411038
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 411038
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИяК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Савв Советеки 1 в Социалистических Республикиси мое авт. свидетельстваЗаявлено 2 М 971 ( 17085 01 т 33 6) с присоединением заявкиудврствеииый комитет вата Министров СССР о делам изобретенийи открытий риоритет Опубликовано 15.1, Дата опубликовани ДК 621.382.0(088.8) 74, Бюллетень2 описания 5.И.974 вторызобретени В. В. Селин, А. Г, Петр В акумен аявител аав:шаи шыш ОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ И Изобретение относится к области химиче. ской технологии, причем получаемая двуокись кремния может найти применение как полировочцый материал, в полупроводниковой технике, в технологии изготовления изделий из синтетического кварцевого стекла и т. д.Известен способ получения порошков из двуокиси кремния методом парогазового гидролиза тетрахлорсилаца, По этому способу пары тетрахлорсилаца подают в пламя горелки, получаемое сжиганием в кислороде водорода илц водородсодержащего газа. Образующуюся в пламени двуокись кремния либо собирают в виде порошка, либо осаждают на вращающейся оправке, Однако указанный процесс характеризуется малой скоростью осаждения двуокиси кремния и це обеспечигает регулирования дпсперспости порошков и плотцости напыленцого слоя,Для интенсификации процесса, получения более плотных пленок, а также регулирования дисперсцости предлагается получать двуокись кремния сжиганием смеси паров трихлорсилана с водородом в кислороде.По описываемому способу в центральный канал трехканальной горелки внешнего смешения подают смесь паров трихлорсилана с водородом, в средний канал - кислород и в наружный канал - водород. Изменением количества водорода в парогазовой смеси можно в широких пределах регулировать температуру в зоне образования и осаждения двуРОШКОВ И НАПЫЛЕННУОКИСИ КРЕМНИЯ окиси кремния. Наилучшие результаты получают при подаче в горелку смеси трихлорсилана и водорода при молярцом отношенииЯНСз,Нь равном 0,04 - 0,5, ц прц скорости5 истечения смеси 20 - 100 м/сек. Для получения гомогенной смеси перед подачей в тарелку ее подогревают. Прпмецсццс трихлорсилана в смеси с водородом позволяет резкоувеличить скорость осаждения двуокиси10 кремния прц напылении се ца оправки. Тдк,например, при расходе трихлорсилана 50 г/мскорость осаждения равна 6,5 г,мцц, тогдакак по известному способу (где используетсячетыреххлорцстый кремний) оцд равна лишь15 3,5 г/мцц.П р и м е р, Получение и осаждецце двуокиси кремния производят при помощи трехканальной горелки внешнего смещения. 1 дзмеры горелки: диаметр внутреннего канала20 6 мм; ширина зазоров среднего и ндружцогоканалов 1,5 мм; длина каналов 100 мм.Расход реагентов следующий: трихлорсилана 40 - 50 г/миц; водорода с парогазовойсмесью 0,5 - 5 цм"/час; водорода по царужцо 25 му каналу горелки 1,0 цм", час. Двуокиськремния осаждают ца вращающуюся никелевую оправку, Скорость вращения оправки120 об/мпц,Изменение расхода водорода в предела,30 0,5 5 цм 5 чдс приводит к увелцчсцшо темпе.ратуры ца поверхности осаждения с 500 до1000 С. При этом плотность нацыляемой дву.411038 Составитель К. Усаторре Корректор Л, Орлова Редактор Н. Корченко Техред Е. Борисова Заказ 12717 Изд. Мо 1243 Тираж 537 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 3окиси кремния изменяется с 0,15 до 0,9 г/смз. Скорость осаждения 6,0 г/мип, Все изделия имеют ровную гладкую поверхность, Вес напыленных изделий 100 - 200 г. Предмет изобретения Способ получения порошков и напыленныхизделий из двуокиси кремния путем сжигания паров соединений кремния в токе кислорода, отличающийся тем, что, с целью интен( ификации процесса и получения продукта с регулируемой дисперсностью и плот ностыо, сжиганию в кислороде подвергаютсмесь паров трихлорсилана с водородом при молярном отношении .1 НСз. На=0,04 - 0,5 и при скорости подачи смеси 20 - 100 м/сек.
СмотретьЗаявка
1708593, 25.10.1971
МПК / Метки
МПК: C01B 33/18
Метки: 411038
Опубликовано: 15.01.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-411038-411038.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">411038</a>
Предыдущий патент: 411035
Следующий патент: 411039
Случайный патент: Устройство для выкапывания картофеля