Поверхность теплообмена

Номер патента: 459818

Опубликовано: 05.02.1975

Авторы: Блинов, Козырь, Яловега

МПК: H01L 7/68

Метки: пластин, поверхности, полупроводниковых

...самоуравновешивания подвешены к станине 13 на двойномшарнире Гука 14.Работает устройство следующим образом.1 О В гнезда ротора 2 закладывают полупроводниковые пластины и поджимают их сверху с помощью пневмопривода 5 крышкой 4 с усилием, гарантирующим давление на поверхность ротора 4 - 15 кг/см, Затем в полость 15 между ротором 2 и крышкой 4 из резервуара6 под давлением подают нагретую до температуры 80 - 90 С смесь особо чистой воды с растворенным в ней кислородом. Когда в магистрали подачи воды давление возрастает до 20 появления тонкого слоя жидкости, истекающей по кольцевому зазору, включают центрифугу 1. По окончании процесса очистки выключают центрифугу, прекращают подачу смеси, поднимают крышку и освобождают ротор 25 от очищенных...

Номер патента: 1121579

Опубликовано: 30.10.1984

Авторы: Боронин, Былинович, Кузин

МПК: F28F 3/02

Метки: поверхность, теплообмена

...с ограничителями перемещений в поперечном направлении в виде изги 10 15 20 25 30 бон на стержнях; на фиг. 5 - вариантс ограничителями перемещений н поперечном направлении в виде втулок,Поверхность теплообмена содержитплоские параллельные пластины 1 и 2,между которыми размещены с зазоромс возможностью свободных колебанийволнообразные перфорированные нставки 3, образующие каналы переменногопрофиля и имеющие ограничители перемещений в поперечном направлении,которые могут быть выполнены либо ввиде продольных ребер 4, выполненныхна пластинах 1 и 2, либо в виде изгибон 5 на центрирующих стержнях б,либо в виде втулок 7, закрепленныхна центрирующих стержнях б. Концевые участки 8 вставок 3 выполненыпрямолинейными и имеют отверстия 9,через...

Номер патента: 1679184

Опубликовано: 23.09.1991

Автор: Козловский

МПК: G01B 13/22

Метки: неплоскостности, пластин, пневматическое, поверхностей, прямоугольных

...На плиту 2 устанавливают эталоннуюпластину, которая под действием истекающего их жиклера 5 сжатого воздуха удерживается от вертикального перемещения иобразует с рабочей поверхностью 3 плиты 2воздушную подушку с зазором, не превышающим 0,1 мм,Благодаря укаэанному зазору ме.кдуэталонной пластиной и рабочей поверхностью 3 плиты 2 вращающаяся плита 2 неоказывает силового воздействия на эталонную пластину, удерживаемую от горизонтальных перемещений и поворота прямымипружинами 7. Затем опорные платики 6 перемещают так, чтобы они выступали на рабочей плоской поверхностью 3 плиты 2 навеличину, равную величине воздушного за зора между эталонной пластиной и плитой 2, за вычетом величины допустимого предельного отклонения величины...

Номер патента: 1094133

Опубликовано: 23.05.1984

Авторы: Банков, Литовченко, Павлов, Слицан

МПК: H03H 9/15

Метки: качества, пластин, поверхности, пьезоэлектрических

...поверхностипьезоэлектрической пластины в видемикротрещин, микроцарапин и т.д,Цель изобретения - повышение достоверности контроля. 50Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу контролякачества поверхности пьезоэлектрических пластин,. включающему воздействиеиа контролируемую пластину. перемен 55ным электрическим сигналом с частотой, соответствующей возбуждениюнечетной моды колебаний, первое измерение.информативного параметра,гповторное воздействие на контролируемую пластину переменным электрическим сигналом и второе измерение информативного параметра, составление суждения о качестве поверхности контролируемой пластины по разности значений информативных параметров первого и второго измерения, частоту переменного...

Номер патента: 1796079

Опубликовано: 15.02.1993

Авторы: Котов, Крячко, Олейниченко

МПК: H01L 21/66

Метки: бесконтактного, пластин, поверхности, полупроводниковых, чистоты

...поверхности полупроводниковых пластин реализуется следующим образом.Множество дискретных значений потенциала поверхности получают с помощью измерителя потенциала поверхности ИПП при сканировании платиновым зондом диаметром 500 мкм вдоль кремниевой пластины диаметром 100 мм с толщиной естественного окисла 50 А на расстоянии 30-50 мкм от поверхности без ее освещения и при40 где Чт - потенциал поверхности без ее освещения,Ъ - объемный потенциал материалапластины,ф мо цпотенциал выхода материала зонда,Хп= потенциал электронного сродства материала пластины,Ь - толщина диэлектрического слоя на поверхности пластинок.Например, для платинового зонда над поверхностью Я р-типа проводимости с удельным сопротивлением р=12 Ом см, на поверхности...