Способ автоматического управления процессом получения чистых материалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликКомитет пп делам зобретевий и открытий при Совете Министров СССРлетень13 Дата опублико ия описания 12.Ч.197 вторызобретения С.. Г, Петрик, ЮГ. Г, Сазонов Дементьев,Заявител СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ПОЛУЧЕНИЯ ЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВедмет изобретения Изобретение относится к способам полупроводникового производства и может быть использовано при получении поликристаллического кремния,Известен способ автоматического управления процессом получения чистых материалов из газовой фазы с осаждением на твердую подложку, Вклочаощий автоматичсский 1 пОиск и поддержание оптимальных значений входных параметров.Однако в таком способе исключен важный параметр - давление газовой фазы в объеме реактора, что существенно затрудняет оптимальное управление процессом реакционной зоны.Целью изобретения является увеличение скорости осаждения, например, поликристаллического кремния на твердую подложку.Для этого по предложенному способу поиск экстремума производят с учетом давления газовой фазы в реакторе.На чертеже приведена структура системы автоматического управления для реализации предложенного способа управления. Избыточное давление газовой фазы в реакторе 1 измеряется с помощью датчика 2, выходной сигнал которого подается в вычислительное устроиство 3, Используя информацию 5 о состоянии дру 1 чх переменных технологического процесса, вычислительное устройство формирует задание для корректирующего устройства 4, которое через исполнительный механизм 5 поддерживает заданное оптимальное 10 давление в реакторе,15 Способ автоматического управления процессом получения чистых материалов из газовой фазы с осаждением на твердую подложку, включающий автоматический поиск и поддержание оптимальных значений входных па раметров, отличающийся тем, что, с цельюувеличения скорости осаждения материала, измеряют давление в газовой фазе, определяют экстремум давления газовой фазы и регулируют давление в реакционной зоне,334997Фрог смесьСоставитель Н. Абросимов Редактор Е. Братчикова Техред Т Ускова Корректор А, ВасильевЗаказ 1402/7 Изд Юо 596 Тираж 448 Подписи ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5графин, пр. Сапунова
СмотретьЗаявка
1358655
С. И. Гашенко, Б. Д. Дев ткин, А. Г. Петрик, Ю. С. Дементьев, И. М. Тимченко, Г. Г. Сазонов
МПК / Метки
МПК: C01B 33/02
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-334997-sposob-avtomaticheskogo-upravleniya-processom-polucheniya-chistykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ автоматического управления процессом получения чистых материалов</a>
Предыдущий патент: Вснсоюзнля 1шег1тно-тслшг; еп(ай; библиотека
Следующий патент: 334998
Случайный патент: Прибор для определения влажности почвы по ее всасывающей способности