389458

Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 05 Х.1971 ( 1659569/26-25с присоединением заявкиПриоритет Кл. б 01 п 31/08 (л 01 п 25/18 сударствеииый комитеСовета Иииистров СССРпо делам изооретенийи открытий 543.544 (088 Опубликовано 05.И 1,1973. БюллетеньДата опубликования описания 12,Х 1.1973 1абурова, В. С. абалкин,етровых АвторыизобретениЛ. Н. и Н. В. ьский п тизации ленност оектно-конструктор скиинефтяной и газовой аявител сесоюзиыи институт РМОКОНДУКТОМЕТРИЧЕСКИЙ ДЕТЕКТОРХРОМАТОГРАф И И АЗОВО Й Изобретение относится к детектирующим устройствам для газовой хроматографии (катарометрам), которые сравнивают теплопро,водности чистого газа-носителя и газа-носителя, смешанного с анализируемым компонентом,Известен детектор, в котором с целью уменьшения объема камеры, повышения чувствительности и упрощения технологии изготовления, чувствительный элемент выполнен в виде пластины из диэлектрика с нанесенной на ее поверхность металлической токопроводящей дорожкой.Недостатками этого детектора являются низкий температурный коэффициент сопротивления металла, что ограничивает чувствительность, нестабильность электрических характеристик тонких металлических йленок, особенно при высоких температурах, и связанный с этим высокий уровень шумов и малый срок службы.В предложенном детекторе указанные недостатки устранены благодаря тому, что чувствительный элемент выполняется в виде тонкой пластины из полупроводникового стекла, закрепленной по периметру в металлической оправе. Электроды наносятся с обеих сторон на эту пластину, например, вакуумным напылением. Таким образом, ток через пластину протекает в направлении, перпендикулярном ее поверхности. Сопротивление такого чувствительного элемента зависит от толщины пластины и площади нанесенных на ее поверхность электродов,5 Описанный способ подвода питания позволяет получить приемлемые, величины сопротивлений чувствительных элементов из полупроводникового стекла, удельное сопротивление которого весьма велико. Полупроводнико вое стекло сохраняет достаточно высокие механические и электрические характеристики при температурах до 500. Свойства же металлических электродов, нанесенных на поверхность полупроводниковой пластины, и их 15 поведение при высоких температурах не влияют на работу чувствительных элементовпоскольку толщина электрода может быть сделана достаточно большой, чтобы, с одной стороны, уменьшить их нестабильность, а с дру гой - сделать их сопротивление пренебрежимо малым по сравнению с сопротивлением пластины из полупроводникового стекла.На чертеже схематично изображена однаиз ячеек предлагаемого детектора.25 Ячейка имеет корпус 1 с газовым каналом2, в котором размещен чувствительный элемент, представляющий собой тонкую пластину 8 из,полупроводникового стекла, закрепленную по,периметру в металлической опраЗо ве 4. Электроды б и б (тонкие слои металла)389458 Составитель Л. ЖарковаРедактор Т. Орловская Текред 3. Тараненко Корректор А. Дзесова Заказ 2948/1 Изд,778 Тираж 755 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 нанесены на пластину 3 с обеих сторон. С помощью электродов чувствительный элемент включается в качестве одного из плеч в обычную мостовую измерительную схему, Ток, проходящий через полупроводниковое стекло, нагревает его до температуры, определяемой, с одной стороны, мощностью, выделяемой в стекле, и с другой - условиями теплоотдачи от чувствительного элемента к стенке камеры, которые зависят, в частности, от теплопроводности газа, омывающего чувствительный элемент. Изменение состава газа прои элюировании компонента из хроматографической колонки и связанное с этим изменение температуры чувствительного элемента и, следовательно, его сопротивления вызывает,появление сигнала небаланса на измерительной диагонали моста. Предмет изобретения5 Термокондуктометрический детектор длягазовой хроматографии с чувствительным элементом, выполненным из полупроводникового материала с металлическими контактами, отличающийся тем, что, с целью увеличения 10 чувствительности и расширения рабочего диапазона температур, чувствительный элемент выполнен в виде тонкой пластины, например, из полупроводникового стекла, закрепленной по периметру в металлической оправе, а ме таллические контакты выполнены,в виде слоевметаллапокрывающих обе стороны пластины.