Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 339772 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваКл, б 01 Ь 9/ аявлено 23.Х 11.11605997/25-28) аявкирисоединением Приоритет Комитет по де изобретений и от при Совете Мин СССР. А. Клочко евск Заявит ИНТЕРфЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОС ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, в частности к области контроля качества, плоских оптических птоверхностей, и может найти применение в оптико-механической промышленности,Известен интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, содержащий осветительную и,наблюдательную системы, установленные под углом друг к другу и снабженные плоским светоделителем и плоским зеркалом каждая.В известном интерферометре контролируемая и эталонная поверхности. находятся ча значительном расстоянии друг от друга, что затрудняет возможность сохранения неизменной интерференционной картины в процессе измерений,С целью повышения стабильности интерференционной картины в предлагаемом интерферометре для контроля качества плоских оптических поверхностей угол между оптической осью осветительной системы и контролируемой плоскостью выполнен отличным от угла между оптической осью наблюдательной системы и контролируемой плоскостью, а зеркала и светоделители установлены таким образом, что обеспечивают одинаковую длину хода лучей в интерферирующих пучкахнапример, зеркало и светоделитель в наблюдательной системе наклонены к оптической оси под теми же углами, что и зеркало и светоделитель восветительной системе, и расположены на одинаковых расстояниях от точки пересечения оптических осей наблюдательной и осветитель 5 ной систем с контролируемой, поверхностью.Оба интерферирующих лучка лучей отражаются от контролируемой поверхности, благодаря чему небольшие смещения контролируемой детали значительно меньше влпяют,на10 интерференционную картину, чем в известныхинтерферометрах,На чертеже показана схема предлагаемогоинтерферометра.Интерферометр включает осветительную си 15 стему 1 и наблюдательную систему 2, В осветительную систему входят источник 3 излучения, конденсор 4, диафрагма 5, объектив б,светоделитель 7 и зеркало 8, Наблюдательнаясистема включает зеркало 9 светоделитель 10,20 объектив 11 и диафрагму 12.Оптическая ось осветительной системы иоптическая, наблюдательность системы составляет различные углы с контролируемой плоскостью 13.25 Предлагаемый интерферометр работает следующим об р а вом.На контролируемую поверхность падаютдва пучка лучей, Углы падения этих пучковравны т 1 и 4. Интерференционная картина30 изучается наблюдателем, находящимся за339772 Предмет изобретения соз с,соз /,(соз ю, - соз /г) Составитель Лобзова Редактор В, Новоселова Техред Е. Борисова Корректор Т. Китаева Заказ 1774/2 Изд.699 Тираж 448 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, К, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 диафрагмой 12. Если контролируемая поверхность не является абсолютно плоской, а имеет вид, например, сферы с большим радиусом, то для получения истинного отступления контролируемой поверхности от плоскости измерснную величину искривления полос равной толщины нужно умножить на дробь: Предлагаемый интерферометр может применяться для контроля плоскостей большого размера. Световые диаметры объективов осветительной и наблюдательной систем могут быть в несколько раз меньше, чем размер контролируемой плоскости, так как оба интерферирующих,пучка отражаются от контролируемой плоскости, то интерферометр позволяет контролировать поверхности с любым коэффициентом отражения,Интерферометр для контроля качестваплоских оптических ,поверхностей, содержа щий осветительную и наблюдательную систе.мы, установленные,под углом друг к другу и снабженные плоским светоделителем и плоским зеркалом каждая, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности интерферен ционной картины, угол между оптическойосью осветительной системы и контролируе мой плоскостью выполнен отличным от угла между оптической осью наблюдательной системы и контролируемой плоскостью, а зерка ла и светоделители установлены таким образом, что обеспечивают одинаковую длину хода лучей в интерферирующих пучках, например, зеркало и светоделитель в наблюдательной системе наклонены к оптической оси под теми 20 же углами, что зеркало и светоделитель в осветительной системе, и расположены на одинаковых расстояниях от точки пересечения оптических осей наблюдательной и осветительной систем с контролируемой поверхностью.