Способ очистки вакуумных камер от коиденсата

Номер патента: 346405

Автор: Олеськив

ZIP архив

Текст

34640 Союз СоветскихСоциалистически Республик АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 13.711.1970 ( 1466857/2 Зс 13/О исоедицецием заявки1(омитвт по делам изобретений и открытиПриорит Опубликовано 28.И 1.1972. Бюллетень23Дата опубликования описания 15 Л 11.3972 К 621.793.14:621.793 .14.002.52 (088,8) при Совете Мииистро СССР. П, Олеськи Заявите СОВ ОЧИСТКИ ВАКУУМНЫХ КАМЕР ОТ КОНДЕНСАТ я к области нан топких пленокособам очистки уумцых камер о го ца стенках к сские параметрь товерхностц, покрыгои Изобретение относитс покрытий и получения кууме, в частности к сп ренней поверхности вак денсата, наличие которо ухудшает ее технологи сепия в ва- внутт коцамеры 5 чищеннуюкамерызапыляют тспаряемовещества, на внути камеры рассчитыц спосооа о ость вакуумцо же 10-4 тор термически илц другого;онденсцруется алях вакуумно ого вещества т объема камеЯ 2 Д Известен способ очистки вакуумных камер от конденсата путем обработки поверхности растворителями. Однако известный способ 10 требует применения химически активных по отпошешо к кондецсату растворителей, использование которых приводит к коррозии обрабатываемых поверхностей.Предложенный способ позволяет упростить 15 процесс очистки и использовать в качестве растворителя воду, Он отличается от извесгного тем, что на внутреннюю поверхность камеры предварительно наносят слой вещества, растворимого в воде, например слой минераль ного вещества, путем термического испарения в вакууме при разрежении не ниже 10-4 тор, с последующей очисткой камеры от конденсата водой.Способ состоит в том, что на вцутренню 1 о 25 поверхность камеры предварительно наносят слой вещества, растворимого в воде, например, минерального, путем термического испарения в вакууме при разрежении не ниже 10-4 тор и очистку камеры от конденсата осу ществляют обработко конденсатом, водой.При осуществлеьп внутреннюю поверки прц разрежении не и минеральной пленкой го, например, галцта которое равномерно т реннцх стенках ц дет Количество испаряем вают в зависимости о муле де Р - цавеска цспаряемого вещества;Я - расстояние от внутренней поверхностц камеры до цспарителя;р - плотность цспаряемого вещества;тт - толщина коцденсируемого слоя. После запыления внутренцеи поверхности камеры в цей можно испарять металлические, диэлектрические ц другие материалы, которые будут кондецсироваться наряду с объектамц напыления также на внутренних поверхностях вакуумной камеры, защищенных минеральной пленкой. Очистку камеры от слоя конденсата осуществляют с помощью струи воды небольшого давления, которая растворяет минеральную пленку - подложку.346405 Предмет изобретения Составитель Е. КубасоваТехред 3. Тараненко Редактор Л. Струве Корректор Е. Исакова Заказ 2537/8 Изд, Ме 1085 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 1. Способ очистки вакуумных камер от конденсата путем обработки поверхности растворителем, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса и предотвращения запыления поверхности, на внутреннюю поверхность камеры, предварительно наносят слой вещества, растворимого в воде, с последующей очисткой камеры от конденсата водой.2, Способ по п. 1, отличающийся тем, чгонаносят слой минерального вещества, раство 5 римого в воде,3. Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем,что слой вещества, растворимого в воде, наносят путем термического испарения в вакууме при разрежении не ниже 10- тор.

Смотреть

Заявка

1466857

С. П. Олеськив

МПК / Метки

МПК: C23C 14/02

Метки: вакуумных, камер, коиденсата

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-346405-sposob-ochistki-vakuumnykh-kamer-ot-koidensata.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ очистки вакуумных камер от коиденсата</a>

Похожие патенты