Союзная

37 550 ОПИСАНИЕ ИЗОВЕЕт ЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСолта Соеетскиз Социалистическик РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваМ. Кл. б 02 Ь 5/28 Заявлено 15.Х.1971 ( 1705915/18-10)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 22 11.1973, Б оллетень12 омитет по делам обретений и открытийри Совете МинистроеСССР УДК 535,345.67 (088.8 Дата опубликования описания 73 Авторызобретения. Б. Кацнельсон и Ш, А, фурма аявитель СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЪ СЛОЕВ ПРИ ИЗГОТОВЛЕ ОПТИЧЕСКОГО ПОКРЪТИЯ 4-.лЫ о, К=0,1 де Аи Л. грического векнии от границ лоя луча, иду - сдвиги ф тора при предпосл щего из и - показате 4 - толщина У( - порядок В формуле (1) вел обой сдвиг фаз прп оазы эле отра еднего слоя;ль преломления слоя; готового слоя;нтерференции чина Л 2 представляет тражении от уже готоИзвестны способы конгроля толцины слоевпри изготовлении оптического покрытия, заключающиеся в определении пропускания подложки с наносимыми на нее интерференционными слоями,По предложенному способу в процессе нанесения предпоследнего слоя фиксируют призаданной длине волны максимальное Рмакс, иминимальное амик значения величины, пропорциональной пропусканию системы: покрытие - наносимый слой, и по полученному отНОШЕНИЮ трмакс./рмпн. ВЫЧИСЛЯЮТ РО, прИ достижении которого заканчивают напылениепредпоследнего слоя, а затем наносят последний слой до получения максимального пропускания.Такой контроль позволяет получить интерференционное покрытие с коэффициентом пропускания, близким к 100 со для заданной длины волны. 2Контроль осуществляют в процессе нанесения слоев на подложку путем термическогоиспарения веществ в глубоком вакууме. С помощью фотометрического устройства определяют пропускание в монохроматическом свете 2подложки с наносимыми на нее интерференционными слоями. О толщине слоя судят поизвестной зависимости коэффициента пропускания от оптической толщины,После того как нанесены все слои, кроме 3 двух последних, и спектральные характеристики покрытия в зоне низкого пропускания оказываются сформированными, фотометрическое устройство настраивают на заданную длину волны Лс и напыляют предпоследний слой. В процессе осаждения слоя фиксируют макси- ЬаЛЬНОЕ Срмакс. И МИНИМаЛЬНОЕ ГРмкк ЗнаЧЕНИЯ величины, получаемой на отсчетном устройстве фотометрического устройства, Эта величина пропорциональна коэффициенту пропус- каниЯ Т (Лс) . ЗнаЯ Отношение Ямакс./сРмкн Вычисляют, при каком показании ус отсчетного устройства следует прекратить напыление предпоследнего слоя, чтобы вносимая им разность фаз между интерферпрующими лучами, отражающимися от его границ, была кратна 2 л, Такому условию соответствует равенствоСоставитель С. Степанова Корректор И. Божко Техред Е. Борисова Редактор Т. Рыбалова Заказ 933/13Изд, Ма 1220 Тираж 551 ПодписноеЦНИИПИ 1(омитета по делам изобретений и открытий пои Совете Министров СССРМолва, Ж, Раугпская паб., д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 вого последнего слоя. Этот слой осаждают додостижения максимального пропускания призаданной длине волны.Величину ср, вычисляют по формуле(1 аг)ао - ;"максе (2)1 -) рг - 2 аг сов Ла где р и г - амплитудные коэффициенты отражения для лучей, падающих из предпоследнего слоя на границы с интерференционной системой, состоящей из подложки с нанесенными на нее слоями, предшествующими предпоследнему (р), и с вакуумом камеры, в котогт - 1 рой происходит напыление (г), г=и+1Величину Ь 2 определяют, зная коэффициент Р = 1 (УмансЛыин.) отР ажениЯ и показатели преломления веществ, образующих последний и предпоследний слои. Способ контроля толщины слоев при изготовлении оптического покрытия, например, спектроделителя, заключающийся в определении пропускания подложки с наносимыми на нее интерференционными слоями, отличаюи 1 ийся тем, что, с целью получения коэффициента пропускания, близкого к 100 для заданной длины волны, фиксируют при этой длине волны в процессе нанесения предпо-, следнего слоя максимальное гранс и минимальное грмнн значения величины, пропорциональной пропусканию системы покрытие - наносимый слой, и по полученному отношению грмакс./грмвн. Вычисляют значение гро, при достижении которого заканчивают напыление предпоследнего слоя, а затем наносят последний слой до получения максимального пропуска ни я.