Устройство для проверки к восстановления транзисторных структур

(111 434341 Союз Советских Социалистицеских Республик(32) Приорите Опубликовано Гесударствеииый камитетСовета Мииистрсе СССРпа делам изобретенийи аткрытий 153) У,11 621.382.3.06.74. Бюллетень Ъ та опубликования описания 31.10.74 Авторыизобретения С. С. Булгаков, В. М, Выгловский, В хов и Ю. В. Хочошк1 з 71) Заявител 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕР ТРАНЗИСТОРНЫХИ ВОССТАНОВЛЕНИЯТРУКТУР база и о работа изуальн их эмит предлагаемое ом напряжения ного подключеа и упомянутого ом один из зон Иерскл 10 чаперсключателя ения через выражепо и Изобретленногоприборов,зисторов изисторах.В настоящее время число эмиттерных ячеек отдельных типов транзисторов достигает 300 и более, Смыкание одной или нескольких ячеек эмиттер - база в результате диффузионных или фотолитографических процессов приводит и выходу из строя всей транзисторной структуры, в то время как вклад в работу транзистора отдельных ячеек незначителен и работоспособность транзистора не изменяется при удалении закороченного участка структуры, а эксплуатационные характеристики пе отличаются от характеристик приборов, в которых закоротки перехода эмиттер - база отсутствуют.Известно устройство для контроля вольтамперных характеристик транзисторных структур, содержащее характериограф и контактные зонды. Это устройство предназначено только для контроля вольтамперных характеристик, и его невозможно применить для реставрации короткозамкнутых переходов эмиттер - база.Цель изобретения - обеспечение возможности наряду с контролем вольтамперных характеристик реставрировать короткозамкнуение относится к области промышпроизводства полупроводниковых в частности многоэмиттерных транинтегральных схем на таких трантые переходы эмиттер - контролировать количеств терных областей.Цель достигается тем, что устройство снабжено источник и коммутатором для поочеред пия к зонда.г характерпограф источника напряжения. При эт дов соединен со средней точ теля, а один из полюсов этого соединен с источником напрян прямитель.На чертеже схематично из лагаемое устройство,Оно включает в себя характериограф 1,группу зондов 2, 3, 4, источник переменного напряжения 5, диод 6, тслефонныш ролпковып ключбез фиксации ролика и контактный О стол 8.Устройство работает следующим образом.Пластину 9, имеющую многоэмпттерныеструктуры, состоящие из гг параллельно соединенных менгду сооои ячеек, каждая из кото рых содержит р - гг-переход и последовательновключенное в цепь эмиттера балластное сопротпвлеьп 1, помещают на стол 8 и подводят зонды так, ч;обы зонд 2 располагался на базовой контактной плогцадке, а зонды 3 и 4 - 30 на эмиттсрных.434341 тавнтель 3. ЧелноковаТекред Н. Куклина едактор рлова орректор Л. Орлова аказ 2910 Л 7ЦНИ Изд.1743 Государственного коми по делам изобретен Москва, Ж, Раушпографии, пр. Сапунова, 2 3Для структуры, имеющей одну контактную эмиттерную площадку, используют один из зондов 3 и 4, оставляя другой свободным.Контроль вол ьтамперных характеристик транзисторных структур оператор проводит при расположении ключа 7 в положение а. При обнаружении же короткозамкнутого перехода эмиттер - база ключ 7 переводят в положение б или в в зависимости от конструкции транзисторной структуры,В положении ключа 7 б источник переменного напряжения 5 оказывается подключенным к эмиттерным контактным площадкам.Ток в транзисторной структуре протекает по закороченным с базой эмиттерным ячейкам и вызывает разрушение перемычек или балластных сопротивлений. Дальнейшее протекание тока прекратится, так как оставшиеся годными эмиттерные р - п-переходы оказываются включенными навстречу друг другу.Количество выжженных эмиттеров визуально контролируют переводом ключа 7 в положение в, В этом положении работающие эмиттеры оказываются обратно включенными с диодом 6 в цепь источника переменного напряжения 5. Обратное напряжение вызывает свечение работающих эмиттеров, за которыми наблюдают визуально в микроскоп,Для структуры с одной контактной площадкой реставрацию короткозамкнутого перехода проводят одновременно с визуальным контролем при расположении ключа 7 в положении в.Реставрация эмиттеров транзисторной структуры проводится под напряжением 5 в.Предмет изобретенияУстройство для проверки и восстановления транзисторных структур, содержащее характериограф и контактные зонды, отличающ е е с я тем, что, с целью реставрации короткозамкнутых переходов, оно содержит коммутатор, соединенный с зондами, характериографом, источником переменного напряжения и диодом, выпрямляющим переменное напряжение. Тираж 678 Подписета Совета Министров СССРй и открытийкак наб., д. 4/5