Тонкопленочный конденсатор
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 363127
Авторы: Мешков, Приходько, Радванский, Сапронова, Шалимов
Текст
363327 ОП И САН ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Соеетскиз Социалистическиз РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 18,Х 1,1970 ( 1494837/26-9)с присоединением заявкиПриоритет М, К 1 я 30 Комитет ло деломобретений и открытий УДК 621,319.42(088.8) Опубликовано 20,Х 11,1972. Бюллетеньза 1973Дата опубликования описания 20.П.193 и Совете злинистров СССРЗаявитель ОНКОПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТО конденсаторы, тх на диэлекконденсатор гребенчатого е пробивное напряжение, лучшает надежность и поыхода годных конденсатоТонкопленочньптипа имеет высокчто значительновышает процент вров. дмет из о 6 рете Известны тонкопленочныевыполненные в виде нанесенньтрическую подложку обкладок.Цель изобретения - повышение пробивного напряжения,Это достигается тем, что на подложке под обкладками гребенчатой конфигурации нанесены изолированные от них дополнительные обкладки, ширина каждой из которых не больше величины зазора между основными обкладками,На фиг. 1 приведен внешний вид конденсатора; на фиг. 2 - разрез по А - А.Конденсатор имеет основание из ситалловой подложки 1, на поверхности которой расположены изолированные обкладки 2, выполненные, например, из золота и покрытые пленкой диэлектрика 3, например, пленкой пятиокиси тантала, на поверхности которой расположены основные обкладки конденсатора 4 и контактные площадки б, выполненные, например, из золота.Ситалловую подложку 1, полированную с одной стороны до 14 кл., кипячением в водном растворе перекиси водорода очищают от загрязнений. Затем ее сушат в потоке очищенного инертного газа и помещают на подложкодержатель установки для термического испарения. На ситалловую подложку 1 напыляют сплошную пленку золота и с помощью фотолитографии получают рисунок изолированных обкладок 2 конденсатора. После этого ситалловую подложку 1 помещают в установ ку для катодного распыления, нанося на нееосплошную пленку тантала толщиной в 1000 А и электрохимически прокисляют ее насквозь.На полученную пленку пятиокиси тантала, образующую пленку диэлектрика 8, термическим испарением наносят сплошную пленку алюминия с подслоем ванадия и с помощью фотолитографии получают контактные площадки Б, соединенные с основными обкладками конденсатора 4. Затем ситалловую подложку 1 разрезают на платы с расположенными на них отдельными конденсаторами. Тонкопленочныи конденсатор, выполненныи в виде нанесенных на диэлектрическую подложку обкладок, например, гребенчатой конфигурации, отличающийся тем, что, с цельюЗаказ 307/12 Изд.53 Тираж 404 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж.35, Раушская наб д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 повышения пробивного напряжения, на упомянутой подложке под обкладками гребенчатой конфигурации нанесены изолированные от последних дополнительные обкладки, ширина каждой из которых не больше величины зазора между основными обкладками,
СмотретьЗаявка
1494837
В. А. Мешков, С. А. Приходько, С. В. Шалимов, И. А. Радванский, Л. С. Сапронова
МПК / Метки
МПК: H01G 4/06
Метки: конденсатор, тонкопленочный
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-363127-tonkoplenochnyjj-kondensator.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Тонкопленочный конденсатор</a>
Предыдущий патент: Опора для антенны курсового радиомаяка
Следующий патент: Конденсаторная керамика
Случайный патент: 161613