Вакуумная электропечьвсесоюзнаяnatehtho texhsilofiбиблиотека

344013 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советокиз Социалистических РеопублинЗависимое от авт. свидетельства298673Заявлено 08 Л.1971 ( 1613967/22-1) Кл. С 21 д 9/52 С 23 с 13/00 рисоединением заявкиКомитет по делам зобретеиий и открытий ори Совете Миииотров СССРриоритет К 621,783,223-418.2, (088.8) Опубликовано 07,И 1.1972. Бю Дата опубликования описани теньИ 1.1972 вторызобретени, Энман, В, Н, Трегубов, Д. И. Белый и Е. А. Лукьяновл ордена Ленина Института химической физики АН СССР фили явите КУУМНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ о в опа ению известную повышения увеличения мого сверхмере ополечью ника овом печи орой м, а проЯп, нете 1 ЕН не ин кт- усчь состоит из основй 2 рабочих камер, в Изобретение относится к устроиствам для получения, гибких сверхпроводников.Известная вакуумная электропечь по основному авт. св,298673, содержит вакуумную систему, рабочую камеру, в которой расположены печи отжига - очистки, расплава олова и термообработки, и механизм протяжки изделия. Весь процесс получения сверхпроводящего покрытия ведется в высоком вакууме и происходит следующим образом. Ниобиевая лен о та с постоянной скоростью протягивается че-рез печьотжига - очисткипри 900 - 1100 С для удаления с поверхности проводника загрязнений и адсорбированных газов, Затем ее протягивают через расплав олова либо при 600 в 15 750 С, при которой она покрывается слоем олова толщиной несколько микрон, либо при 950 в 10 С, при которой в расплаве олова начинается процесс образованиия соединения КЬзЬп на ниобиевой подложке. После чего 20 ниобиевую ленту пропускают через печь окончательной термообрабогки, в которой дополнительный рост сверхпроводящего слоя ИЬзЬп на ленте происходит за счет избыточного слоя олова (толщиной 3 - 4 мк) при тем пературе 950 - 1050 С.Однако ввиду высокой упругости паров оло ва при такой температуре термообработки одновременно с процессом образования соединения ИЬзЗП, происходит интенсивное испарение 30 олова с поверхности проводника и этределенный момент приводит к прекр щроста слоя соединения КЬзЯп.Изобретение усовершенствуетвакуумную электропечь с цельюпроизводительности установки итоковых характеристик получаепроводника.Это достигается тем, что к рабочей кавакуумной электропечи подсоединяется днительно рабочая камера с трубчатой пи окончательная термообработка проводведется ступенчато: сначала покрытая оллента термообрабатывается в первойтермообработки при 800 в 9 С, при котобразуются соединения ниобия с оловозатем во второй печи при 950 в 10 Сисходит образование интерметталида ХСнижение температуры образования соения олова с ниобием на первой ступенимообработки позволяет значительно ушить испарение олова, избыток которогобходим при проведении длительного прса роста сравнительно большой толщсверхпроводящего слоя ХЬз 5 п.На чертеже изображена вакуумная эропечь, разрез по технологическим печамтановки.Вакуумная электропеной 1 и дополнительно. Да дакт аказ 2187/6 Изд. Мд 943 Тираж 406 ПодписноеНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова,которых происходит весь технологический процесс обр азования соединения ХЬзЯп на ниобиевой ленте; вакуумной системы, состоящей из механического, бустерного и диффузионных насосов.Внутри основной рабочей камеры 1 расположены трубчатая печь 3 отжига - очистки, печь 4 расплава олова и трубчатая печь б первой ступени термообработки. Печи 3 и 5 смонтированы с графитовой державкой б на штанге 7. В патрубке основной рабочей камеры 1 установлена съемная кассета 8. Печь 4 расплава олова может перемещаться вертикально при помощи пневмоцилиндра 9 двустороннего действия. В дополнительной рабочей камере 2 монтируются трубчатая печь 10 второй ступени термообработки, охлаждаемый ролик 11, приемная кассета 12 и задатчик 13 скорости,Ниобиевая лента с кассеты протаскивается через печь 3 отжига - очистки, огибает державку б, через печь б первой ступени термообработки, направляющие ролики и печь второй ступени термообработки, наматывается на приемную кассету. В ванну печи расплава олова загружается олово, закрываются все монтажные люки и включаются насосы вакуумной системы, При давлении в рабочих камерах 5 К 10- мм рт. ст. включаются все технологические печки, При достижении в печах заданных температур включается привод 5 приемной кассеты, а печь расплава олова припомощи пневмоцилиндра поднимается в рабочее положение: движущаяся лента погружается в расплав олова, Лента с постоянной скоростью протягивается сначала через печь 3 10 отжига - очистки, в которой происходит отжиг ленты и очистка ее поверхности от адсорбированных газов при 900 - ;1100 С. Затем лента проходит через печь 4 расплава олова, где покрывается слоем олова при 600 в : 970 С, 15 а термообработка проводника ведется в дваэтапа: сначала в печи б первой ступени термообработки при 800 в : 850 С и печи термообработки второй ступени при 950 в 10 С. 20 Предмет изобретения Вакуумная электропечь по авт. св.298 б 73, отличающаяся тем, что, с целью осуществления ступенчатой, термообработки, 25 она снабжена дополнительной рабочей камерой, в которой установлена трубчатая электропечь.