410334

О П И С А Н И Е 410334ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистицеских Республик,Ъ Кл, 6 01 г 27,102 1619302,18,11.1971 Заявлен присоединением заявки1677419/18 Приорит Гасударственный камитеСовета Министров СССРоа делам изаоретенийи открытий К 621.317.73(088.8) о 05 Л.1974. Бюллетень1 кования описания 29.1 Ъ,1974 публиков оп Авторызобретен. А, Наливайко и С. Д. Воторопи аявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИУДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПО ПОВЕРХНОСТПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ 2 Изобретение относится к измерительнои н полупроводниковой технике, в частности к устройствам для измерения удельного сопротивления локальных областей полупроводниковых материалов.Известно устройство для определения удельного сопротивления полупроводников при помощи электронного пучка, который после фокусировки проходит через сканирующее устройство в виде конденсатора и подается на поверхность образца, Образец совершает перемещение в направлении по нормали к площади сканирования, После усиления сигналов фото-э.д.с, и сигнала, пропорционального скорости перемещения, на экране ЭЛТ регистрируется семейство кривых, отображающих распределение удельного сопротивления по всей поверхности проводника. Однако отмечается необходимость создания контактов, например, омических, что приводит к зависимости результатов измерений от качества контактов. Кроме того, известные устройства не позволяют проводить исследование полупроводниковых высокоомных слоев, полученных любым способом на низкоомном основании (например, эпитаксиальных пленок).Цель изобретения - повышение точности и расширение возможности измерения. Это происходит благодаря тому, что устройство снабжено проходным резонатором, в котором расположен образец, и на вход которого включены видеодетектор и измерительный блок.На чертеже представлена блок-схема описываемого устройства.Устройство состоит из генератора СВЧ колебаний 1, служащего для подачи смещения на исследуемый образец 2, помещенный в проходной СВЧ резонатор 3, видеодетектора 4, детектирующего прошедшую через резонатор 10 3 СВЧ мощность, измерительного прибора 5,измеряющего напряжение на сопротивлении нагрузки 6 видеодетектора 4, которое пропорционально удельному сопротивлению участка образца 2, находящегося под световым зон дом 7, сформированным специальным устройством 8.Устройство работает следующим образом.С помощью светового зонда 7 в исследуемом образце 2 возбуждается неравновесная 20 проводимость, что приводит к изменению добротности и резонансной частоты резонатора 3, в который помещен образец 2. Следовательно, коэффициент передачи СВЧ резонатора 3 также изменится, изменяя и проходя щую через резонатор мощность. Если теперьмодулировать по определенному закону мощность зонда 7, то это приведет к модуляции проводимости освещаемого участка образца 2 и проходящая через резонатор 3 мощность 30 СВЧ также будет промодулирована по амплитуде по тому же закону. При этом при со410334 Предмет изобре гения Составители Т, Лфоннна 1 екред Т, МироноваКорректор Л, Орлова Редактор О. Филиппова Заказ 1039/14 Изд.354 Тчраж 811 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 хранении всех пара;,:етров свстсвого зонда 7 глубина модт, ляции прошедшей СВЧ могцнос,и оудет пропорциональна удельному сопротивлению участка образца 2, в котором возбуждается неравновесная проводимость. Про шедшая через резонатор 3 СВЧ мощность подается на видеодетектор 4, на сопротивлении нагрузки 6 которого измеряется напряжение, пропорциональное удельному сопротивлению освещаемого участка образца 2. Псремеще нием зонда 7 по поверхности образца 2 исследуется профиль удельного сопротивления образца,1 стройство для измерения распределения удельного сопротивления по поверхности полупроводниковых материалов, содержащее СВЧ генератор подачи смещения на исследуемьгй образец, блок формирования светового зонда, видеодетектор и измерительный блок, о т л и ч а 1 о щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено проходным резонатором, в котором расположен образец, и на выход которого включены видеодетектор и измерительный блок,