415482

) д б о. 4 Е Союз СоветскиМ СоциалистицескиМ РеспубликЗависимое от авт. свидетельства Ъ 0,1 Х,1971 (Лое 17131365-28) М. Кл, 6 01 Ь О/02 Заявл исоединением заявки Ъ риорит осударственный комитетСовета 1 йинистров СССРоо делам изобретенийи открытий УДК 531.715.1(088.8Опубликовано 5,11,1974, Бюллетень,. 6Дата опубликования описания 10 Х 11.974 Лвтор зобретени Т. Пур Московское вьена Ленина и ордена Трудового Красного Знамене техническое училище им. Н. 3. Баумана твитель ИНТЕРфЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВЫПУКЛЫХ ПОВЕРХНОС 1 ЕЙ ЛИНЗ БОЛЬШОГО ДИАМЕТРАмои контрооме того,зеркалом, илученногои зеркялозпоказатель13 тели пре е относи строения ества вьповерхн 50 мм в 1 нруемоирабочая зедназнаволповоговведена прелом- ЧОЗ 1 ЛСНПЯ щии с теорет 1 гческои фор поверхности линзы. Кр ветвь снабжена плоским ченным для поворота по фронта, а между линзой иммерсионпая жидкость, ления которой равен пок матерял 1 л 113 ы.На чертеже нзобряжс схема пнтерферометр;1. 1 Я1 Р1и 11 и Ыи Изобретепи тся к области оптического приборо и предназначено для контроля кач пуклых сферических и асферических остей линз диаметра свыше 200 - 2 процессе их изготовления.Известен иптерферометр для контроля качества выпуклых поверхностей линз, содержащий монохроматический источник света и фокусирующее устройство, образующие ос ветительную ветвь, разделительный кубик с полупрозрачной гипотенузной гранью, эталонное сферическое зеркало, образующее эталонную ветвь, наблюдательную ветвь и рабочую ветвь с компенсатором, 15В известном интерферометре используют компенсатор, козорый совместно с первой поверхностью линзы преобразует сферический волновой фронт во фронт, совпадающий с теорети;еской формой второй, окончательно 20 обработанной поверхности линзы.Таким образом, вторая поверхность линзы имеет основное значение, от которой зависит точность и производительность контроля.С целью повышения точности и производи тельности контроля в предлагаемом интерферометре используют ком пенс атор, который совместно с выпуклой преломляющей поверхностью линзы преобразует сферический или плоский волновой фронт во фронт, совпадаюИнтерфсрометр содержит монохром атп 1 сский источник света 1, например оптический квантовый генератор, фокусирующсе устро 1- ство - микрообъсктнв 2, разделительныи куоик 3 с полупрозрачной гипотенузной гранью, эталонное сферическое зеркало 4, козпснсятор 5, пммерспопную жидкость 6, плоское зеркало 7, м 1 пов,к 1 пластину 8 и лупу 9. Кроме того, в устройство входит линза 10 с контролируемой поверхностью 11 н планшайба 12 станка. Осьет 1 пе,1 ьная ветвь интерферометря образована эдемепямии 2, эталонная - э,.емепто. 4, рабочая - элемептамн 5 и 11 и 5 и 7 и 1;аб, юдательнятэлсаетази 8 и 9. В процессе кп 1 троля рабочая ветвь интерферометра может зянпм,пь вептикальное и горизонтальное .,оложене. С цельо копроля пепосредств;-и".о я етя 1 ке зеркало 7 посто.пно установлено ня планшайбе 12 станка.Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.Интерференционная картина образуется па матовой пластине 8 как результат интерференции волновых фронтов, идущих из эталонной и рабочей ветвей. В результате того, что лучи света в рабочей ветви иптерферометра дважды преломляются контролируемой поверхностью и один раз отражаются от нее, происходит утроение погрешностей контролируемой поверхности, если показатель преломления линзы равен 1,5, что повышает чувствительность контроля на предлагаемом интерферометре в полтора раза в отличие от других известных приборов.Оценка качества производится известными способами по виду интерференционной картины, наблюдаемой с помощью лупы 9. В предлагаемом устройстве интерфереиционная картина образована при участии лучей, отраженных и преломленных вссй контролируемой поверхностью, что обеспечивает высокую точность контроля местных и общей ошибок поверхности. Предмет изобретения Интерферометр для контроля качества выпуклых поверхностей линз большого диаметра, 5 содержащий монохром атический источниксвета и фокусирующее устройство, образующие осветительную ветвь, разделительный кубик с полупрозрачной гипотенузной гранью, эталонное сферическое зеркало, образующее 10 эталонную ветвь, наблюдательную ветвь и рабочую ветвь с компенсатором, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, используют компенсатор, который совместно с выпук лой преломляющей поверхностью линзы преобразует сферический или плоский волновой фронт в волновой фронт, совпадающий с теоретической формой контролируемой поверхности линзы, рабочая ветвь снабжена плоским 20 зеркалом, предназначенным для поворота полученного волнового фронта, а между линзой и этим зеркалом введена иммерсионная жидкость, показатель преломления которой равен показателю преломления материала линзы.