Номер патента: 456324

Авторы: Анаскин, Стоянов, Тихонов

ZIP архив

Текст

ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пп 456324 Сова Советских(22) Заявлено 04,06.73 (21) 1925102/2 1) М, Кл. Н 01 т 37 О исоединением заявкиГосударственный комитет Совета Министров СССР(72) Авторыизобретени П. А. Стоянов, И наскин и Д. Д, Тихонов 1) Заявител ЛЕКТРОННАЯ ПУШК иным пушв и может микроскоТака аемой ачки п уть св ффект Пприв качеспечитьчто вахжениях 1Изобретение относится к электро ам электронно-оптических устройст ыть использовано в электронных ах с автоэлектродными катодами Известна электронная пушка для электронного микроскопа с автоэмиссионным катодом, системой электродов, высоковольтным изолятором и магнитным экраном. Высокий вакуум вобласти катода (10 - е - 10 - го мм рт. ст.), необходимый для работы пушки, создаетсясверхвакуумными насосами.Однако в известной конструкции скоростьоткачки мала, так как магнитный экран ограничивает эффективное сечение откачки, Для 15достижения сверхвысокого вакуума в такихсистемах необходим предварительный прогревпушки и насоса, что увеличивает время откачки,Целью изобретения является создание электронной пушки с высокой скоростью откачки иэффективной магнитной экранировкой.Поставленная цель достигается благодарятому, что внутри пушки установлен заполненный жидким гелием сосуд со сквозной центральной полостью, в которой размещена система электродов, и магнитным экраном, находящимся в тепловом контакте с сосудом ивыполненным из сверхпроводящего или ферромагнитного материала. 30 я конструкция позволяет в непрогресистеме резко повысить скорость отушки и быстро ( через 1 час) достигерхвысокого вакуума с сохранением твной магнитной экранировки.менение сверхпроводника типа свинца тве материала экрана позволяет обесзащиту от рентгеновского излучения, сно для пушек, работающих при напря - 100 кв и выше. На чертеже показана предложенная электронная пушка, продольный разрез.Электронная пушка содержит электроды 1, 2, автоэлектронный катод 3, высоковольтный изолятор 4, сосуд 5, заполненный хсндким гелием; сосуд 6 с жидким азотом; тепловой экран 7, жалюзи 8, тонкостенные трубки 9, 10 для укрепления сосудов и заливки гелия и азота; магнитный экран 11, высоковольтный кабель 12 и диафрагму 13.Пушка работает следующим образом.После откачки объема пушки до форвакуума в сосуд 5 заливают жидкий гелий. Стенки сосуда охлаждают до температуры жидкого гелия и становятся эффективным конденсационным высокопроизводительным насосом. Залитый в сосуд 6 жидкий азот охлаждает экран 7 и жалюзи 8, которые защищают сосудс гелием от теплового излучения электродов и других узлов, находящихся при комнатной температуре. Экран 11, выполненный из сверхпроводящего материала, например свинца, достаточной толщины и расположенный в сосуде с гелием, обеспечивает почти идеальную экранировку как от внешних магнитных полей, так и от рентгеновского излучения. После достижения вакуума 10 - а - 10 - о мм рт. ст. на электроды подается напряжение по высоковольтному кабелю 12. Объем пушки отделен от остальной части колонны микроскопа (в которой поддерживается вакуум 10 -- 10 -мм рт. ст,) с помощью диафрагмы 13, обеспечивающей перепад давлений (дифференциальная откачка). 456324 4 Предмет изобретенияЭлектронная пушка для электронно-оптического устройства, например электронного мик роскопа, содержащая автоэлектронный катод,систему электродов, высоковольтный изолятор и магнитный экран, отличающаяся тем, что, с целью повышения скорости откачки при сверхвысоком вакууме с сохранением эффек тивной магнитной экранировки, внутри пушкиустановлен заполненный жидким гелием сосуд со сквозной центральной полостью, в которой размещена система электродов, и с находящимся в сосуде или в тепловом контакте с 15 ним магнитным экраном, выполненным изсверхпроводящего или ферромагнитного материала.

Смотреть

Заявка

1925102, 04.06.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3726

СТОЯНОВ ПАВЕЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ, АНАСКИН ИВАН ФИЛИППОВИЧ, ТИХОНОВ ДМИТРИЙ ДМИТРИЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 37/06

Метки: пушка, электронная

Опубликовано: 05.01.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-456324-ehlektronnaya-pushka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электронная пушка</a>

Похожие патенты