Патенты с меткой «411038»

Номер патента: 411038

Опубликовано: 15.01.1974

МПК: C01B 33/18

Метки: 411038

...наружный канал - водород. Изменением количества водорода в парогазовой смеси можно в широких пределах регулировать температуру в зоне образования и осаждения двуРОШКОВ И НАПЫЛЕННУОКИСИ КРЕМНИЯ окиси кремния. Наилучшие результаты получают при подаче в горелку смеси трихлорсилана и водорода при молярцом отношенииЯНСз,Нь равном 0,04 - 0,5, ц прц скорости5 истечения смеси 20 - 100 м/сек. Для получения гомогенной смеси перед подачей в тарелку ее подогревают. Прпмецсццс трихлорсилана в смеси с водородом позволяет резкоувеличить скорость осаждения двуокиси10 кремния прц напылении се ца оправки. Тдк,например, при расходе трихлорсилана 50 г/мскорость осаждения равна 6,5 г,мцц, тогдакак по известному способу (где используетсячетыреххлорцстый...