Калориметрический способ измерения толщиныпленки
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 316928
Автор: Биршерт
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ316928 Ооаз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 20.7,1970 ( 142841625-2 ИПК б 01 Ь 15102 присоединением заявкиКомитет по делам иеобретеиий и открытий при Совете Мииистрае СССРоритетбликовано 07,Х,19 оллетень30 ДК 531.7,621.9.08:531,717.1 (088.8) Дата опубликования описания 28,Х.1971 Авторизобретени шерт явитель ЕРЕНИЯ ТО ЛОРИМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ПЛЕНКИИзобретение касается измерения толщин нок, наносимых на какой-либо материал На термочувствительныи элемент наносят напылением диэлектрическое покрытие 4, обязательное, если контролируемая пленка электропроводна. При этом толщина диэлектрического покрытия должна быть такой, чтобы ее теплоемкость была возможно меньше теплоемкости наносимого слоя.Затем наносят напылением пленку 2. После этого получают пакет импульсным источником 5 инфракрасного излучения, регистрируя реакцию термочувствительного элемента, по которой судят о толщине пленки 2. На этом заканчивается контроль толщины пленки.При необходимости проконтролировать несколько слоев напыляемых одна на другую пленок, операции, аналогичные описанным, производят последовательно по мере напыления каждого слоя, т. е. основой для напыления термочувствительного элемента на каждом этапе напыления очередной пленки служит уже напыленный пакет. Известны калориметрические способы измерения толщины пленки в пакете с исполь зованием потока тепловой энергии, заключающийся в том, что пленки в пакете прокладывают термочувствительными элементами, например резисторами, и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по кото о рому судят о толщине пленки.Предлагаемый способ отличается от известных тем, что с целью контроля толщины напыляемых одна на другую пленок контролируемую пленку напыляют на слой напы ленного термочувствительного элемента, облучают ее и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине данной пленки, а затем напыляют на нее следующий термочувствительный эле мент, аналогично контролируя следующую пленку.Предлагаемый способ поясняется чертезначенную для несепылением термочувнапример, резистивяют электрически к или индикатору (на Калориметр ические щины пленки в пак тока тепловои эне том, что пленки в п мочувствительны миия толием поийся в ют тер- апример способ измереете с использоваргпи, заключающакете прокладывэлементами, н На подложку 1, предн ния пленки 2, наносят н ствительный элемент 3, ный), который подсоеди показывающему прибору чертеже не показан). редмет изобретения316928 Составитель В. МазинаТехред Т. Т, Ускова Корректор Н. С. Шевченко Редактор О, Юркова Заказ 3047/12 Изд.1293 Тираж 473 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 резисторами, и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине пленки, отличаощийся тем, что, с целью контроля толщины напыляемых одна на другую пленок, контролируемую пленку напыляют на слой напыленного термочувствительного элемента, облучают ее и реГистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине данной пленки, а затем напыляют на нее следующий термочувствительный элемент, аналогично контролируя следующую пленку.
СмотретьЗаявка
1428416
А. А. Биршерт
МПК / Метки
МПК: G01B 15/02
Метки: калориметрический, толщиныпленки
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-316928-kalorimetricheskijj-sposob-izmereniya-tolshhinyplenki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Калориметрический способ измерения толщиныпленки</a>
Способ контроля толщины тонких пленок
Номер патента: 266223
Опубликовано: 01.01.1970
МПК: G01B 11/06, G01B 9/02
Метки: пленок, толщины, тонких
...свидетель попадает только одно вещество. На свидетели осаждение проводят столько раз, сколько раз наносят слои из определенного вещества на деталь. Вещество пспадает на свидетель, 20 когда он находится в рабочем положении,Остальные свидетели защищены от попадания вещества экр аном. Свидетелями могут служить разные участки одной и той же плоскопараллельной пластинки.25 Контроль толщины слоя на рабочем свидетеле осуществляется обычным фотометрическим способом. На свидетель направляют лучистый псток от источника света 1 лампы накаливания), Отраженный от свидетеля 1 либо 30 прошедший через свидетель) свет направляют266223 Составитель Л. ЛобзоваРедактор Л. Г. Герасимова Техред Л. Я, Левина Корректор В. Трутней Заказ 1646/11 Тираж 480...
Способ измерения толщины тонких пленок в процессе их изготовления
Номер патента: 238169
Опубликовано: 01.01.1969
МПК: G01B 7/06
Метки: пленок, процессе, толщины, тонких
...кой, от.гггчаюитий щения процесса приращение напр вого резонатора,щины тонких пленок ния, заключающийся нал на выгходе кваркасающегося с пленчто, с целью упроения, регистрируютна выходе кварцеия тол готовле ют сип , сопрг ся тем,измер яжения ависимое от авт. свгидетельстваИзвестны спосооы измерения толщины пленки, нанесенной на, кварцевый резонатор с помощью двух кварцевых генераторови о толщине пленки судят по приращению частоты на выходе кварцевого резонатора.Предложенный способ измерения отличается от известных тем, что, с целью упрощения процесса измерения, для определения толщины плевки регистрируют приращение напряжения на выходе кварцевого резонатора.На чертеке изобраркена блок-схема устройства для измерения толщины,...
Устройство для измерения толщины тонких пленок
Номер патента: 657241
Опубликовано: 15.04.1979
Авторы: Александров, Дорджин, Куваев
МПК: G01B 11/06
Метки: пленок, толщины, тонких
...лазер, коллиматор 2,полевую диафрагму 3, диффузно рассеивающую пластинку 4, микроинтерферометр 5, исследуемую пленку б наподложке 7.Предлагаемое устройство работаетследующим образом.Подложку 7 с пленкой 6 кладут напредметный столик (на чертеже ие показан) микроинтерферометра 5, Лучиот источника 1 монохроматическогоб 5724 Формула изобретения Составитель Л, ЛобзоваРедактор И. Харитонова Техред И,Бабурка Корректор М. Демчик 777/38ЦНИИПИ Гпо дел113035,8 бгомитета СССРоткрытий ушская наб Тиражсударственногом изобретений иосква, Ж, Ра Подписное аказ Филиал ППП Патент, г. Ужгород, Ул, Проектная,света, пройдя коллиматар 2 и полевую диафрагму 3, попадают на диффузнорассеивающую (вибрирующую) пластинку 4, которая осуществляет эффект размазывания...
Способ измерения толщины тонких пленок на подложках
Номер патента: 684299
Опубликовано: 05.09.1979
Авторы: Конев, Любецкий, Пунько
МПК: G01B 11/06
Метки: пленок, подложках, толщины, тонких
...индекс. Кроме того, установка содержит анализатор 7, приемник 8 излучения, усилитель 9 и синхродетектор 10. Эллиптичность определяется по индикатору 11.Способ осуществляется следующим образом.Излучение от генератора 1 проходит фокусируюшую линзу 2, модулятор 3, врашатель 4 плоскости поляризации, анализатор 5 и под р попадает на контрольную подложку 6 с пленкой. Отраженное деполяризованное излучение, пройдя через анализатор 7 попадает на приемник 8, сигнал с которого усиливается усилителем 9 и детектируется на синхродетекторе 10.Эллиптичность определяется по настройке индикатора 11 по минимуму показаний детектора путем вращения анализатора 7, это соответствует измерению величины малой оси эллипса поляризации, при этом по лимбу...
Устройство для контроля толщины тонких пленок
Номер патента: 1037065
Опубликовано: 23.08.1983
МПК: G01B 11/06
Метки: пленок, толщины, тонких
...нарушенного полного внутреннегоотражения излучающего блока и на фиксированном расстоянии от нее и, второй поляриэующей решеткой, установ 25 ленной в приемном блоке между призмой полного внутреннего отраженияи анализатором.На чертеже изображена блок-схема устройства для контроля толщинытонких пленок.Устройство содержит излучающийблок, состоящий из последовательнорасположенных источника 1 линейнополяризованного излучения, поляризующей решетки 2, призмы 3 ПВО (пол 35ного внутреннего отражения) и призмы Й НПВО, и приемный блок, состоящий из последовательно расположенных призмы 5 НПВО, призмы 6 ПВО,4 втоРой поляризующей решетки 7, анализатора 8 и приемника 9 излучения,Предлагаемое устройство работаетследующим образом.45Линейно...
Предыдущий патент: Пневматический измеритель больших перемещении
Следующий патент: Пневмоэлектрическое устройство для измерения линейных размеров детали
Случайный патент: 185794