Высокочастотный электромагнитный способ
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П Й С А Н"И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 3 ЗПФ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 02.Х 11,1967 ( 1200338/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 31,Л 11.1971. Бюллетень ЛДата опубликования описания 18.Х.1971 МПК б 01 г 31/2 Комитет по деламизобретений и открытипри Совете МинистровСССР К 621.382:531.717.52 (088.8) Авторы изобретени Ю. К. Григулис и О. К, Альена ико-энергетический институт АН Латвийской Сявител ЫЙ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЙ СПОСОБЩИНЫ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОКНА НЕМЕТАЛЛАХ ВЫСОКОЧАСТОТИЗМЕРЕНИЯ Т влять измерение среднеи толщины между достаточно удаленными точками.Изобретение поясняется чертежом, на котором представлена схема измерения, где 1 - высокочастотный генератор, 2 - измерительный элемент, д - измерительный блок, 4 - металлическая пленка, 5 - основа пленки, б, 7 - электроды измерительного элемента,Высокочастотный генератор 1 возбуждает при помощи измерительного элемента 2, имеющего емкостную связь с контролируемым объектом, высокочастотный ток в контролируемом покрытии 4. Пластину 5 с покрытием 4 кладут на один из электродов б измерительного элемента 2, при этом между электродом 7 и покрытием имеется емкостная связь. С помощью стрелочного прибора, находящегося в измерительном блоке 3, измеряют выходное напряжение, характеризующее изменение полного сопротивления (импеданса) измерительного элемента от толщины покрытия. дмет изобретен тй способ пленок нас целью покрытий странения икповения Высоизмеренеметаизмерена полвлияни Изобретение относится к области пленочной микроэлектронной техники, в частности, к области контроля и измерения толщины тонких металлических пленок, нанесенных на полупроводниковые или диэлектрические структу ры.Известен высокочастотный электромагнитный способ контроля, когда поле создается электроиндуктивным датчиком. Недостатком этого способа измерения является значитель ная погрешность измерения как толщины пленок, нанесенных на полупроводниковые структуры с диффузионными слоями, так и средней толщины пленки, нанесенной на больших площадях пленок. 15Цель изобретения - создание бесконтактного способа измерения средней толщины тонких металлических пленок, нанесенных на больших площадях или полупроводниковых структурах и устранение влияния диффузион ного слоя на результаты измерения и возникновения гальванических токов.Для достижения цели используют токи высокой частоты, которые создаются полем электродов емкостного датчика. Поскольку поле 25 обеспечивает возникновение поверхностных высокочастотных токов, то имеется возможность подавления влияния диффузионного слоя и устранения причин возникновения гальванических токов. При этом можно осупдест(очастотныи электромагнитн ия толщины металлических лах, отличатощийся тем, чт ия толщины металлических проводниковых пластинах, диффузионного слоя и возиЗаказ 2895/4 Изд.1201 Тираж 473 Подписное1 НИИПИ Комитета по делам изобретений и окрытий при Совете Министров СССРМосква, )К, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 гальванических токов, возбуждают высокочастотный ток в тонком поверхностном слое при помощи электродов с емкостпой связью, определяют напряжение на измерительном элементе, характеризующее пзмспспис импедапсаизмерительного элемента от толщины покрытия, и по величине импеданса из: еряют толщину покрытия.
СмотретьЗаявка
1200338
Ю. К. Григулис, О. К. Альена Физико энергетический институт Латвийской ССР
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: высокочастотный, электромагнитный
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-313179-vysokochastotnyjj-ehlektromagnitnyjj-sposob.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Высокочастотный электромагнитный способ</a>
Электрод машины для нанесения покрытий в электростатическом поле
Номер патента: 412716
Опубликовано: 15.01.1986
Авторы: Барбакадзе, Мгалоблишвили, Харланов
МПК: B05B 5/08
Метки: нанесения, покрытий, поле, электрод, электростатическом
...между ними и валом цилиндрическим отражательным экраном.На чертеже изображен предлагаемый электрод.Электрод состоит из цилиндрического корпуса 1 с торцовыми стенками 2,через который проходит неподвижныйвал 3 с укрепленными на нем дисками4. На дисках смонтированы цилиндрический отражательный экран 5 и электронагревательные элементы 6 с изолирующими.прокладками 7, расположенныепараллельно образующей цилиндра 1,.выполненного из металла, На валу 3посажены шарикоподшипники 8, наружная обойма которых вставлена вофланцы 9, крепящиеся к торцовымстенкам 2 из изоляционного материала. К фланцам 9 прикреплены крьппки10, на одной из которых смонтирована щетка 11, плотно прижимающаясясвоим концом к валу 3.Подвод электроэнергии к...
Электрод для гальванического нанесения покрытий на внутренние цилиндрические поверхности деталей
Номер патента: 1138439
Опубликовано: 07.02.1985
Авторы: Выстрелков, Захаров, Скворцов
МПК: C25D 17/10
Метки: внутренние, гальванического, нанесения, поверхности, покрытий, цилиндрические, электрод
...в электроде для гальваническогонанесения покрытий на внутренние цилиндрические поверхности деталей, преимущественно на внутренние поверхно- ЗОсти опор коренных подшипников блоккартера двигателя внутреннего сгорания, содержащем анодную штангу с кольцевымн анодамй, кольцевые аноды выполнены в виде турбин, а анодная штанга З 5установлена с возможностью вращения,Кроме того, с целью интенсификации процесса, анодная штанга выполнена полой, а в кольцевых анодах выполнены отверстия, направленные под уг Олом.к восстанавливаемой поверхности.В кольцевых анодах выполнены продольные пазы, расположенные под угломк оси вращения электрода.На фиг, 1 схематично изображенэлектрод для гальванического нанесения покрытий на внутренние цилиндрические...
Электрод для гальванического нанесения покрытий на внутренние цилиндрические поверхности деталей
Номер патента: 1214789
Опубликовано: 28.02.1986
Автор: Туркин
МПК: C25D 17/10
Метки: внутренние, гальванического, нанесения, поверхности, покрытий, цилиндрические, электрод
...для нанесения гальванических покрытий на внутренние цилиндрические поверхности деталей, например, при восстановлении гильз цилиндров двИ- гателей внутреннего сгорания.Цель изобретения - повышение качества покрытия.На фиг, 1 схематично изображен электрод для гальванического нанесения покрытий на внутренние цилиндрические поверхности деталей,общин вид на фиг,2 - разрез А-А на фиг,1,Электрод для нанесения покрытия на деталь 1 состоит из кольцевого анода 2, выполненного в виде обоймы с отверстиями 3, в которых укреплены анодные шарики 4. Внутри кольцевого анода расположен цилиндр 5, соединенный через крестовину б с валом привода 7 вращения, на котором находится ведущая шестерня 8, передающая вращение через сзтеллитную шестерню 9 на...
Устройство для подвода тока к электроду-инструменту
Номер патента: 460151
Опубликовано: 15.02.1975
МПК: B23P 1/12
Метки: подвода, электроду-инструменту
...ее с я тем, что, с целью повышения прочности, изоляция выполнена в виде сбор.0 ной двойной рубашки, наружная часть которой изготовлена из нержавеющей стали, а между переходником и рубашкой установлено эжранирующее кольцо из пассивирующегося материала. Изобретение относится к области электро- химической размерной обработки глубоких отверстий и каналов.Известно устройство для подвода така к электроду-инструменту,при электрохимической обработке глубоких отверстий с помощью связанного с переходным элементом металлического, например медного, полого стержня, наружная поверхность которого покрыта изоляцией.С целью повышения прочности в предлагаемом устройстве изоляция медного стержня выполнена в виде сборной двойной рубашки, причем наружная...
Устройство д. ля контроля магнитострикции металлической магнитной пленки
Номер патента: 261756
Опубликовано: 01.01.1970
МПК: G01N 27/72, G01N 27/90
Метки: магнитной, магнитострикции, металлической, пленки
...30 по длине контролируемой магнитной пленки. Из 1 вестны устройства для контроля изменения магнитных свойств ферромагнитных материалов в зависимости от механических напряжений в них, содержащие намагничивающие катушки переменного тока и две дифференциально включенные измерительные обмотки, в одну из которых помещен недеформированный образец материала, а в другую - образец того же материала, подвергающийся деформации.Предложенное устройство отличается от известного тем, что обе катушки расположены по одной оси и служат для 1 последовательного пропускания через них контролируемой пленки, а в цепь измерительной обмотки одной из катушек включена схема задержки сигнала по времеви для ооеспечения возможности сравнения сигналов, создаваемых...
Предыдущий патент: Установка для испытания выключателей на отключающую способность
Следующий патент: Измеритель электрофизических свойств полупроводниковых слоев
Случайный патент: Устройство для решения дифференциальных уравнений