Линия задержки свч

Союз Советских Социалистических Республикгельства М исимое от, авт. свид М. Кл. Н 01 р 9 Заявлено 09.ът 1.1970 ( 1447724/2 митет по делам риоритет изобретений и открыти при Совете Министров СССРДК 621.372.82(088,8) убликовано 19.1,19 юллетень М 4 а опубликования описания 6.1.1972 Авторыизобретения П. Пахомов и Б, П. Трубицын аявител ЕРЖКИ СВ ЛИНИ с присоединением заявки Ье Изобретение вожет бы гь использовано в интегральных устро 1 ствах задержки СВЧ, применяемых в системах контроля радиолокационной аппаратуры, в системах обработки сигналов СВЧ (например в бортовых системах) для задержки иьшульсного или непрерывного сигнала частотой 0,5 - 10 Ггц на строго определенный промежуток времени.Известны линии задержки СВЧ, содержащие тонкопленочный пьезоэлектрический преобразователь, звукопровод из монокристаллического материала, возбуждающее устройство с механической пружинной системой, согласующее устройство.С целью уменьшения потерь и упрощения технологии изготовления в предлагаемой линии задержки на торцевой участок заземляющей пластины нанесен пьезоэлектрический преобразователь, На свободную поверхность преобразователя помещена возбуждающая часть проводящего полоска линии передачи,На чертеже схематично изображена предлагаемая линия задержки СВЧ в трех проекциях.Звукопровод 1 линии задержки изготовлен 25 из монокристаллической пластины, которая одновременно служит подложкой несимметричной полосковой линии передачи, состоящей из полоска 2 и заземляющей пластины 3. 30 Полосковая лшшя выполняет функц 1 ш со гласующсго и возбуждающсго устро 11 ства.Звукопровод 1 изготовляется из материала с м 2 лыьи 2 куст 11 ческизи и электромагнитными потерями на СВЧ, наприътер из сапф 11 ра. Поверхности звукопр овода, на которые нанесены полосок 2 и пластина д, полируются. Торец, несущий преобразователь 4, а также противоположный ему пзо,Нруегся так, чтооы Обеспечить их плоскостность и плоскопараллельность в пределах нескольких угловых секунд,Заземляющая пластина т является частью несимметричной полосковой линии. Она напыляется на полированную поверхность подложки звукопровода и частично закрывает торец подложки, что способствует концентрации электрического поля в объеме пьезоэлектрика.На торцевой участок заземляющей пластины наносится преобразователь 4. Он представляет собой пьезоэлектрическую пленку с высоким электрическим сопротивлением, например, Сд 5 или ХпО, которые имеют толщину, соответствующую половине длины акустической волны в материале пленки.Полосок 2, создаваемый путем напыления металла в вакууме через маску или методом фотолитографии, частично закрывает тонкопленочный преобразователь. При этом пос326673 Я л Составите 1-едактор Б, Спиридонов хред Заказ 51212 11 зд. М 95 Тираж 448Ц 1-1 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СоветМосква, Ж-З 5, 1 заушская паб., д. 4/5 Подписно инистров СССТипография, пр. Сапунова, 2 ледний оказывается как бы между обкладками конденсатора. Конфигурация полоска такова, что несимметричная (микрополосковая) линия передачи, частью которой он является, имеет импеданс, необходимый для согласования в требуемом частотном диапазоне внешней 50 или 75 олю линии передачи и пьезоэлектрического преобразователя.Работа предлагаемой линии задержки СВЧ не отличается от действия согласованных акустических лилий задержки обычных типов. Например, в линии на отражении, представленной на чертеже, электромагнитный сигнал СВЧ проходит через согласующее устройство, преобразуется пьезоэлектрическим преобразователем в упругую гиперзвуковую волну, котор ая распростр аняется в звукопр оводе. Достигнув противоположного торца звукопровода, упругая волна отражается, возвращается к преобразователю и вновь преобразуется в электромагнитный сигнал, запаздывающий относительно первого на время распространения упругой волны в звукопроводе,предмет изобретения Линия задержкн СВЧ, содержащая отрезок полосковой линии передачи, пьезоэлектрический преобразователь, монокристалличе ский звукопровод, возбуждающий и согласующий элементы, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения потерь и упрощения технологии изготовления, на часть заземляющей пластины, размещенной на торце монокри сталлического звукопровода, служащего одновременно подложкой несимметричной полосковой линии, нанесен пьезоэлектрический преобразователь, на свободную поверхность которого помещена возбуждающая часть про водящего полоска линии передачи. Порфироваараненко Корректор Е. Исакова