Балансировочное устройство

Союз Советскик Социалистических РеспубликСВИДЕТЕЛЬСТВУ ЯОс Щ Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 22 Л 11.191 ( 1640492/25-28) 1, Кл, 6 01 гп 1/22 присоединением заявкииоритет Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРБюллетень1исания 19.1.1973 Опубликовано 15.11.1 Дата опубликования Авторы зобретени Бансевичюс, Р. А. Ионушас и К. ульскис аунасский политехнический институ аявител БАЛАНСИРОВОЧКОЕ УСТРОЙСТВО дер- сиуст пол нем позости ус- устПредлагаемое у вестных тем, что тельных датчиков закрепленной в о длине пьезокерам ющей на изгиб жесткости и имею раллельной плоск кладку и на про изолированные од кладки, являющи датчика. Изобретение отстроения и можепроектировании бдля уравновешива Р Р сборе,Известны балансировочные устройства уравновешивания микроэлектромашин, со жащие основание, установленные на нее лоизмерительные датчики, включенные вход измерительного блока. В известных ройствах снлоизмерительные датчики вь пены в виде корпуса с закрепленным в пьезоэлементом дисковой формы, что не воляет полностью использовать возможт пьезоэлектрического преобразователя и ложняет конструкцию балансировочного ройства. носится к области станкот быть использовано при алансировочных устройств ния мик оэлект омашин в строиство отличается от нзкаждый из его силоизмеривыполнен в виде консольно сновании поляризованной по ической пластинки, работа- в плоскости максимальной щей на боковой стороне, паости изгиба, сплошную обтивоположной стороне - две на от другой продольные обеся выходными клеммами Такое выполнение устройства повышает егочувствительность и упрощает конструкцию.На чертеже показано предлагаемое устройство в аксонометрии.5 Устройство содержит основание 1, в котором заделаны две поляризованные по длине биморфные пьезокерамическпе пластинки 2 с установленной на ннх балансируемой микроэлектромашцной 3. Мнкроэлектромашину кре пят непосредственно к бпморфным пластинкамс помощью клеющего воска 4, обладающего изоляционными свойствами. Каждая из биморфных пластинок имеет с одной стороны сплошную обкладку 5, а с другой - две про дольные обкладки 6, разделенные узкой полосой, которые присоединены к измерительномублоку 7.Устройство работает следующим образом.После пуска мнкроэлектромашины возника ющая центробежная сила от неуравновешенности, а также другие возмущающие силы вызывают переменные деформации биморфных пьезокерамических пластинок, на которых закреплена микроэлектромашина. Одна часть 25 пластинок (верхняя или нижняя) удлиняется,в то время как другая часть сжимается, т. е.на обкладках возникают потенциалы разных знаков, пропорциональные действующим силам, Так как на одной стороне пластинки име ется сплошная обкладка 5, а на другой - двеихел Заказ 1016/4ЦНИИПИ Комитет Изд. Мз 247 Тираж 755о делам изобретений и открытий при Совет Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Подписноенистров СССР ипография, пр. Сапунова, 2 продольные обкладки 6, разделенные узкой полосой, то возникающие потенциалы складываются и подаются на измерительный блок 7.Пластинки ориентированы по отношению к микроэлектромашине таким образом, чтобы они работали на изгиб в плоскости максимальной жесткости. Это обеспечивает высокую собственную частоту и линейную амплитудно- частотную характеристику в широком диапазоне частот.Уменьшение массы колеблющихся частей за счет совмещения упругой подвески и силоизмерительных датчиков в один элемент, выполненный в виде двух бпморфных пьезокерамических пластинок, значительно увеличивает чувствительность и упрощает конструкцию балансировочного устройства. Предмет изобретения Балансировочное устройство для уравновешивания микроэлектромашин, содержащее основание, установленные на нем силоизмерительные датчики, включенные на вход измерительного блока, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности и упрощения конструкции, каждый силоизмерительный 10 датчик выполнен в виде консольно закрепленной в основании поляризованной по длине пьезокерамической пластинки, работающей на изгиб в плоскости максимальной жесткости и имеющей на боковой стороне, параллельной 15 плоскости изгиба, сплошную обкладку и напротивоположной стороне в д изолированные одна от другой продольные обкладки, являющиеся выходными клеммами датчика.