуумных напылитНедостаткамивысокая производклатура обрабать льзование тке тверб газотермического травлейся в окислении поверхности материала и испарении лееализуемый на обычных ваельных установках.этого способа являются неительность и узкая номенваемых материалов. Предложенныи способ позволяет устранить указанные недостатки путем нагрева обрабатываемого материала в активирующей защитной среде, например в атомарно и/или частично ионизированном водороде при давлении 1 вв 10 вмм рт, ст. Обработку проводят при периодически прерываемой подаче газа- окислителя и кратковременной подаче, например, в течение 10 - 20 сек активирующей защитной среды. При этом давление газа- окислителя над поверхностью обрабатываемого материала поддерживают в пределах от 10 -до нескольких миллиметров ртутного столба, а рабочее давление под вакуумным колпаком 5 10 - 4 - 5 10 - 5 мм рт. ст,Обработка материалов проводится на вакуумной установке.Сначала материал загружают в реактор, затем откачивают вакуумную камеру (колпак) форвакуумным насосом до давления 5 10 - а мм. рт. ст. После этого включают высоковакуумную систему откачки и одновременно систему подачи на обрабатываемую поверхность материала активирующей защитной среды.Вакуумную камеру откачивают до давления 5 10 - 4 - 5 10 -мм рт. ст. и включают нагрев обрабатываемого материала. После нагрева материала до нужной температуры отключают подачу активирующей защитной среды и одновременно включают подачу на обрабатываемую поверхность газа-окислителя. В процессе обработки периодически через 1 - 2 мин вместо газа-окислителя подают активирующую защитную среду в течение 10 - 20 сек,После окончания обработки прекращают подачу газа-окислителя, отключают нагрев, охлаждают материал, развакуумируют рабочую камеру (колпак) и выгружают готовые детали.Предложенным способом можно обрабатывать материалы, которые при определенных температурах нагрева и давлении газа-окислителя дают летучие соединения. Способ пригоден для обработки плоских поверхностей, фрезеровки пазов и углублений сложных конфигураций, сверленпя и разделки отверстий как круглой, так и другой формы.Наиболее целесообразно испопредложенного способа при обрабо463172 Способ обработки материалов путем окисления при пониженном давлении с последующим удалением продукта окисления за счет его испарения, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и расширения номенклатуры обрабатываемых материалов, нагрев материала производят в защитной активирующей среде, например, в атомарном и/или частично ионизированном водороде при давлении 10 вв ; 10 вмм рт. ст., подачу газа в окислите проводят периодически, а на время перерывов подают защитную активирующую среду, причем давление газа - окислителя поддеркивают над обрабатываемой поверхностью от 10 -мм рт. ст. до нескольких миллиметров ртутного столба. 15 Состави гель А, МазурТсхред А. Камышникова Корректоры; В, Дод и А, Николаева Редактор Т. Орловская Заказ 070 17 Изд. ЪЪ 499 ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и Москва, )К, Рсуп:снаяТипография. ир. Сапунова, 2 3.дых и хрупких материалов, В частности, обработку карбида кремния производят при температуре 1300 в 14 С и подаче кислорода 10 гв - 10" атомов (или молекул) в сек на 1 см обрабатываемой поверхности, В качестве защитной активирующей среды используют водород. Толщина снимаемого слоя при этом (скорость травления) составляет 1 - 2 мкм,При обработке марганца нагрев производят до 900 в 10 С, в качестве газа - окислителя применяют атомарный азот, а в качестве защитной активирующей среды - водород.Обработку вольфрама производят при температуре 1300 в 14 С и подаче кислорода 10 гв - 109 молекул в сек на 1 см обрабатываемой поверхности. В качестве защитной активирующей среды используют водород. Предмет изобретения Тираж 833 ГодписноеСовета Министров СССРоткрытийиаб д. 4/5