Электронный ионизационный mahometjp со скрещенными электрическим и магнитнымполями

333430 Союз Советских Социалистических РеспублиыК АВТОРСКОМУ ИДЕТЕЛЬСТ льстваависимое от авт. свид аявлено 24.Ч 111.19701469396/18-1 М.Кл. б 011 21/32рисоединением зая Комитет по девввв твобрвтеиий и открьпи 11 Мцбн Совете Мииистров СССРторите бликовано 21.11.1 ллетень1 УДК 531,788.7 (088.8 ния 15 Л.19 ата опубликования оп Авторыизобретен и Е, Айзенцон, А. Б, Покрывайло, Э, П, Щеретои В. ф. Самодуров. Феоктистов 1 явител ЭЛЕКТРОННЫЙ ИОНИЗАЦИОННЫЙ МАНОМЕТРСКРЕЩЕННЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ И МАГНИТНЫМПОЛЯМИ л 5 кИзобретение относится к электронным ионизационным манометрам и в частности, к магнетронам и может быть использовано при измерении давления в вакуумных системах.Известны электронные ионизационные манометры с накаленным катодом, использующие газовый разряд в высоком вакууме в скрещенных электрических и магнитных полях.Недостатком известных манометров является низкая чувствительность и нестабильность показаний. Для повышения стабильности показаний и чувствительности в предлагаемом манометре между дисковыми электродами с одной и другой стороны цилиндрического анода соосно с ним расположены два цилиндрических вспомогательных катода, а между цилиндрическим анодом и вспомогательными катодами соосно расположены два дисковых экрана, находящихся под положительным потенциалом, внешний диаметр которых больше внешнего диаметра вспомогательных катодов, а внутренний диаметр меньше внутреннего диаметра цилиндрического анода, при этом накаленный катод расположен перед отверстием одного из дисковых электродов, а за отверстием другого дискового электрода расположен коллектор электронов.На чертеже показана принципиальная схеома описываемого манометра и график распределения потенциала вдоль его оси,Манометр содержит накаленный катод 1, цилиндрический анод 2, два дисковых электрода 3 и 4, расположенных по разные стороны от анода 2 с отверстиями в центре, два цилиндрических вспомогательных катода 5 и б, размещенных между дисковыми электродами 3 и 4 с одной и другой стороны анода 2, два дисковых экрана 7 и 8, расположенных между анодом 2 и вспомогательными катодами 5 и б, коллектор 9 электронов и регистрирующий прибор 10. Вся электродная система манометра помещена в магнитное поле, направленное вдоль оси системы (на чертеже магнит не показан).Накаленный катод 1 установлен перед отверстием дискового электрода 3 и служит источником электронов, а для приема электронного потока, прошедшего через электродную систему, служит коллектор 9, расположенный за отверстием дискового электрода 4,Анод 2 служит коллектором электронных авин, образующихся в разрядном промежуте. Ток на аноде 2 пропорционален концентрации молекул газа в системе и поэтому служит мерой давления. Электрод 3 и экран 7, а также электрод 4 и экран 8 служат для улавливания вторичных электронов, вышедших из катода 5 и катода б в результате ионной бом333430 Р5 7 1 н бардировкн последних. Экраны 7 и 8, находящиеся под положительным потенциалом, предотвращают также автоэлектроццую эмиссию с катодов 5 и 6 ца анод 2.При подаче напряжения накала ца катод 1 и напряжений Е н Е электронный поток, сфокусированцый магнитным полем в узкий пучок, проходит вдоль оси электродной системы, производя иоцизацию молекул газа ца всем пути от электрода 8 до коллектора 9, Электроны, образовавшиеся в областях 1 и 11 (см. график) в результате иоцизации быстро уходят из разрядного промежутка вдоль магнитного поля ца электроды 8 и 4, це приводя к образованию лавин, Ионы, образовавшиеся в областях 1 и 11, нейтрализуются ца катодах 5 и 6, Электроны, соударившиеся с молекулами газа в области 111, а тем более вновь образованные за счет ионизации в этой области, попадают в потенциальную яму и начинают совершать колебательное движение вдоль оси системы и вращательное движение вокруг нее из-за действия скрещенных электрического и магнитного полей. Таким образом, в этой области в направлении анода 2 развиваются лавины и электронный поток на него в значительной степени увеличивается, Ионы, образующиеся при развитии лавин, нейтрализуются на катодах 5 и 6, Регистрирующий прибор 10 регистрирует ток вторичных электронов, образовавшихся прн ионцзациц, который служит мерой давления.В данной конструкции манометра вторичные электроны, вышедшие из катодов 5 и б, попадают в электрическое поле, направленное вдоль магнитного, и благодаря этому быстро нейтрализуются на электродах 8 и 4 и экранах 7 и 8. С этой целью внутренний диаметр катодов 5 и 6 делается большим, чем внутренний диаметр экранов 7 и 8. Резкое уменьшение числа вторичных электронов, попадающих в разрядный промежуток с катодов 5 и 6, дает возможность, не опасаясь возникновения самостоятельного разряда, выбрать значения 5 Е и Н соответствующими максимальномукоэффициенту нарастания лавин в области 111, а это приводит к значительному выигрышу в чувствительности прибора. Для уменьшения фонового тока дисковых электродов 8 и 4 их 1 о толщина и длина коллектора 9 выбираютсятакими, чтобы излучение с катода 1 и рентгеновское излучение с коллектора 9 не попадали ца анод 2. Предмет изобретенияЭлектронный цонизациоцный манометр соскрещенными электрическим и магнитным полями, содержащий накаленный катод, цилиндрический анод, два дисковых электрода, рас положенных по разные стороны от цилиндрического анода с отверстиями в центре, соосными цилиндрическому аноду, и магнит, поле которого параллельно оси симметрии манометра, отличающийся тем, что, с целью повыше ния чувствительности и стабильности показаний, в нем между дисковыми электродами с одной и другой стороны цилиндрического анода соосно ему расположены два цилиндрических вспомогательных катода, а между ци- ЗО линдрическим анодом и вспомогательными катодами соосно расположены два дисковых экрана, находящихся под положительным потенциалом, внешний диаметр которых болыде внешнего диаметра вспомогательных катодов, 35 а внутренний диаметр меньше внутреннегодиаметра цилиндрического анода, при этом накаленный катод расположен перед отверстием одного из дисковых электродов, а за отверстием другого дискового электрода распо ложен коллектор электронов. Составитель О. ПолевРедагктар С, Хейфиц 1 еко.д А, Камышникова Корректор Т. Китаева Заказ 2273 Изд. Я 425 Т:прахи 443 1 сдиисиое ЦНИИПИ Комитета ио делам изобретений и открытий ири Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 45Областная типография Костромского управления по печати