415465
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 415465
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистицескихРеспублик Зависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 31.Х 11.1971 ( 1731925/24с присоединением заявки-Приоритет М. Кл. Г 26 Ь 3/30Е 26 Ь 15/12 ударственна 1 й комитет вета Министров СССР оо делам изооретенийи открытий Опубликовано 15.11.19 ДК 667.64етень Ье бликования списания 2 Л 11, 974 Авторы1 зобретения Уксусов, А. Т, Буравцев, Л. Н. Каплин и С, И. Эйгель витель фЬ э".1;1кА 1 УСТАНОВКА ДЛЯ СУШКИ ПОКРЫТИЙ НА ПЛА ЕНОЧНЬНАХ чпрующий кран 8 ц 20 изобретеция)с 1 ме 1 сушки пленочных покрыцдпример, цз полупроводв, содержащая сушильную 1 для отсосд паров и растонвейср для перемещения еи инфракрасного цзлуче 5 1. Установка для тий нд пластинах, пиковых мдтерц 11 ЛО камеру с пд 1 рубко положенные в цсй0 пластин и источнц Изобретение предназначено для сушки тоц. ких пленок, например пленки фоторезисторд, на поверхности пластин из полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве твердых радиотехнических схем.Известны установки для сушки пленочных покрытий на пластинах, содержащие сушильную камеру с патрубком для отсоса пдров и расположенные в ней конвейер для перемещения пластин и источники инфракрасного излучения.Предлагаемая установка позволяет повысить качество сушки. Это достигается тем, что конвейер выполнен в виде лотка, заполненного жидкостью с физическими свойствами, достаточными для удержания ца цсй пластин, например водным раствором глицерина, ццркулиру 1 ощим по замкнутому контуру прп помощи насоса.Для термостатировация жидкости в контуре установлен теплообменник.Лоток выполнен из материала с цизкоц теплопроводностью, например фторопласта,Нд чертеке схематично показана описываемая установка.Установка содержит сушильную камеру 1 с патрубком 2, источцики 3 ицфракрдсцого излучения, лоток 4 с жидкостью, ца поверхности которой плавают пластины 5, теплообмешпп; 6, насос 7, регу.компенсирующий бдк 9.Сушку пленочного покрытця цд поверхностипластин 5 производят при помощи источников 5 3 инфракрасного излучения, а пары из камеры 1 отсасыв;1 ют 1 ерсз цдтрубок 2, Пластины свободно плавают вплоп 1 ую друг к другу ца поверхности жидкости, транспортируемой по лотку 4, Выполненному из материала с низкой 0 теплопроводностью, например фторопласта.Жидкость, например водный раствор глицерина, циркулирует по контуру: лоток 4 - теплообмецццк 6 - насос 7. Регулируя краном 8 напор жцдкосгц, изменяют скорость переме щения плдс 1 цц 5 в лотке 4, т. е. время сушкипх в камере 1. Для пополнения цспдрившейся жидкости служит комиссцрую 1 ций бак 9.Темпер:1 туру жидкости поддеркивают постоянной прп помошц теплообмеццика 6,41546 о Составитель В. ВакарТсхред Т. Ускова Корректор Е. Зимии Пейсоиенк пакта 11 одиисноСР Тираж 678омитета Совета Министроветений и открытийаушская наб., д. 4/5 Изд. Лд 1280 сударствен ного ио делам изобМосква, )К,Заказ 1487ЦНИИ ииография, ир. Саиуно ция, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества сушки, конвейер выполцец в виде лотка, заполнеццого жидкостью с физическими овойствами, достаточпыми для удеркация ца цей пластип, например водцым раствором глицерина, циркулирующим по замкнутому коцтуру при помощи насоса,2, Устацовка по п. 1, отл и ч а ю щ а я с ятем, то, с цельО термостатировяция )кидкО- сии, в ксцтуре устацоьлец теплообмеццик.3. Устацовка по и. 1, о тл и ч а ю щ а я с я 5 тем, что лоток выполцец цз материала с циз.кой теплопроводцостью, цапример фторопласта.
СмотретьЗаявка
1731925, 31.12.1971
МПК / Метки
МПК: F26B 15/12, F26B 3/30
Метки: 415465
Опубликовано: 15.02.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-415465-415465.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">415465</a>