Способ определения вакуума в герметизированных электровакуумных приборах

. тй", и:- -", М ,п 458725 ОП ИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликГосударственный комитет Совета Министров СССР риорите(53) УДК 531,788(088.8 публиковано 30.01,75, Бюллетеньата опубликования описания 04.03.7 о делам изобретен и открытий(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВАКУУМА В ГЕРМЕТИЗИРОВАННЫХ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРАХотношеи ионно- еличине Изобретение относится к области определения вакуума в герметизированных электровакуумных приборах,Известны способы контроля вакуума в отпаянных многоэлектродных электровакуумных приборах, в которых осуществляют ионизацию молекул газа модулированным электронным потоком и производят измерение переменной составляющей ионного тока, по величине которой оценивают давление остаточных газов.При наличии поверхностной загрязненности одного из электродов прибора, используемого в качестве анода, его газовыделение при бомбардировке электронным потоком резко увеличивается при повышении электронного тока. В этом случае заключение о степени газовыделения деталей, подвергающихся электроиной бомбардировке, производят после анализа результатов, полученных при различных величинах электронного тока, Таким образом, известный способ не позволяет производить оперативный и достоверный контроль степени газоотделения деталей в герметизированных приборах.Целью ,изобретения является устранение указанного недостатка. Достигается это тем, что дополнительно измеряют ток высших гармонических составляющих,ионного тока, выделенный с помощью дополнительного заграждающего фильтра, настроенного,на частоту изменения электронного тока и по сонию ионного тока первой гармоникиго тока высших гармоник судят о визменения вакуума,Схема, поясняющая предложенный способ,показана па чертеже, где 1 - электронныйвольтметр переменного тока; 2 - испытуемаямногосеточная лампа; 3 - анод лампы 2 (коллектор электронов); 4 - третья (защитная)10 сетка лампы 2 (коллектор ионов); 5 - первая(управляющая) сетка лампы 2; 6 - генераторпеременного напряжения; 7 - усилитель; 8 -избирательный фильтр; 9 - заграждающийфильтр.15 Контроль степени газоотделения анода 3в испытуемой многосеточной лампе 2 осуществляют следующим образом.На управляющую сетку 5 подают,напряжение от генератора переменного напряжения20 низкой частоты 6. В качестве коллектора электронов используют анод 3 лампы 2, на который подают напряжение положительнои полярности и переменную составляющую электронного тока измеряют с помощью электрон 25 ного вольтметра переменного тока 1. В качестве коллектора ионов используют третью (защитную) сетку 4 лампы 2, на которую подаютнапряжение отрицательной полярности. Переменную составляющую ионного тока, снимае 30 мую с сетки 4 усиливают с помощью усилите458725 Предмет изобретения Составитель О. Полев Техред Т. Миронова Редактор В. Левятов Корректор Е, Кашина Заказ 450/4 Изд,1056 Тираж 902 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 ля 7, имеющего два выхода, К одному выходу усилителя 7 подключают избирательный фильтр 8, а к другому - заграждающий фильтр 9, причем оба фильтра 8 и 9 настроены на частоту изменения электронного тока.Если в процессе электронной бомбардировки будет иметь место газоотделение апода 3, то прои изменении электронного ионизирующего тока по синусоидальному закону, ионный ток будет изменяться по закону, отличающемуся от синусоидального, т. е, перемененный ионный ток может быть представлен в виде суммы гармонических составляющих, Присутствие в составе ионного тока кроме первой гармоники высших гармонических составляющих свидетельствует о газоотделении деталей, подвергающихся электронной бомбардировке, например анода 3. Ток первой гармоники ионного тока измеряют на выходе избирательного фильтра 8, а ток суммы высших гармонических составляющих измеряют на выходе заграждающего фильтра 9.Чем больше газоотделение, тем больше форма изменения ионного тока отличается от синусоидальной и тем больше напряжение на выходе заграждающего фильтра 9 по сравнению с напряжением на выходе избирательного фильтра 8,Необходимо учесть, что газоотделение является инерционным процессом, поэтому для того, чтобы получить достоверные сведения о газоотделении деталей, подвергающихся электронной бомбардировке, необходимо модулировать электронный ионизирующий ток с до статочно низкой частотой, например 5 - 15 гц,10 1. Способ определения вакуума в герметизированных электровакуумных приборах путем ионизации остаточных газов переменным электронным током и измерения переменной составляющей ионного тока, выделенной с 15 помощью фильтра, настроенного на частотуизменения электронного тока, о т л и ч а ющийся тем, что, с целью обеспечения оперативного контроля степенен газовыделения деталей, дополнительно измеряют ток высших 20,гармонических составляющих, ионного тока,выделенный с помощью дополнительного фильтра, настроенного на частоту, изменения электроеБого тока, ы по соотношению ионного тока первой гармоники я ионного тока, высших 25 гармоник судят о величине вакуума,2. Способ по и, 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения достоверности,контроля степени газовыделения, электронный ток,модулируют с низкой частотой например 30 5 - 15 гц.