402731

402731 О П ИЗО оюа Соввтеких циалистических Республик ИЯ Е ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ льстваЗависимое от авт. свиде Ь 11/О Заявлено 31.1,1972 ( 033 25-28 М, Кл присоединением заявки сударственный квинтетсвета Министрав С"СРпа делам изобретенийи аткрытий риоритетпубликовано 19,Хата опубликован БюллетеньУДК 531.715.27(088.8) 73,сания 6.111.1974 Авторыизобретени и Ю.-Г. В С. Дерус, И, С. Левит чионис явитель ПЕРЕМЕЩ ОБЪЕКТА ЛЯ ИЗМЕРЕ ТРОИС ильнюсскии филиал Экспериме института металИзобретение относится к области контрольно-измерительной технике, а именно к устройствам для измерения перемещений объекта.Известно устройство для измерения перемещений объекта, содержащее источник излучения, оптическую систему, прозрачную индикаторную пластину с решеткой, измерительную шкалу, отражающую лучи, и полупроводниковые чувствительные элементы, которыеустановлены на пути отраженных лучей в стороне от источника излучения,Однако в известном устройстве свет падаетна шкалу под углом к нормали, поэтому наточность измерения оказывают влияние изменения величины зазора между прозрачной индикаторной пластиной с решеткой и измерительной шкалой, а также усложняется конструкция и увеличиваются габариты устройства.Предлагаемое устройство отличается отизвестного тем, что, с целью повышения точности измерения, каждый чувствительный элемент выполнен в виде слоя полупроводника,прозрачного к лучам источника излучения инанесенного на другую сторону индикаторнойпластины, а оптическая система установленатак, что ее оптическая ось перпендикулярна кповерхности шкалы,На чертеже изображена принципиальнаясхема предлагаемого устройства. тального научно-исследовательскогоорежущих станков 2Устройство содержит источник излучения 1,оптическую систему 2, полупроводниковые элементы 3 и 4, индикаторную пластину 5, изме рительную шкалу б, решетку 7 с шагом д.На одной стороне индикаторной пластины с шагом д нанесены две растровые решетки, которые вдоль шкалы смещены одна относительно другой, например, на величину, равную четверти шага. На другой плоскости индика торной пластины показаны в виде слоев чувствительные элементы 3 и 4, однако они могут быть нанесены и на плоскость решеток. Полупроводниковые чувствительные элементы 3 и 4 одним концом присоединены к общей точке, 1 ь а другими концами через сопротивления 8 и9 соединены с источником питания 10, образовывая таким образом делители напряжения.Средние точки делителей являются выходами 11 и 12 схемы.20 На чертеже показаны также лучи 13, 14, 15,попадающие между штрихами растровых решеток индикаторной пластины 5 и решетки 7 и отражающиеся от шкалы 6; луч 16, падающий на штрих шкалы 6 и не отражающийся 25 от шкалы обратно и лучи 17 и 18, падающиена штрихи растровых решеток индикаторной пластины 5 и не достигающие шкалы б,Устройство работает следующим образом.Из источника излучения 1 через оптическую ЗО систему 2 лучи направляются перпендикуляр402731 Составитель Лобзова Техред Т, Курилко Корректор А. Дзесова Редактор Л. Василькова Заказ 875/4 Изд.2070 Тираж 755 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений,и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 но к полупроводниковым чувствительным элементам 3 и 4, индикаторной пластине 5 и шкале 6. Часть лучей проходит между штрихами решеток индикаторной пластины 5 (лучи 13 - 16) и попадает на решетку 7 шкалы 6, от которой лучи 13 - 15 отражаются и попа. дают вторично на чувствительные элементы 3 и 4, в результате чего изменяется сопротивление последних. Количество отраженных лучей зависит от сдвига измерительной решетки 7 относительно решеток индикаторной пластины 5. При перемещении шкалы 6 модулируются величины потока отраженных лучей, а следовательно, изменяется и электрическое сопротивление полупроводниковых чувствительных элементов 3 и 4, а также величина сигналов на выходах 11 и 12. Сигналы на выходах 11 и 12 смещены по фазе, например, на 90, что дает возможность определить направление перемещения. Предмет изобретения5Устройство для измерения перемещенийобъекта, содержащее источник излучения, оптическую систему, измерительную шкалу, индикаторную пластину с решеткой на одной из 10 ее сторон и полупроводниковые чувствительные элементы, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, каждый чувствительный элемент выполнен в виде слоя полупроводника, прозрачного к лучам источ ника излучения и нанесенного на другую сторону индикаторной пластины, а оптическая система установлена так, что ее оптическая ось перпендикулярна к поверхности шкалы,