Растовый электронный микроскоп

Союз Советских Социалистических Республик(51) М. Кл, Н 011 37,26 присоединением заявкт сударственный к 2) Приоритет Совета Министров СС по делам изобретени 53) УДК 621.385.83(088,8) бликовано 05.01.75. Бюллетень М крытий Дата опубликования описания 25.02,7 о 72) Авторы изобретения А. Макаров и Л. ф. Вяль 1) Заявител 54) РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП редло- микровидео- гермея пушИзобретение относится к электронно-оптическим приборам и может быть использовано в растровых электронных микроскопах.Известны растровые электронные микроскопы, в которых сканирование электронного зонда по объекту и отклонение электронного луча в кинескопе видеоконтрольного устройства производят по схеме построчной пли чересстрочной развертки. Недостатком известного микроскопа является нечеткость изображения в направлении луча,по строке.Цель изобретения - повышение четкости изображения на кинескопе видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа.Поставленная цель достигается благодаря тому, что между генераторами пилообразного напряжения вертикальной и горизонтальной разверток и отклоняющими системами, размещенными в колонне микроскопа и видеоконтрольном устройстве, установлен коммутатор, с помощью которого синхронно переключают токи разверток в отклоняющих системах для получения изотропного растра.На чертеже показана блок-схема и женцого растрового электронногоскопа.Микроскоп состоит из колонны 1 и контрольного устройства. В вакуумнотичной колонне размещены электронна ка 2 и фокусирующая линза 3, составляющиеосветитель, отклоняющая система 4, служащая для сканирования электронного зонда 5по объекту 6, и детектор 7, воспринимающий5 полезный сигнал с объекта, которьш подаетсязатем на вход усилителя 8.Вцдеоконтрольное устройство содержитблок 9 генераторов кадровой и строчной разверток, электроннолучевую трубку, например10 кинескоп 10, с фокусирующей и отклоняющецсистемой 11 и коммутатор 12, выполненный,например, на триггерных каскадах,Электроны, полученные и ускоренные вэлектронной пушке 2 и сфокусированные лин 15 зой 3 на электронный зонд 5, проходят черезобласть дейстьия отклоняющей системы 4 ипопадают на исследуемый объект б. Две парыидентичных отклоняющих катушек, к которымподают пилообразное напряжение частоты20 кадров и строк от блока генераторов разверток 9, отклоняют зонд 5 таким образом, чтоэлектроны зонда бомбардируют последовательно различные участки поверхности объекта б, образуя иа ней линейчатыц растр, От 25 клоняющая система 11 кинескопа (две парыидентичных отклоняющих катушек) отклоняетэлектронный луч синхронно с отклонениемзонда в колонне микроскопа, в результатечего на экране кинескопа получаот тактике30 линейчатый растр.. Орловская дак Заказ 381/10 ЦИзд. М 2861 ИПИ Государственного комитет по делам изобретений Москва, Ж, Раугпска Тирагк 833 Совета Минист открытий наб., д. 45ПодписноСССР ипограрпя, пр, Сапунов При взаимодействии электронов зонда с материалом объекта образуются частицы (вторичные, отраженные, поглощенные электроны) или излучение (например, рентгеновские лучи), которые используют для формирования с помощью детектора 7 полезного электрического сигнала, несущего информацию об объекте. Полезный сигнал усиливают в усилителе 8 и подают на модулятор кинескопа 10. На экране кинескопа 10 получают модулированное по яркости изображение объекта 6, на котором проявляется строчная структура растра. Следовательно, формирование изображения объекта в течение одного кадра,происходит обычным образом.Во время обратного хода луча между последовательными кадрами переключают с по. мощью коммутатора 12 напряжение разверток в отклоняющих системах колонны 1 и кинескопа 11 так, что в течение следующего кадра зонд 5 образует на поверхности объекта 6 линейчатый растр со строчной структурой, повернутой на 90 относительно строчной структуры в предыдущем кадре. На экране кинескопа 10 синхронно происходит поворот лпнейчатого растра также на 90. В результате сформированное изображение объекта 6на экране кинескопа 10 имест точечную структуру (с цикличностью, например, в два кадра) и одинаковую четкость по вертикали и5 горизонтали, причем общая четкость посравнению с четкостью изображения со строчной структурой увеличивается.Для,повышения четкости изображения впредложенном устройстве можно при данном10 разрешении прибора и поле зрения на объектограничить полосу частот, необходимую дляпередачи сигнала по видеоканалу, благодарячему увеличивастся контрастность изображения объекта,15Предмет изобретенияРастровый электронный микроскоп, содержащий колонну, видеоконтрольное устройство, генераторы тока вертикальной и горизон 20 тальной разверток, отклоняющие системы,размещенные в колонне микроскопа и видеоконтрольном устройстве, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения четкости изображения, между генераторами тока разверток и25 отклоняющими системами установлен коммутатор.