Устройство для формирования изображения в электронном микроскопе

ОП ИСАЙИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 221971 (И 1620 02126-25) М, К,1 3726 исоединением заявк пор итетубликованота опублик Комитет по деламизобретений и открытипри Совете МинистреСССР 16,1.1973, Бюллетень7 вания описания 14.111,19 ДК 621.385.833(088.8 авторызобретсци В. А, Коноваленко, В. С. Гурин, И. С. Лялько, Н. А. Гра и Д. И. КулакЗаявител СТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОЬРАЖЕНИ В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕласти элект для формироваонном микроскопе, 1 агнитцую линзу и лок, состоящий из офокусной магнитебя полюсные цаоткофокусцая коцднощел евой, ощелевой коцденременно получить онного пучка и дов этом сечецин. рная линза в из- отношение где Л, - расстоян длицнофокусной ней плоскости об А в расстояние вой конденсорной сти второй конден Такое отношен денсорного блока чение пучка в 2,5 Электронные м шецием и электрие от сре сонденсорной ъективной ли от средней линзы до с сорной линзь ие ухудшаетскосто сред днеи пл лнзы днзы; плоскос редней и пер лоско параметры кон наименьшее се держит короткофоу 1 с двумя щелями ая короткофокусная большим разре ко,пы-микроана Изобретение относится к ной ми 1 сроскопии,В известных устройствах ния изображения в электр содержащих объективнуюкаскадный кондецсорцый б короткофокусной и длинцвключа 1 ощих в с конечниии со щелями, кор денсорцая лицза является оПри помощи первой одн сорной линзы нельзя однов наименьшее сечение электр статочную плотность тока Длиннофокусная ,конденсо вестных устройствах имеет2= 2,5 лнзаторы требуют, чтобы диаметр наименьшего сечения электронного пучка, создаваемый коцдецсорным блоком, был менее 1 1 й, а плотность тока в этом сечени 3 асл 1 з и бо лее.В предлагаемом устройстве уменьшениедиаметра электронного пучка и увеличение плотности тока в плоскости ооъекта объективной линзы достигаются тем, что коротко фокусная коцдецсорная линза выполнена ввиде двухщелевой линзы, причем средняя плоскость длинцофокусцо 11 коцдецсорцойрасположена на одинпювох расстоянии от средних плоскостей объективной линзы и вто рой щели короткофокусной конденсорной линзы, а размер щели полюсного наконечника длицнофокусной линзы совпадает с внутренним диаметром полюсного наконечника длинцофокусной линзы.20 В результате изменения конструкции кондецсорного блока достигается наименьшее сечение электронного пучка в плоскости объекта объективной линзы с диаметром менее 1 л 1 к и плотностью тока 3 асл-.25 На чертеже схематически представлен каскадный конденсорный блок предлагаемого устройства,Конденсорцый блок сокусную двухщелевую линз30 2 и 3. Первая коцденсорц366512 Предмет изобретения Составитель Т. ГорчаковаТехред Т, Курилко Корректоры: В, Петрова и Е, ДавыдкинаРедактор А, Батыгин Заказ 480/10 Изд. М 113 Тираж 780 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2;чнпза 1 расположена на входе электронного пучка, а вторая длиннофокусная линза 4 имеет общий магнитопровод б с первой линзой 1 и расположена под ней. Каждая из линз имеет автономное электропитание.Каскадный конденсорный олок работает следующим образом.Электронный пучок, созданный электронной пушкой, попадает в магнитное поле первого каскада первой двухщелевой конденсорной линзы 1. Магнитное поле этого ,каскада формирует изображение кроссовсра пушки вблизи средней плоскости первой щели 2. Это изображение, являясь предметом для второго каскада, превращается магнитным полем второй щели 3 в изображение, расположенное вблизи середней плоскости второй щели 3, что обеспечивает наименьшее сечение, пучка. Та.ким образом, пройдя через два магнитных поля, электронный пучок сжимается и на выходе из первой конденсорной линзы 1 имеет диаметр наименьшего сечения менее 1 лк, что позволяет получить плотность тока в этом сечении 3 а/се. Вторая длиннофокусная конденсорная линза 4 без изменения пучка и плотности тока переносит наименьшее сечениев плоскость объекта объективной линзы. Устройство для формирования изображенияв электронном микроскопе, содержащее объективную магнипную линзу и каскадный конденсорный блок, состоящий из коротко фокусной и длиннофокусной магнитных линз,включающих в себя полюсные наконечники со щелями, отличающееся тем, что, с целью уменьшения диаметра электронного пучка и увеличения плотности тока в плоскости объек та объективной линзы, короткофокусная конденсорная линза выполнена в виде двухщелевой линзы, причем средняя плоскость длинно- фокусной конденсорной линзы, расположена на одинаковом расстоянии от средних плоско стей объекпивной линзы и второй щели короткофокусной конденсорной линзы, а размер щелн полюсного наконечника длиннофокусной линзы совпадает с внутренним диаметром полюсного наконечника длиннофокусной 25 линзы.