Растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализав п т вff •• v г»1. s • ” г г е р. cpoiifi aiiiihfchii
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 420013
Авторы: Антошин, Московский, Ордена, Сапарин, Спивак
Текст
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1) Зависимое от авт, свндетельства - 2) Заявлено 26.04,72 (21) 177755026-25 1) М. Кл присоединением заявки Государственный камитеСовета Министров СССРпо делам изооретенийи открытий 2) Г 1 риоритст Опубликовано 1511.1974, Бюллетень Хе 1Дата опубликования описания 30.07.1974 53) УДК 621.385.83) Заявитель осковский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. М. В. Ломоносова(54) РАСТРОВЪ Й КАТОДОЛ О ЛЕКТРОННЪй МИКРОСКОП ДИНЕСЦЕНТНОГО АНАЛИЗА Растровый электронныйжит источник электроновка) 1, электронно-оптическлоняющую систему 3, обтронные умножители 5,контрольное устройство 7. микроскоп содер(электронная пущую систему 2, отразец 4, фотоэлекфильтры 6, видеоИзобретение относитсяэлектронной микроскопии цру щ твердых тел.Известен растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализа, содержащий источник электронов, электроннооптическую, отклоняющую и приемную системы.Недостатком такого микроскопа является то, что изображение поверхности в катодолюмипесцентном излучении формируется с помощью фотоэлектронного умножитсля с пшрокой спектральной характеристикой, что не позволяет одновременно оценить области образца, люминесцирующие в каком-то узком интервале длин волн.Одновременный анализ образца в различных участках спектра обеспечивается за счет того, что в предлагаемом микроскопе приемная система выполнена в виде нескольких фотоумножителей с различными спектральными характеристиками, светофильтров, установленных перед фотоумножителями, и многоканального устройства, к выходам которого подключены выходы фотоумножителей. Это позволяет передавать одновременно видеосигнал го всем каналам в любом заранее заданном диапазоне спектра одновременно. На чертеже изображен предлагаемьптикроскоп. Электронная пушка 1 и электронно-оптическая система 2 формируют тонкий электрон ный зонд 8, развертываемый по образцу 4 врастр отклоняющей системой 3. Прн взаимодействии электронов луча с веществом возникающее катодолюминесцентное излучение регистрируется после прохождения фильтров 6 5 фотоумножителями 5. Возникающий на выходе фотоумножителей видеосигнал поступает на вход многоканального видеоконтрольного устройства 7 и вызывает яркостную модуляцию светового пятна на видеоэкране, форми руя тем самым изображение поверхности образца в катодолюминесцентной интерпретации. Для идентификации точек изображения и поверхности объекта развертки луча микроскопа и луча в кинескопе видеоконтрольного 5 устройства синхронизированы.Благодаря одновременной передаче сигналов при помощи многоканальной видеосистемы возможно получение стереоскопического изображения, возможно исследование динами ческих процессов (например, температурш ле1373 Тираж 760ого комитета Совета Минисизобретений и открытий35, Раушская наб., д. 415 Подписнос в ССС ография, пр, Сапунова,изменения в веществе), влияющих на катодолюминесцентные свойства вещества. Предмет изобретения Растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализа, содержащий источник электронов, электроннооптнчсскую систему, формирующую электронный луч, отклоняющую систему, разворачивающую луч в растр на исследуемом образце, и приемную систему, отл и ч а ю щи й с я тем, что, с целью одновременного анализа образца в различных участках спектра катодолюминесцентного из лучения, приемная система выполнена в виденескольких фотоумножителей, светофильтров, установленных перед фотоумножителями, и многоканального видеокоптрольного устройства, к выходам которого подключены выходы 10 фотоумножителей.
СмотретьЗаявка
1777550, 26.04.1972
Г. В. Спивак, Г. В. Сапарин, М. К. Антошин, Московский ордена Ленина, ордена Трудового Красного Знамени государственный университет М. В. Ломоносова
МПК / Метки
МПК: H01J 37/26
Метки: aiiiihfchii, cpoiifi, анализав, г1, катодолюминесцентного, микроскоп, растровый, электронный
Опубликовано: 15.03.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-420013-rastrovyjj-ehlektronnyjj-mikroskop-dlya-katodolyuminescentnogo-analizav-p-t-vff-v-g1-s-g-g-e-r-cpoiifi-aiiiihfchii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализав п т вff •• v г»1. s • ” г г е р. cpoiifi aiiiihfchii</a>
Предыдущий патент: Способ обработки трубчатых колб люминесцентных ламп
Следующий патент: Способ ионпого легирования полупроводников
Случайный патент: Способ моделирования сахарного диабета