365665

365665 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕПЛЬСТВУ Союз Советских Социалистицеских Республикавт, свидетельств висимое Кл. О 01 г 27 08 аявлено 12.11.1971 1 1624882/18-1 присоединением заявки М -Комитет ло делам Приоритет - Опубликован Дата опублпк зооретений и открытийлри Совете Министровссср У Д К 621,317.33 (088,8 8.1.1973. Бюлгеания описания ць ,",6. Аверьян Казанский ордена Трудовогогосударственный университет им. Знаменинова-Ленина расног И. Ул аявпте СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК Изобретение относится к методике замера удельного сопротивления и емкости защитных, диэлектрических и полупроводниковых пленок ца поверхности металлов.Известны способы измерения удельного сопротивления диэлектрических пленок, основанные на применении в качестве электродов фольги, водных растворов электролита, ртути, напыленного металла.Однако использование, например, широко распространенных фольговых электродов це обеспечивают контакта со всей поверхностью измеряемого образца. Применяемые в качестве электродов водные растворы электролитов или ртуть иногда вступают в химическую реакцию с материалами образцов. Результаты замеров могут быть неоднозначны нз-за гого, что водный раствор электролита пропитывает пористый диэлектрик, Электроды из цапыленного металла требуют получения с ними надежного контакта, На образцы должны быть заранее цапылены контактные площадки, что делает процесс измерения трудоемким,Для повышения точности измерения удельного сопротивления предлагается способ, по которому исследуемь 1 й образец помещают в объем, заполненный инертным газом, между анодом и дополнительным электродом и, создавая между анодом и катодом зону тлеющего разряда, определяют значение тока и напряжения между дополнительным электродом и образцом.На чертеже показана схема, поясняющая 5 описываемый способ.Под верхней частью колпака 1 вакуумного поста монтируют тарель 2 цз труднораспыляемого материала, например магния цлц алюминия, которая служит катодом. На раси стоянии 7 - 10 сл под цей монтируют такойже фороы из акого же матер 1 ала э,1 ектрод, служащий анодом 5. Вблизи анода на изоляционной подставке 4 помещают образец 5. Образец изолирован со всех сторон, 15 кроме Обращетнои к (атоду, ц полокеццс ОГОжестко фиксцровацО. На 1)асст 051 ццц веско,11- ких сантиметров от образца размещают электрод 6 в виде кольца, изготовлеццьш цз трудноокисляемого металла. Проволочцыс 20 зонды к кольцу ц образцу проходят черезвакуумные уплотнения. 11 еобходима хорошая электрическая изоляция зондов от цоцизированного газа, иначе будут велики токи утеч.ки, влияющие ца точность измерения. Для цз.2 о меренпя сопротивлений цс более 10 .1 о.1, зонды могут быть выполнены цз тонкой алюминиевой проволоки, окись алюмшшя служит в этом случае изоляцией. Измерецие высокоомцых образцов требует дополнительной изоляЗо цци зондов. Под колпаком создают вакуум.365665 Предмет изобретения Составитель Т, Афонина Редактор С. Хейфиц Техред Т. Миронова Корректоры Г. Запорожец и Л, ЧуркинаЗаказ 726 Изд,1089 Тираж 755 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изооретсний и открытий при Совете Министров СССР Москва, )К, Раушская ггаб., д. 4 г 5Загорская типография 3К аноду и катоду подают напряжение, достаточное для зажигания тлеющего разряда,Удельное сопротивление измеряют при переключателе П в положение П методом вольтметра-амперметра. Источником напряжения служит падение напряжения на участкс кольцеобразный электрод-образец или высоковольтная батарея, если сопротивление пленки велико. Измерение сопротивления производят каждый раз при одном и том же токс тлеющего разряда. Сопротивление участка кольцо-образец определяют замером эталонного образца и в дальнейшем пз общсго результата вычитают.Измерение емкости производят установкой переключателя П в положение 1. Конденсатор Сг служит для исключения постоян 4пой составляющей и выбирается достаточно оольшой емкости. Емкость измеряют соответствующим прибором 7. Способ измерения удельного сопротивления диэлектрических пленок, основанный на методе измерения с помощью вольтметра - 1 О амперметра, отличагоигийся тем, что, с цельюповышения точности измерения, исследуемый образец помещают в обьем, заполненный инертным газом, между анодом и дополнительным электродом и, создавая между ано дом и катодом зону тлеющего разряда, определяют величину тока и напряжения между дополнительным электродом и образцом.