Патенты с меткой «толщиныпленки»

Номер патента: 316928

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Биршерт

МПК: G01B 15/02

Метки: калориметрический, толщиныпленки

...на каждом этапе напыления очередной пленки служит уже напыленный пакет. Известны калориметрические способы измерения толщины пленки в пакете с исполь зованием потока тепловой энергии, заключающийся в том, что пленки в пакете прокладывают термочувствительными элементами, например резисторами, и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по кото о рому судят о толщине пленки.Предлагаемый способ отличается от известных тем, что с целью контроля толщины напыляемых одна на другую пленок контролируемую пленку напыляют на слой напы ленного термочувствительного элемента, облучают ее и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине данной пленки, а затем напыляют на нее следующий термочувствительный эле...