Способ поперечной резки полупроводниковыхслитков

Номер патента: 434519

Авторы: Иванов, Ордена, Скрипко, Шушпан

ZIP архив

Текст

фт ОП ИСАЙИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ ш 1 434%9 Союз СоветскмСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 16.02.73 (21) 1883854/26-25с присоединением заявки51) М, Кл. Н 011 7/6 Приор ите осударственный камкСовета Министров СССоо делам изобретенийи открытий Опубликовано 30.06,74. Бюллетень2 Дата опубликования описания 12.11.74(72) Авторы изобретени пко и Ю. И, Шушпа(71) Заявител рдена Трудового Красного Знамени институт сверхтвердых материалов АН Украинской ССРПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ОЙ РЕЗК СЛИТКО) СПОСОБ ПОПЕР 2 На абразивный отрезной круг 1 с внутренней режущей кромкой, приводимый во вращение, подают в радиальном направлении разрезаемый слиток 2. При осуществлении радиальной подачи слиток занимает положение, когда продольная ось О, слитка расположена относительно оси О, круга 1 на расстоянии, большем радиуса Я режущей кромки на величину б. Величину б устанавливают экспериментально. При достижении такого расположсния слитка относительно отрезного круга радиальную подачу прекращают п дальнейшую резку осуществляют за счет поворота слитка 2 вокруг его продольной оси ОьПредмет изобретения ение выхода годщих операциях ин, улучшение ка ых пластин нарядиаметров разреСпособ поперечнои резки пол вых слитков абразивным отрез включающий вращение инструме ную подачу слитка на инструмен щ и й с я тем, что, с целью увели годных пластин и повышения кач ности, радиальную подачу слит мент прекращают после пересече кромкой инструмента продольно а затем осуществляют подачу с струмент путем поворота слитка дольной оси,подача слитка на в два этапа; снаная подача, кото- сечения режущей тка, а затем сливоей продольной и поясняется схеующим образом Известен способ рез слитков, когда одновр дачей слитка на вра происходит вращение ной оси; при этом рез ферии и заканчиваетс В результате такой мой пластины остаютс пы, устранение которь кость последующих оп шает выход годной прки полупроводниковых еменно с радиальной пощающийся инструмент слитка вокруг продолька начинается на перия в центре слитка,резки в центре отрезаея следы сколов и выстух увеличивает трудоемераций, а также умень одукции. Цель изобретения - увелич ной продукции на последую шлифования и раскроя пласт чества поверхности отрезаем ду с увеличением диапазона заемых слитков. Цель достигается тем, что инструмент осуществляется чала осуществляется радиаль рая прекращается после пере кромкой продольной оси сли ток поворачивают вокруг с оси до окончания резки. Предлагаемый способ резк мой, показанной на чертеже. Резка осуществляется слеупроводниконым кругом,нта, радиальт, отличаючения выхода ества поверха на инструния режущей й оси слитка,литка на инвокруг про434519 Составитель О. БочкинТехред Н. Куклина Корректор М, Лейзерман Редактор И, Орлова Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 3019/15 Изд, Ма 1789 Тираж 760 Подписно ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5

Смотреть

Заявка

1883854, 16.02.1973

А. А. Иванов, Г. Ф. Скрипко, Ю. И. Шушпан, Ордена Трудового Красного Знамени институт сверхтвердых материалов Украинской ССР

МПК / Метки

МПК: H01L 21/00

Метки: полупроводниковыхслитков, поперечной, резки

Опубликовано: 30.06.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-434519-sposob-poperechnojj-rezki-poluprovodnikovykhslitkov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ поперечной резки полупроводниковыхслитков</a>

Похожие патенты