411555

эссо,овнаОП"И"-ЮА- Н И ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельства-Заявлено 101971 ( 1629502/26-9) л. Н 0 р 11 у 0 вкис присоединением за риоритет Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытийУДК 621.374,5(088.8 4. Бюллетеньубликовапо 15 1,1 ата опубликования описания 27 Л 1.197 Авторы зобретсния И. Гвоздев и Е, В. Завадски аявите КОВЪХ ЛИНИЙ ОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УЛЬТРАЗАДЕРЖКИ Изобретение относится к области радиотехники и может оыть использовано при изготовлении ультразвуковых линий задержки на поверхностных волнах.Известен способ изготовления ультразвуковых линий задержки на поверхностных волнах со звукопроводом, выполненным из пьезоэлектрических монокристаллов, включающий операции ориентирования рабочей поверхности и базовой грани пластины звукопровода, ориентации фотошаблона и нанесения многоэлементных преобразователей.Недостатком известного способа изготовления ультразвуковых линий задержки является влияние разброса параметров монокристаллов на электрические характсристики линий задержки и трудоемкость их изготовления.С целью исключения влияния разброса параметров монокристалов на электрических характеристики линий задержки и уменьшения трудоемкости их изготовления но предлагаемому способу направление ориентации фотошаблона определяют по совпадению измеряемой и требуемой скоростей распространения поверхностных волн по рабочей поверхности звуко- провода.На фиг. 1 показана предварительно ориентированная пластина-заготовка из монокристаллического кварца, иллюстрирующая предлагаемый способ; на фиг, 2- - пластина с обработаной рабочей плоскостью и базовойгранью; на фиг. 3 - часть пластины совместнос элементами устройства для измерения скорости; на фиг. 4 - пластина с фотошаолоном,5 наложенным на рабочую поверхность, покрытую фоторезистом.Рассмотрим последовательность выполненияопераций при изготовлении ультразвуковыхлиний задержки на кварцевом звукопроводе10 с измерителем групповой скорости, использующим бесконтактный метод возбуждения иприема поверхностных волн,Пластину-заготовку 1 из монокристаллического кварца (фиг. 1), точность ориентации гра 15 ней которой относительно кристаллографических осей не меньше ":1, подвергают механической обработке с целью получения рабочей поверхности 2 и базовой грани 3 (фиг. 2).При этом операции точного ориентирования20 этих граней по отношению к осям кристалла непроизводят.Пластину с обработанной рабочей поверхностью 2 и оазовой гранью 3 совмещают с элементом 4 для бесконтактного возбуждения и25 приема поверхностных волн устройства измерения скорости. Пластину располагают по отношению к элементу 4 для бесконтактного возбуждения и приема поверхностных волн такимобразом, что можно произвести точный отсчет30 угла сс между базовой гранью 3 пластины 1 и41155 о Фиг Фге Я овалев Составитель Заказ 116779 ЦНИИПипография, пр. Сапунова, 2 3осью МЛ (фиг. 3) элемента 4. Изменяя в небольших пределах (+1) угловое положеиве оси МУ относительно базовой грани З,находят такое направление оси, при котором время задержки сигнала между входным и в двыходным преобразователем элемента 4 равно некоторой величине, соответствующей,расчетной окорости поверхностной волны. Угол а между найдеиным направлением и базовой грунью измеряется с точностью 1 - 2 мин. Под этим углом, к базовой грани фиксиру 1 от продольную ось АБ фотошаблона 5, наложенного на покрытую фоторезистом 6 рабочую поверхность 2 звуко- провода (фиг. 4),Дальнейшие операции производят в соответствии с известным методом фотолитограции.Измерение времени задержки сигнала в системе возбудитель-приемник элемента 4 осуществляется любым из известных методов, обеспечивающих требуемую точность, Электронная часть схемы измерения задержки на фиг. 3 не показана.Преимущество предлагаемого способа перед известным состоит в том, что при непосредственном определении направления, в коЬЬт Ю- Ьт т Ч- ООразо 5 аиель дфозйтельФиг 5 4тором следует ориентировать ось фотошаолои, путем измерения скорости распространения, отпадает необходимость произьодить точи ю ориентацию рабочей плоскости и базовой 5 грани пластины-звукопровода, если при этоэтомточность ориентации граней пластины-заготовки относительно кристаллографических осей не меньше +1. 10 Предмет изобретенияСпособ изготовления ультразвуковых линийзадержки на поверхностных волнах со звуко- проводом, выполненным из пьезоэлектрического монокристалла, включающий операции 15 ориентирования рабочей поверхности и базовой грани пластины звукопровода, ориентации фотошаблона и нанесения многоэлементных преобразователей, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью исключения влияния разброса пара метров монокристаллов на электрические характеристики линий задержки и уменьшения т удоемкости их изготовления, направление ориентации фотошаблона определяют по совпадению измеряемой и требуемой скоростей 25 распространения поверхностны.; волн по рабочей поверхности звукопровода. ктор Т. Морозова Техред 3. Таранеико Корректор Т. Хворова Изд.1224 Тираж 760 Подпис оеИ Государственного комитетаСовета Министров ССС 1по делам изобретений и открытийМосква, Ж, Рзугиская иаб., д. 4,5